下载用于SECCM高分辨成像的探针单元和控制方法的技术资料

文档序号:33956890

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本发明属于电化学技术领域,公开了一种用于SECCM高分辨成像的探针单元和控制方法,探针单元包括单通道的探针,探针的开孔直径为50
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