本实用新型专利技术公开了用于石英坩埚真空熔制工艺的抽真空装置，包括真空泵本体和工作箱，工作箱内部设有活动连接的减震板，真空泵本体活动设于减震板顶部，减震板底部设有减震杆，工作箱底部设有减震套筒，减震套筒内壁设有减震弹簧，工作箱内壁设有水袋，减震套筒外壁设有铰接的连杆，连杆一端设有导震板，减震板底部设有推杆。本实用新型专利技术可对真空泵本体产生减震作用，降低真空泵使用时产生的噪音，同时水袋内流动的冷水会使工作箱内的温度降下来，从而对真空泵工作时产生的温度进行降温冷却，同时真空泵产生的震动可使水袋内的水流震动混合，从而提高水冷降温的效率，使此装置可同时达到多种功能，充分利用装置内的各个资源。充分利用装置内的各个资源。充分利用装置内的各个资源。
【技术实现步骤摘要】
用于石英坩埚真空熔制工艺的抽真空装置
[0001]本技术涉及真空熔制工艺
，具体为用于石英坩埚真空熔制工艺的抽真空装置。
技术介绍
[0002]石英坩埚，具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点，应用越来越广泛。石英坩埚的熔制工艺需要使用抽真空装置。
[0003]现有中国文献，授权公告号为CN213141809U的专利，其公开了一种用于石英坩埚真空熔制工艺的抽真空装置，涉及真空熔制工艺
本技术包括抽气管、开关阀、真空泵和抽气接头，抽气管一端与真空泵的抽气口固定连通，抽气接头包括固定端和连接端，固定端包括固定管，固定管一端固定有第一法兰，第一法兰顶部固定有套筒，套筒内上部设有螺纹槽道。本技术通过螺纹槽道和螺纹凸起的配合便于连接端和固定端之间的固定和拆除，通过设置内环体、外环体和机械密封，在连接端与固定端进行螺纹固定时，开关阀和抽气管一端不会跟随转动，从而方便抽气管一端和开关阀与抽真空区域之间的固定和拆除，从而方便使用者的使用。
[0004]上述专利只是方便对真空泵的抽气管进行安装和拆卸，但却无法降低真空泵使用时产生的噪音，导致产生噪音污染。
技术实现思路
[0005]本技术的目的在于提供用于石英坩埚真空熔制工艺的抽真空装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为了解决上述技术问题，本技术提供如下技术方案：用于石英坩埚真空熔制工艺的抽真空装置，包括真空泵本体和工作箱，所述工作箱内部设有活动连接的减震板，所述真空泵本体活动设于所述减震板顶部，所述减震板底部设有减震杆，所述工作箱底部设有与所述减震杆相匹配的减震套筒，所述减震套筒内壁设有减震弹簧，所述工作箱内壁匹配设有水袋，所述减震套筒外壁靠近所述水袋一侧设有铰接的连杆，所述连杆一端设有活动连接的导震板，所述导震板与所述工作箱滑动连接，所述减震板底部设有与所述连杆相匹配的推杆。
[0007]进一步的，所述减震板顶部设有与所述真空泵本体相匹配的L型卡块一，所述减震板顶部远离所述L型卡块一一侧设有滑动连接的L型卡块二，所述减震板顶部于所述L型卡块二一侧设有卡槽，所述卡槽内部设有活动连接的卡板，所述卡板靠近所述L型卡块二一侧设有推块，所述卡板顶部设有螺栓，所述螺栓一端延伸至所述工作箱外侧设有螺纹连接的螺母。
[0008]进一步的，所述推杆通过转轴一与所述连杆转动连接，所述连杆底部设有缓冲弹簧，所述缓冲弹簧与所述工作箱底部连接，保证连杆与推杆可配合使用，且对连杆产生缓冲作用，提高连杆的使用寿命。
[0009]进一步的，所述连杆通过连接轴与所述导震板活动连接，所述连杆与所述连接轴转动连接，所述导震板内壁设有与所述连接轴相匹配的活动轨，实现连杆与导震板的配合使用。
[0010]进一步的，所述工作箱包括箱体和盖板，所述盖板活动设于所述箱体顶部，所述螺栓一端延伸至所述盖板上方，所述真空泵本体外壁设有贯通的进气管和出气管，所述进气管与所述出气管均延伸至所述箱体外侧，保证真空泵本体可正常使用。
[0011]进一步的，所述水袋内壁设有若干个菱形空腔，所述菱形空腔之间贯通，所述水袋顶部设有贯通的进水管，所述水袋底部设有贯通的出水管，所述进水管和所述出水管均延伸至所述箱体外侧，确保水袋可正常使用，且水袋内设有菱形空腔，可提高水袋使用时其内部水流分布的均匀性。
[0012]与现有技术相比，本技术所达到的有益效果是：
[0013]1、本技术通过设置减震板、减震杆、减震套筒、减震弹簧、水袋、连杆、导震板和推杆，可对真空泵本体产生减震作用，降低真空泵使用时产生的噪音，同时水袋内流动的冷水会使工作箱内的温度降下来，从而对真空泵工作时产生的温度进行降温冷却，提高真空泵的使用寿命，同时真空泵产生的震动可使水袋内的水流震动混合，从而提高水冷降温的效率，使此装置可同时达到多种功能，充分利用装置内的各个资源。
