气体激光放大器(10A)具有框体(11)、放电电极对(20A、20B)和光谐振器(40)。框体(11)具有：入射窗口(12)，其从外部被射入第1激光；以及出射窗口(13)，其将放大的第1激光射出。放电电极对(20A、20B)使供给至在框体(11)的内部相对而配置的放电电极(21A、22A、21B、22B)之间的激光气体发生激励。光谐振器(40)在第1激光没有从框体(11)的外部从入射窗口(12)射入至框体(11)的内部的非入射状态时，通过被激励的激光气体的增益使第2激光振荡，在第1激光从入射窗口(12)射入至框体(11)的内部的入射状态时，使第2激光的振荡停止。使第2激光的振荡停止。使第2激光的振荡停止。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】气体激光放大器、气体激光装置、EUV光发生装置及EUV曝光装置
[0001]本专利技术涉及通过使用气体而作为激光介质，从而产生激光或者放大激光的气体激光放大器、气体激光装置、EUV(Extreme UltraViolet)光发生装置及EUV曝光装置。
技术介绍
[0002]EUV光生成装置具有：气体激光放大器，其生成激光；以及EUV光生成部，其将从气体激光放大器射出的激光对目标照射而生成EUV光。气体激光放大器具有：腔室，其对包含气体激光放大介质即CO2气体的激光气体进行收容；第1窗口，其设置于腔室的第1面；以及第2窗口，其设置于与第1面相对的第2面。另外，气体激光放大器具有用于对第1凹面镜及第2凹面镜之间的空间施加电压的相对配置的一对平板状电极。在如上所述的气体激光放大器中，如果对平板状电极间施加高频电压，则形成放电区域，激光气体被激励。在该状态下，种子激光从第1窗口射入至腔室内，在经过放电区域后被放大，成为放大光。放大光在第2凹面镜和第1凹面镜之间反复反射。而且，在反射预定次数后，放大光从第1凹面镜经由第2窗口从腔室输出。
[0003]在如上所述的气体激光放大器中，在放电区域生成的自然放射光在第1窗口和第2窗口之间反射，由此发生自激振荡。因此，在专利文献1公开了具有光阑的气体激光放大器，该光阑在设计于气体激光放大器内的光轴上形成有开口部。由此，在气体激光放大器内产生的自激振荡光由光阑遮挡，抑制自激振荡光从第1窗口及第2窗口射出。
[0004]专利文献1：国际公开第2014/045889号
技术实现思路
[0005]但是，在上述现有的气体激光放大器中，能够抑制在与种子激光不同的光轴产生的自激振荡光从第1窗口及第2窗口的射出，但无法抑制在与种子激光大致相同的光轴产生的自激振荡光的射出。专利文献1所记载的气体激光放大器中的光阑设置于第1窗口及第2窗口。在设置于第1窗口及第2窗口的光阑形成往复光路而振荡出的自激振荡光的光轴与气体激光放大器内的种子激光的光轴变得大致相同。即使光阑中的激光的反射率设定得低，在气体激光放大器的增益大的状态下，即使是少量的散射光，在设置于第1窗口及第2窗口的光阑间也有可能发生自激振荡。在上述的EUV光生成装置的气体激光放大器中存在下述问题，即，如果在与种子激光大致相同的光轴发生自激振荡光，则会在意料之外的定时对EUV光生成部内的目标照射自激振荡光，成为在EUV光生成装置引起故障的原因。
[0006]本专利技术就是鉴于上述情况而提出的，其目的在于得到能够抑制与种子激光相同的光轴中的自激振荡光的产生的气体激光放大器。
[0007]为了解决上述的课题，并达到目的，本专利技术所涉及的气体激光放大器具有框体、放电电极对和光谐振器。框体具有从外部被射入第1激光的入射窗口及将放大的第1激光射出的出射窗口。放电电极对使供给至在框体的内部相对而配置的放电电极之间的激光气体发
生激励。光谐振器在第1激光没有从框体的外部从入射窗口射入至框体的内部的非入射状态时，通过被激励的激光气体的增益使第2激光振荡，在第1激光从入射窗口射入至框体的内部的入射状态时，使第2激光的振荡停止。
[0008]专利技术的效果
[0009]本专利技术所涉及的气体激光放大器具有下述效果，即，能够抑制与种子激光相同的光轴中的自激振荡光的产生。
附图说明
[0010]图1是示意地表示具有实施方式1所涉及的气体激光放大器的气体激光装置的结构的一个例子的透视斜视图。
[0011]图2是从Y方向观察图1的气体激光放大器的内部的图。
[0012]图3是表示向通常的气体激光放大器射入的激光的输出相对于时间的变化的一个例子的图。
[0013]图4是表示由通常的气体激光放大器放大的激光的输出相对于时间的变化的一个例子的图。
[0014]图5是表示自激振荡输出相对于时间的变化的一个例子的图。
[0015]图6是表示通常的气体激光放大器内的增益相对于时间的变化的一个例子的图。
[0016]图7是表示由实施方式1所涉及的气体激光放大器放大的激光的输出相对于时间的变化的一个例子的图。
[0017]图8是表示实施方式1所涉及的气体激光放大器中的光谐振器输出相对于时间的变化的一个例子的图。
[0018]图9是表示实施方式1所涉及的气体激光放大器中的自激振荡输出相对于时间的变化的一个例子的图。
