石英坩埚用清洗装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了石英坩埚用清洗装置，包括底座，底座底部四角对称设有支腿，所述底座顶部由上到下依次设有上箱体和下箱体，所述下箱体内设有第一清理机构，本实用新型专利技术通过设有的电机、转轴、橡胶垫一、L架一、固定环、齿环、齿轮、连接块、L架二、转杆一、转杆二、单轨同步轮、双轨同步轮和同步带的使用，使其能够同时对石英坩埚的内外侧避免进行刷洗；同时配合设有水箱、水泵、水管、导管、喷水架和套管的使用，使其能够对石英坩埚内外侧避免喷水进行冲洗，从而配合刷洗使其清洗效果更好；通过螺杆、橡胶垫二配合卡块和橡胶垫一的使用，使其能够更好地对石英坩埚进行限位固定，从而方便对其进行清洗。洗。洗。

【技术实现步骤摘要】
石英坩埚用清洗装置


[0001]本技术涉及石英坩埚
，具体为石英坩埚用清洗装置。

技术介绍

[0002]石英坩埚是以石英砂为主要材制成的器皿。石英坩埚，具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等一些优点，目前石英坩埚的应用越来越广泛。石英坩埚的检测工作是一个十分重要的环节，而且石英坩埚的检测朝向现场检测方向发展。石英坩埚可以在1450度以下使用，分为透明和不透明两种。用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅，发展大规模集成电路必不可少的基础材料。当今，世界半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的透明石英坩埚。目前坩埚生产涂层技术已被大多数厂家使用就是在普通石英砂溶制的坩埚表面涂上一层二氧化钡溶液使其形成致密层，其致密层能阻止单晶硅高温拉制过程中硅与石英坩埚反应提高成晶率。石英坩埚生产工艺流程为：高纯石英砂
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高纯石墨模具
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真空装料成型
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真空电弧熔制
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自然冷却脱模
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石英坩埚初步检测
→/>冷加工喷砂、切断本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.石英坩埚用清洗装置，包括底座(1)，底座(1)底部四角对称设有支腿，其特征在于：所述底座(1)顶部由上到下依次设有上箱体(3)和下箱体(2)，所述下箱体(2)内设有第一清理机构，所述上箱体(3)内设有与下箱体(2)相连接的第二清理机构，所述下箱体(2)和上箱体(3)内设有喷水机构，所述第一清理机构包括底座(1)底部设有的电机(6)，所述电机(6)的输出端延伸至下箱体(2)内连接有转轴(7)，所述下箱体(2)内侧转轴(7)外侧设有放置板，放置板顶部转轴(7)外侧开设有通槽，所述放置板顶部对称设有若干卡块(5)，所述第二清理机构包括上箱体(3)内顶部设有的固定环(11)，所述固定环(11)内开设有空腔，所述空腔内一侧设有齿环(12)，所述齿环(12)底部对称设有连接块(14)，所述喷水机构包括支腿之间电机(6)下方设有的支撑板，所述支撑板顶部设有水箱(21)和水泵(22)。2.根据权利要求1所述的石英坩埚用清洗装置，其特征在于：所述第一清理机构还包括转轴(7)顶端连接的橡胶垫一(9)，所述转轴(7)两侧对称设有L架一(10)，且所述L架一(10)位于所述卡块(5)相对内侧，所述L架一(10)外侧壁面设有若干刷毛。3.根据权利要求1所述的石英坩埚用清洗装置，其特征在于：所述第二清理机构还包括卡块(5)的相对外侧对称设有内侧壁设有若干刷毛的L架二(15)，所述L架二(15)顶部与连接块(14)相连接，所述空腔内齿环(12)相对外侧设有与齿环(12)相适配的齿轮(13)，所述齿轮(13)的内侧设有转杆一(16)，所述转杆一(16)下端延伸至固...

【专利技术属性】
技术研发人员：张国忠，高文送，汪涵，朱海江，李国洪，朱燕亚，
申请(专利权)人：无锡市尚领石英科技有限公司，
类型：新型
国别省市：