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本实用新型公开了一种用于管式PECVD炉管的清扫设备，其技术方案要点是：包括两个固定板，两个所述固定板之间固定套接有加热管，所述加热管的内部固定安装有石英管，所述石英管的内部活动安装有石英舟，所述加热管的一侧开始有出气孔，所述出气孔的内部固...
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