非对称驱动电极的非接触超声微马达制造技术

一种非对称驱动电极的非接触超声微马达，属于微机电技术领域。本发明专利技术包括：基底、压电陶瓷片、金属弹性体、微转子、转轴和四个驱动电极，转轴固定在基底上，压电陶瓷片粘贴在金属弹性体上，压电陶瓷片和转轴间隙配合，微转子设在转轴上，压电陶瓷片的一侧设有四个驱动电极，所述的四个驱动电极的扇区角度大小依次为３６°、７２°、１０８°和１４４°。本发明专利技术采用一种基于非对称电极的非接触式驱动微马达，突破了接触式超声微马达的寿命短、转速低的使用限制，大大地提高了马达性能，扩大了超声微马达的使用范围；而且该马达采用微细加工的方法制造与实现，易于生产批量化、微型化等优点，为超声波微马达的实际应用奠定了基础。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及的是一种微机电
的器件，具体地说，是一种非对称驱动电极的非接触超声微马达。
技术介绍
20世纪80年代开发出一种新型的驱动机构——超声马达。它和传统的电磁马达相比，具有结构简单、结构可变、无电磁干扰、无噪音等优点。已逐步应用到照相机的自动调焦装置、自动传输机构中等。但由于常规的超声马达定子和转子(或滑块)是接触的，通过摩擦力带动转子转动(或滑块的滑动)。因而降低了马达的寿命，限制了马达的转速。为了拓宽超声马达的应用范围，于是非接触超声波马达被提出和研究。超声马达的激励方式通常是首先对压电陶瓷进行同一方向的正常极化，然后按定子的振动节径数分成四倍于节径数的扇区，最后将这些扇区依次连接具有相位差的交流信号。但是由于这种激励方式所产生的机电耦合系数通常较低，难以获得达的位移，因此转速较低。经对现有技术的文献检索发现，上世纪90年代初Y.Yamayoshi等人在《International Journal of Applied Electromagnetics in Marerials》，Vol.3(1992)pp179-182页上撰文“Ultrasonic moto本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种非对称驱动电极的非接触超声微马达，包括：基底（１）、压电陶瓷片（２）、金属弹性体（３）、微转子（４）、转轴（５）和驱动电极（６、７、８、９），其特征在于，转轴（５）固定在基底（１）上，压电陶瓷片（２）粘贴在金属弹性体（３）上，压电陶瓷片（２）和转轴（５）间隙配合，微转子（４）设在转轴（５）上，压电陶瓷片（２）的一侧设有驱动电极（６、７、８、９），所述的驱动电极（６、７、８、９）的扇区角度大小依次为３６°、７２°、１０８°和１４４°。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘景全，杨斌，陈迪，
申请(专利权)人：上海交通大学，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]