[0014]2、本技术通过设置L型卡块一、L型卡块二、卡槽、卡板、推块和螺栓，可方便快捷的对真空泵本体进行限位固定，增加真空泵主体使用时的稳定性，从而提高此装置整体的可靠性。
附图说明
[0015]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：
[0016]图1是本技术工作箱的主视图；
[0017]图2是本技术整体的主视剖面图；
[0018]图3是本技术水袋的主视图；
[0019]图4是本技术图2中A处的放大示意图；
[0020]图中：1、真空泵本体；2、工作箱；3、减震板；4、减震杆；5、减震套筒；6、减震弹簧；7、水袋；8、连杆；9、导震板；10、推杆；11、L型卡块一；12、L型卡块二；13、卡槽；14、卡板；15、推块；16、螺栓；17、缓冲弹簧。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]请参阅图1
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图4，本技术提供技术方案：用于石英坩埚真空熔制工艺的抽真空装置，包括真空泵本体1和工作箱2，所述工作箱2内部设有活动连接的减震板3，所述真空泵本体1活动设于所述减震板3顶部，所述减震板3底部设有减震杆4，所述工作箱2底部设有与
所述减震杆4相匹配的减震套筒5，所述减震套筒5内壁设有减震弹簧6，所述工作箱2内壁匹配设有水袋7，所述减震套筒5外壁靠近所述水袋7一侧设有铰接的连杆8，所述连杆8一端设有活动连接的导震板9，所述导震板9与所述工作箱2滑动连接，所述减震板3底部设有与所述连杆8相匹配的推杆10，所述推杆10通过转轴一与所述连杆8转动连接，所述连杆8底部设有缓冲弹簧17，所述缓冲弹簧17与所述工作箱2底部连接，所述连杆8通过连接轴与所述导震板9活动连接，所述连杆8与所述连接轴转动连接，所述导震板9内壁设有与所述连接轴相匹配的活动轨。
[0023]具体实施方式为：使用时，将进气管与出气管与相应设备连接，并将进水管与水源连接，出水管与排水装置贯通，此时可启动真空泵本体1使其工作，其工作会产生震动，与此同时真空泵本体1会对减震板3产生压力，减震板3会对减震杆4产生压力，减震杆4会对减震弹簧6产生压力，使减震弹簧6压缩，减震弹簧6压缩后会产生反弹力，与减震杆4受到的压力抵消，减震杆4会与减震板3受到的压力相抵消，减震板3会对真空泵本体1产生缓冲作用，对真空泵进行减震，从而降低真空泵本体1震动产生的噪音，同时在真空泵本体1放置在减震板3上后，其产生的重力会使减震板3向下移动，减震板3会带动推杆10向下移动，推杆10会通过连接轴带动连杆8向下移动，连杆8一端本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.用于石英坩埚真空熔制工艺的抽真空装置，包括真空泵本体(1)和工作箱(2)，其特征在于：所述工作箱(2)内部设有活动连接的减震板(3)，所述真空泵本体(1)活动设于所述减震板(3)顶部，所述减震板(3)底部设有减震杆(4)，所述工作箱(2)底部设有与所述减震杆(4)相匹配的减震套筒(5)，所述减震套筒(5)内壁设有减震弹簧(6)，所述工作箱(2)内壁匹配设有水袋(7)，所述减震套筒(5)外壁靠近所述水袋(7)一侧设有铰接的连杆(8)，所述连杆(8)一端设有活动连接的导震板(9)，所述导震板(9)与所述工作箱(2)滑动连接，所述减震板(3)底部设有与所述连杆(8)相匹配的推杆(10)。2.根据权利要求1所述的用于石英坩埚真空熔制工艺的抽真空装置，其特征在于：所述减震板(3)顶部设有与所述真空泵本体(1)相匹配的L型卡块一(11)，所述减震板(3)顶部远离所述L型卡块一(11)一侧设有滑动连接的L型卡块二(12)，所述减震板(3)顶部于所述L型卡块二(12)一侧设有卡槽(13)，所述卡槽(13)内部设有活动连接的卡板(14)，所述卡板(14)靠近所述L型卡块二(12)一侧设有推块(15)，所述卡板(14)顶部设有螺栓(1...
【专利技术属性】
技术研发人员：张国忠，高文送，汪涵，朱海江，李国洪，朱燕亚，
申请(专利权)人：无锡市尚领石英科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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