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单节径非轴对称振动模式的压电膜微电机制造技术

技术编号:3388909 阅读:231 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
单节径非轴对称振动模式的压电膜微电机,属于压电微电机技术领域。其特征在于,它含有:由薄金属圆片和对称地粘接于该片上且可顺或逆时针地沿圆周方向在其电极分割区上连续加电的压电陶瓷膜片共同构成的定子,对称地固定在上述定子中心处的中空管,分布在中空管两端的转子,穿过中空管与上转子间隙配合的中心轴,作用在上转子上由螺母、弹簧构成的预紧力调整机构以及支在薄金属圆片外周上的字子支撑。当下转子与中心轴连体时构成轴输出型电机;下转子作为中心轴的支撑构成转子输出型。转子与中空管呈倾斜角接触。转子运转的平稳性随电极分割区数的增大而提高。它兼具棒状和压电膜微电机的优点,极化工艺简单且有通用性,易微型化,同时也不影响输出力矩。(*该技术在2021年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

一种单节径非轴对称振动模式的压电膜微电机,属于压电微电机
本专利技术的特征在于,它含有由薄金属圆片和对称地粘接在上述薄金属圆片上且可顺或逆时针地沿其圆周方向在电极分割区上连续加电的压电陶瓷膜片共同构成的定子,对称地固定在上述定子中心处的中空管,分布在中空管两端的转子,穿过中空管与上转子间隙配合的中心轴,作用在上转子上由螺母、弹簧构成的预紧力调整机构以及支在薄金属圆片外周上的定子支掌。所述的微电机是下转子与中心轴连体向上转子与中心轴间隙配合,且上、下转子与中空管呈内倾斜角接触的轴输出型的。所述的微电机是下转子为与中心轴连体的支撑,而上转子与中心轴间隙配合且与中空管呈内倾斜角接触的转子输出型的。所述的压电陶瓷膜片其一侧为统一电极而另一侧电极均分为2N区,N至少等于或大于2,而且极化方向沿厚度方向,每个极化区的极化方向是一致的。所述的分割分数2N=4。所述的统一电极是与另一侧和中心管对称的任一对电极在极化方向上是相反的而且是共同与外电源相串联的。使用证明它可实现预期目的。图2单节径非轴对称振动模式的压电膜微电机运转原理示意图。图3实施例一轴输出型单节径非轴对称振动模式的压电膜本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种单节径非轴对称振动模式的压电膜微电机,含有定子、转子和预紧力调整机构,其特征在于它含有:由薄金属圆片和对称地粘接在上述薄金属圆片上且可顺或逆时针地沿其圆周方向在电极分割区上连续加电的压电陶瓷膜片共同构成的定子,对称地固定在上述定子中心处的中空管,分布在中空管两端的转子,穿过中空管与上转子间隙配合的中心轴,作用在上转子上由螺母、弹簧构成的预紧力调整机构以及支在薄金属圆片外周上的定子支撑。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:褚祥诚李龙土袁松梅桂治轮
申请(专利权)人:清华大学
类型:发明
国别省市:11[中国|北京]

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