一种大尺寸MASK转运台车及系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种大尺寸MASK转运台车，包括车体、支撑框架、MASK安装平台、定位靠垫、升降机构、摆动机构、夹紧机构。本实用新型专利技术所提出的一种大尺寸MASK转运系统及系统，减轻了工人操作的劳动强度，提升了大尺寸MASK在各工序中的转运效率，降低了大尺寸MASK运输过程中的意外碰撞损伤的风险。中的意外碰撞损伤的风险。中的意外碰撞损伤的风险。

【技术实现步骤摘要】
一种大尺寸MASK转运台车及系统


[0001]本技术涉及一种大尺寸MASK转运台车及系统，用于MASK生产过程中的的取放和转运。

技术介绍

[0002]MASK(掩膜版)的生产工序，包括曝光、显影、蚀刻、清洗、CD测量、AOI、修补、贴膜等，各个工序之间，MASK需要转运，并暂存至专用的包装箱。目前在行业内，大尺寸MASK的取放和转运，一般采用人工抬版或半自动机械手辅助取放及转运的方式。
[0003]因大尺寸MASK的尺寸和重量都比较大，人工抬版太吃力，且抬版过程中有碰撞损伤MASK的隐患，而现在行业上常用的半自动机械手都是从国外进口，一套机械手的价格要上百万，操作过程复杂、维护维修困难。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种大尺寸MASK转运台车及系统，可实现MASK 上下版及转运功能，可完成夹取及松开MASK，移动位置并重新放置的动作，实现进口半自动机械手的取放MASK功能，操作更简单，但造价只有半自动机械手的二十分之一。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0006]一种大尺寸MASK转运台车，包括车体、支撑框架、MASK安装平台、定位靠垫、升降机构、摆动机构、夹紧机构，车体包括可移动底架、第一纵架、第二纵架，第一纵架、第二纵架为纵向支架，分别固定设置在可移动底架上，支撑框架包括纵梁和横梁，纵梁与横梁之间固定连接，MASK安装平台包括平台、平台支架，平台固定设置在平台支架外侧，平台支架内侧的两端分别与横梁的两端铰接，定位靠垫设置平台支架上、位于平台下方，升降机构包括升降手轮、第一丝杆、第二丝杆、第一锥齿轮、第二锥齿轮，第一锥齿轮固定设置在第一丝杆上，第二锥齿轮固定设置在第二丝杆上，第一丝杆的一端与设置在第二纵架上的轴承相连接，第一丝杆的另一端穿过设置在第一纵架上的轴承、与升降手轮相连接，第二丝杆上设置有第一丝杆螺母，第二丝杆的两端分别与设置在第二纵架上的轴承相连接，第一锥齿轮、第二锥齿轮之间相啮合，第一丝杆螺母与纵梁固定连接；摆动机构包括摆动手轮、摆动丝杆，摆动丝杆的一端与设置在平台支架内侧的铰支座相连接，摆动丝杆的另一端穿过设置在纵梁上的铰支座、与摆动手轮相连接；夹紧机构包括夹紧手轮、第三丝杆、第四丝杆、第三锥齿轮、第四锥齿轮、夹爪座、夹爪，第三丝杆的两端分别穿过设置在平台内侧的支座、分别与第三锥齿轮、夹紧手轮相连接，第四丝杆的一端与设置在平台内侧的轴承相连接，第四丝杆的另一端穿过设置在平台内侧的另一轴承后与第四锥齿轮相连接，第四丝杆上设置有第二丝杆螺母，第三锥齿轮、第四锥齿轮之间相啮合，夹爪固定设置在夹爪座上，夹爪座与第二丝杆螺母固定连接。
[0007]采用上述技术方案，MASK转运台车从包装盒上取下MASK，并放入LOADER 的过程：取下放在定位支架上的包装盒上盖，降低台车的升降机构，使定位靠垫与MASK底边与接触，
人工翻转MASK至平台上，夹紧MASK后，升高升降机构的高度，然后将放有MASK的MASK转运台车移动至LOADER旁，降低台车的升降机构，使MASK转运台车上的MASK与LOADER的底部靠垫接触，人工翻转MASK 至LOADER安装台上，然后降低升降机构的高度，松开固定的定位销，推动台车沿导轨后退，直到退出导轨。夹紧过程：定位靠垫与MASK底边与接触，人工翻转MASK至平台上，通过转动夹紧手轮，第三锥齿轮在第三丝杆的带动下转动，从而带动第四丝杆转动，第二丝杆螺母在第四丝杆上滑动，夹爪下移，从而完成夹紧动作，松开动作的完成使夹紧手轮的旋转方向相反即可；升降过程：转动升降手轮，第一丝杆通过第一锥齿轮带动第二丝杆转动，第一丝杆螺母带动纵梁上下运动，从而带动支撑框架、MASK安装平台完成升降动作；摆动过程：由于横梁与平台支架铰接，摆动丝杆的一端平台支架铰接，摆动丝杆与纵梁铰接，这就使得摆动手轮、摆动丝杆、横梁、纵梁、平台支架之间构成四连杆结构，通过操作摆动手轮带动摆动丝杆前后移动，从而带动MASK安装平台倾斜摆动。MASK转运台车从LOADER上取下MASK，并放入包装盒中的过程与上面的过程相反。