[0019]图10是表示实施方式1所涉及的气体激光放大器内的增益相对于时间的变化的一个例子的图。
[0020]图11是表示由实施方式1所涉及的气体激光放大器放大的激光的输出相对于时间的变化的一个例子的图。
[0021]图12是示意地表示具有实施方式2所涉及的气体激光放大器的气体激光装置的结构的一个例子的透视斜视图。
[0022]图13是从Y方向观察图12的气体激光放大器的内部的图。
[0023]图14是表示由实施方式2所涉及的气体激光放大器放大的激光的输出相对于时间的变化的一个例子的图。
[0024]图15是表示实施方式2所涉及的气体激光放大器中的光谐振器输出相对于时间的变化的一个例子的图。
[0025]图16是表示实施方式2所涉及的气体激光放大器中的自激振荡输出相对于时间的变化的一个例子的图。
[0026]图17是表示实施方式2所涉及的气体激光放大器内的增益相对于时间的变化的一个例子的图。
[0027]图18是示意地表示具有实施方式3所涉及的气体激光放大器的气体激光装置的结
构的一个例子的透视斜视图。
[0028]图19是从Y方向观察图18的气体激光放大器的内部的图。
[0029]图20是示意地表示具有实施方式4所涉及的气体激光放大器的气体激光装置的结构的一个例子的透视斜视图。
[0030]图21是从Y方向观察图20的气体激光放大器的内部的图。
[0031]图22是示意地表示具有实施方式5所涉及的气体激光放大器的气体激光装置的结构的一个例子的透视斜视图。
[0032]图23是从Y方向观察图22的气体激光放大器的内部的图。
[0033]图24是示意地表示具有实施方式6所涉及的气体激光放大器的气体激光装置的结构的一个例子的透视斜视图。
[0034]图25是从Y方向观察图24的气体激光放大器的内部的图。
[0035]图26是示意地表示具有实施方式7所涉及的气体激光放大器的气体激光装置的结构的一个例子的分解斜视图。
[0036]图27是表示由实施方式7所涉及的气体激光放大器放大的激光的输出相对于时间的变化的一个例子的图。
[0037]图28是表示实施方式7所涉及的气体激光放大器中的光谐振器输出相对于时间的变化的一个例子的图。
[0038]图29是表示实施方式7所涉及的气体激光放大器中的自激振荡输出相对于时间的变化的一个例子的图。
[0039]图30是表示实施方式7所涉及的第1级的气体激光放大器内的增益相对于时间的变化的一本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种气体激光放大器，其特征在于，具有：框体，其具有从外部被射入第1激光的入射窗口、及将放大的所述第1激光射出的出射窗口；放电电极对，其使供给至在所述框体的内部相对而配置的放电电极之间的激光气体发生激励；以及光谐振器，其在所述第1激光没有从所述框体的外部从所述入射窗口射入至所述框体的内部的非入射状态时，通过被激励的所述激光气体的增益使第2激光振荡，在所述第1激光从所述入射窗口射入至所述框体的内部的入射状态时，使所述第2激光的振荡停止。2.根据权利要求1所述的气体激光放大器，其特征在于，所述光谐振器的谐振器全损耗，具有所述光谐振器的所述入射状态的增益和所述光谐振器的所述非入射状态的增益之间的值。3.根据权利要求1或2所述的气体激光放大器，其特征在于，所述第1激光是在第1方向偏振的直线偏振光，所述第2激光是在与所述第1方向正交的第2方向偏振的直线偏振光。4.根据权利要求1至3中任一项所述的气体激光放大器，其特征在于，所述光谐振器具有：部分反射镜，其对所述第2激光的一部分进行反射，使剩余的部分透过；全反射镜，其对所述第2激光进行反射；以及第1阻尼器，其对在所述部分反射镜透过的所述第2激光进行吸收。5.根据权利要求4所述的气体激光放大器，其特征在于，所述部分反射镜的反射率大于7
×
10
‑
21
而小于16
×
10
‑6。6.根据权利要求1至3中任一项所述的气体激光放大器，其特征在于，所述光谐振器具有：第1部分反射镜，其对所述第2激光的一部分进行反射，使剩余的部分透过；第2部分反射镜，其对所述第2激光的一部分进行反射，使剩余的部分透过；第1阻尼器，其对在所述第1部分反射镜透过的所述第2激光进行吸收；以及第2阻尼器，其对在所述第2部分反射镜透过的所述第2激光进行吸收。7.根据权利要求6所述的气体激光放大器，其特征在于，所述第1部分反射镜的反射率和所述第2部分反射镜的反射率的积大于7
×
10
‑
21
而小于16
×
10
‑6。8.根据权利要求6所述的气体激光放大器，其特征在于，所述光谐振器还具有：分光器，其配置于所述光谐振器的光路上；以及第3阻尼器，其对由所述分光器分离的所述第2激光进行吸收。9.根据权利要求8所述的气体激光放大器，其特征在于，所述第1部分反射镜的反射率、所述第2部分反射镜的反射率及所述分...
【专利技术属性】
技术研发人员：山本达也，西前顺一，田所让，成濑正史，川岛拓也，
申请(专利权)人：三菱电机株式会社，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。