一种用于管式PECVD炉管的清扫设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于管式PECVD炉管的清扫设备，其技术方案要点是：包括两个固定板，两个所述固定板之间固定套接有加热管，所述加热管的内部固定安装有石英管，所述石英管的内部活动安装有石英舟，所述加热管的一侧开始有出气孔，所述出气孔的内部固定安装有出气管，所述出气管的外圆壁面固定安装有控制阀，所述加热管的一侧设置有安装块，所述安装块的一侧设置吹扫组件，用于对炉管内的大小碎片和灰尘，通过设置N2阀门，开启加热管，在把气源与N2阀门连接在一起，通过高温加热，炉管内的大小碎片杂质会快速分解，把真空机与真空阀门连接，对炉管内被吹起的杂质进行抽取，气体能够轻松的把炉管内细小缝隙中的杂质吹起，提高对炉管的清洁效果。炉管的清洁效果。炉管的清洁效果。

【技术实现步骤摘要】
一种用于管式PECVD炉管的清扫设备


[0001]本技术涉及太阳能电池制备设备
，具体涉及一种用于管式PECVD炉管的清扫设备。

技术介绍

[0002]根据申请号为：CN201822197769.3的中国专利可知，公开了一种用于管式PECVD炉管的碎片清理装置，包括纵长的支撑件、刮板、毛刷及第一驱动件，其中，所述刮板与所述支撑件的端部连接；所述毛刷与所述支撑件的靠近所述刮板的端部转动连接，所述第一驱动件与所述毛刷传动连接。利用刮板可以清理PECVD炉管内较大的碎片，自动旋转的毛刷可以将PECVD炉管内细碎的碎片清扫出去，从而实现了快速、高效并彻底地去除PECVD炉管内的硅片碎片的目的。
[0003]目前的管式PECVD炉管的清扫设备还存着一些不足，例如：通过毛刷进行清理，无法对细小缝隙中的杂质清理干净，造成清理效果不好。

技术实现思路

[0004]针对现有技术的不足，本技术提供了一种用于管式PECVD炉管的清扫设备，解决了无法清理细小缝隙中的杂质的问题。
[0005]本技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于管式PECVD炉管的清扫设备，其特征在于，包括：两个固定板（1），两个所述固定板（1）之间固定套接有加热管（2），所述加热管（2）的内部固定安装有石英管（3），所述石英管（3）的内部活动安装有石英舟（4），所述加热管（2）的一侧开始有出气孔（5），所述出气孔（5）的内部固定安装有出气管（6），所述出气管（6）的外圆壁面固定安装有控制阀（8），所述加热管（2）的一侧设置有安装块（7），所述安装块（7）的一侧设置吹扫组件，用于对炉管内的大小碎片和灰尘。2.根据权利要求1所述的一种用于管式PECVD炉管的清扫设备，其特征在于，所述吹扫组件包括：进气孔（9），所述进气孔（9）开设在安装块（7）的一侧，所述进气孔（9）的内部固定安装有N2阀门（10），所述安装块（7）的一侧开设有抽气孔（11），所述抽气孔（11）的内部固定安装有真空阀门（12）。3.根据权利要求2所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨洋，薛伟，黄辉巍，
申请(专利权)人：常州顺风太阳能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：