探针模块制造技术

本实用新型专利技术提供了一种探针模块，其包括：探针组件与基体组件；所述探针组件包括限位滑块和多个探针，所述探针均设置于所述基体组件上，所述探针远离与所述基体组件连接的一端为头端，所述头端为自由端；所述探针组件具有参考轴线，多个所述探针沿所述参考轴线并列布置，且相邻的所述探针之间的间距沿朝向所述头端的方向逐渐减小；所述限位滑块具有多个限位孔，所述限位滑块通过多个所述限位孔可活动地套设于多个所述探针上，其中每个所述限位孔对应一个所述探针；所述限位滑块沿所述参考轴线移动时，驱动相邻的所述探针的所述头端之间的间距随之改变。如此配置，使得探针组件能够满足不同焊垫间距的器件的测试需求，无需购置多各探针组件，降低了生产成本。降低了生产成本。降低了生产成本。

Probe module

【技术实现步骤摘要】
探针模块


[0001]本技术涉及半导体设备领域，尤其是一种探针模块。

技术介绍

[0002]探针组件是晶圆级可靠性测试的重要测试工具，其作用是实现测试仪器和晶圆待测器件之间的电信号传输，通过将探针与晶圆上待测器件的金属焊垫相接触，配合测试仪器以及测试软件完成相关电性参数的量测。因此，相邻探针之间的间距需要与晶圆待测器件中金属焊垫的间距相匹配。
[0003]现有探针组件的探针间距是固定设置的，需要与相关的探针组件厂商定制，对于不同金属焊垫间距的待测器件需要更换对应的探针组件。另外，现有的晶圆级测试产品种类繁多，不同的器件结构可能有不同的金属焊垫间距，因此为满足测试需求需要分别设置对应的探针组件，增加了生产成本。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种探针模块，以解决现有探针组件的探针间距为固定设置，需要多种探针组件以满足不同焊垫间距的待测器件的测试需求的问题。
[0005]为了达到上述目的，本技术提供了一种探针模块，包括：探针组件与基体组件；
[0006]所述探针组件包括限位滑块和多个探针，所述探针本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种探针模块，其特征在于，包括：探针组件与基体组件；所述探针组件包括限位滑块和多个探针，所述探针均设置于所述基体组件上，所述探针远离与所述基体组件连接的一端为头端，所述头端为自由端；所述探针组件具有参考轴线，多个所述探针沿所述参考轴线并列布置，且相邻的所述探针之间的间距沿朝向所述头端的方向逐渐减小；所述限位滑块具有多个限位孔，所述限位滑块通过多个所述限位孔可活动地套设于多个所述探针上，其中每个所述限位孔对应一个所述探针；所述限位滑块沿所述参考轴线移动时，驱动相邻的所述探针的所述头端之间的间距随之改变。2.如权利要求1所述的探针模块，其特征在于，所述基体组件包括卡环，所述探针组件还包括固定件，所述探针通过所述固定件与所述卡环连接。3.如权利要求2所述的探针模块，其特征在于，所述固定件将所述探针划分为靠近所述头端的第一区域和远离所述头端的第二区域；所述第一区域包括滑动区，所述限位滑块在所述滑动区内沿所述参考轴线移动。4.如权利要求3所述的探针模块，其特征在于，所述探针在所述滑动区...

【专利技术属性】
技术研发人员：祝璐琨，陈雷刚，吴奇伟，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：