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探针模块制造技术
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文档序号:33956812
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本实用新型提供了一种探针模块,其包括:探针组件与基体组件;所述探针组件包括限位滑块和多个探针,所述探针均设置于所述基体组件上,所述探针远离与所述基体组件连接的一端为头端,所述头端为自由端;所述探针组件具有参考轴线,多个所述探针沿所述参考轴线...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。
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