下载单节径非轴对称振动模式的压电膜微电机的技术资料

文档序号:3388909

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单节径非轴对称振动模式的压电膜微电机,属于压电微电机技术领域。其特征在于,它含有:由薄金属圆片和对称地粘接于该片上且可顺或逆时针地沿圆周方向在其电极分割区上连续加电的压电陶瓷膜片共同构成的定子,对称地固定在上述定子中心处的中空管,分布在中空...
该专利属于清华大学所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学授权不得商用。

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