[0008]本技术进一步改进，所述的第一丝杆、第二丝杆、第三丝杆、第四丝杆均为梯形丝杆，梯形丝杆有自锁功能，防止移动时MASK下坠，防止MASK转运台车移动及平台摆动时MASK掉下来。
[0009]本技术进一步改进，平台的顶部设置有多组辅助靠垫，可兼容不同高度的MASK，平台上设置有水平及垂直标尺，可调整对齐MASK的位置。
[0010]本技术进一步改进，还包括靠垫左右调整机构，靠垫左右调整机构包括滑轨、靠垫调整滑块，滑轨固定设置在平台支架上，靠垫调整滑块设置在滑轨上，定位靠垫与靠垫调整滑块固定连接，可兼容不同宽度的MASK及LOADER。
[0011]本技术进一步改进，第一纵架上设置有升降导轨，升降导轨上设置有升降滑块，升降导轨的两端设置有限位块，纵梁与升降滑块相连接，以对平台及MASK的升降运动导向、限位，提高升降运动稳定性。
[0012]本技术进一步改进，平台支架上设置有夹紧导轨，夹紧导轨的两端设置有限位块，夹紧导轨上设置有夹紧滑块，夹爪座与夹紧滑块相连接，以对夹爪上下运动导向、定位，提高夹紧机构稳定性。
[0013]本技术进一步改进，所述的夹爪座为轴对称结构，第二丝杆螺母设置在夹爪座的对称轴上，设置在夹爪座上的夹爪为偶数个，设置在夹爪座上的夹爪以第二丝杆螺母为中心轴对称排布；这样就使得多个夹爪随夹爪座同步运动，提高夹紧稳定性。
[0014]本技术进一步改进，还包括报警装置，报警装置包括状态指示灯及蜂鸣器，状态指示灯及蜂鸣器设置在第一纵架上，在MASK转运台车移动时提供报警功能。
[0015]一种大尺寸MASK转运系统，包括台车导向定位机构和MASK转运台车，台车导向定位机构包括整体式导轨、定位销组，定位销组包括定位销、定位销安装块，整体式导轨固定设置在MASK包装盒定位支架或LOADER旁的基础上，定位销安装块设置在整体式导轨的内侧，定位销设置在可移动底架的底部，可移动底架的四角分别设置有减震脚轮，减震脚轮可在整体式导轨内移动。
[0016]本技术进一步改进，在整体式导轨的入口端和出口端分别设置有导向凹槽，以方便MASK转运台车进入和脱离整体式导轨。
[0017]MASK转运台车移动时，将减震脚轮推入导轨凹槽实现导向，到达与LOADER 的交接
位置后，将移动底架底部的定位销插入地板上的定位销安装块，实现台车与包装盒定位支架跟LOADER的水平XY方向的定位。
[0018]与现有技术相比，本技术所提出的一种大尺寸MASK转运台车，实现了如下功能：
[0019]1、实现了MASK的位置调整与固定功能：包括上下升降、前后摆动，垂直夹紧；
[0020]2、MASK安装平台可兼容安装各种不同规格的大尺寸MASK：安装平台以底部定位靠垫定位，上侧夹爪夹紧，通过调整底侧定位靠垫的左右位置，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种大尺寸MASK转运台车，包括车体、支撑框架、MASK安装平台、定位靠垫、升降机构、摆动机构、夹紧机构，其特征在于：车体包括可移动底架、第一纵架、第二纵架，第一纵架、第二纵架为纵向支架，分别固定设置在可移动底架上，支撑框架包括纵梁和横梁，纵梁与横梁之间固定连接，MASK安装平台包括平台、平台支架，平台固定设置在平台支架外侧，平台支架内侧的两端分别与横梁的两端铰接，定位靠垫设置平台支架上、位于平台下方，升降机构包括升降手轮、第一丝杆、第二丝杆、第一锥齿轮、第二锥齿轮，第一锥齿轮固定设置在第一丝杆上，第二锥齿轮固定设置在第二丝杆上，第一丝杆的一端与设置在第二纵架上的轴承相连接，第一丝杆的另一端穿过设置在第一纵架上的轴承、与升降手轮相连接，第二丝杆上设置有第一丝杆螺母，第二丝杆的两端分别与设置在第二纵架上的轴承相连接，第一锥齿轮、第二锥齿轮之间相啮合，第一丝杆螺母与纵梁固定连接；摆动机构包括摆动手轮、摆动丝杆，摆动丝杆的一端与设置在平台支架内侧的铰支座相连接，摆动丝杆的另一端穿过设置在纵梁上的铰支座、与摆动手轮相连接；夹紧机构包括夹紧手轮、第三丝杆、第四丝杆、第三锥齿轮、第四锥齿轮、夹爪座、夹爪，第三丝杆的两端分别穿过设置在平台内侧的支座、分别与第三锥齿轮、夹紧手轮相连接，第四丝杆的一端与设置在平台内侧的轴承相连接，第四丝杆的另一端穿过设置在平台内侧的另一轴承后与第四锥齿轮相连接，第四丝杆上设置有第二丝杆螺母，第三锥齿轮、第四锥齿轮之间相啮合，夹爪固定设置在夹爪座上，夹爪座与第二丝杆螺母固定连接。2.根据权利要求1所述的一种大尺寸MASK转运台车，其特征在于：所述的第一丝杆、第二丝杆、第三丝杆、第四丝杆均为梯形丝杆。3.根据权利要求1所述的一种大尺寸MASK转运台车，其特征在于：平台的顶...

【专利技术属性】
技术研发人员：王景新，张建国，
申请(专利权)人：深圳清溢光电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：