下载非对称驱动电极的非接触超声微马达的技术资料

文档序号:3388455

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种非对称驱动电极的非接触超声微马达,属于微机电技术领域。本发明包括:基底、压电陶瓷片、金属弹性体、微转子、转轴和四个驱动电极,转轴固定在基底上,压电陶瓷片粘贴在金属弹性体上,压电陶瓷片和转轴间隙配合,微转子设在转轴上,压电陶瓷片的一侧设有...
该专利属于上海交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海交通大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。