溅射靶及其制造方法技术

本发明专利技术涉及能够将翘曲了的圆筒形基材用作构成材料的溅射靶及其制造方法，提供一种新型的溅射靶的制造方法，其中，即使圆筒形靶材的轴向长度较长，或者即使经过接合材料填充时的加热，也能够消除圆筒形基材的翘曲。本发明专利技术提出了一种溅射靶的制造方法，其特征在于，测定圆筒形基材的翘曲幅度，进行使圆筒形基材向与翘曲了的方向相反的方向翘曲的加工，在上述加工后的圆筒形基材的外侧，沿轴向隔开间隔地排列配置多个圆筒形靶材，用接合材料将上述圆筒形基材与上述圆筒形靶材接合。筒形基材与上述圆筒形靶材接合。筒形基材与上述圆筒形靶材接合。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】溅射靶及其制造方法


[0001]本专利技术涉及具备圆筒形基材和多个圆筒形靶材的溅射靶及其制造方法，特别是涉及能够将弯曲变形而翘曲的圆筒形基材用作材料的溅射靶的制造方法。

技术介绍

[0002]在制造有机EL、液晶显示器、触摸面板、其它显示器件时，在用于形成由ITO等形成的透明导电薄膜的溅射中，使用了在平板状的基材上接合靶材而成的平板型溅射靶的磁控管溅射是主流。
[0003]近年来，在圆筒形基材的外周面接合有靶材的圆筒形溅射靶绕轴线旋转并进行溅射的旋转溅射已经实用化。根据上述的旋转溅射，与平板型溅射靶相比，可以实现格外高的使用效率，因此具有可以得到高生产率等优点。
[0004]随着在平板显示器、太阳能电池中使用的玻璃基板的大型化，为了在该大型化后的基板上形成薄膜，需要长度为2m以上的长条的圆筒形溅射靶。但是，难以制造长度为2m以上的圆筒形靶，所以在长条的圆筒形基材的外侧，沿轴线方向排列配置多个圆筒形靶材(也称为“分割靶材”)。
[0005]例如在专利文献1、2中公开了下述内容：制作将靶材沿轴线方向分割为多个而成的多个靶材，将该多个靶材在圆筒形基材的外周侧沿轴线方向排列配置，并且利用接合材料将它们接合，由此制造该溅射靶。
[0006]随着如上所述地圆筒形溅射靶变为长条，如果圆筒形基材也变为长条，则圆筒形基材对翘曲的影响就变得不能忽视。特别是超过2m的长条的圆筒形基材存在翘曲多、且其翘曲幅度也大的问题。如果圆筒形基材的翘曲较大，则接合材料的厚度变得不均匀，在接合材料的厚度薄的部分变得冷却不足，会产生在溅射时导致产生裂纹等问题。
[0007]近年来，开始使用在更大型的第10代玻璃基板上成膜的溅射装置，靶的全长超过3m。在靶的全长超过3m的情况下，上述那样的的翘曲的问题更为显著。
[0008]因此，在专利文献2中，着眼于基材与靶材的偏心，为了抑制这种偏心，提出了下述方法：在制造圆筒形靶之前确认圆筒形基材的翘曲，在翘曲大的情况下，使用压制机等来矫正圆筒形基材的翘曲。
[0009]另外，专利文献3以圆筒形基材弯曲为前提，与圆筒形基材的弯曲变形相应地分别配置多个圆筒形靶材。即公开了下述方法：使各圆筒形靶材的中心轴线倾斜，或者在圆周方向的任意位置沿径向偏移，来确保圆筒形靶材的内周面与圆筒形基材的外周面之间所需的接合材料厚度。
[0010]现有技术文献
[0011]专利文献
[0012]专利文献1：日本特开2010
‑
100930号公报
[0013]专利文献2：国际公开2016/067717号
[0014]专利文献3：日本特开2018
‑
159105号公报

技术实现思路

[0015]专利技术所要解决的问题
[0016]专利文献2中记载的专利技术提出了下述问题：在预先测定圆筒形基材的翘曲、并且翘曲大的情况下，使用压制机等来矫正翘曲。但是，在接合材料填充时，如果预先加热圆筒形基材、或者在圆筒形基材与靶材之间填充加热熔融的接合材料而加热圆筒形基材，则存在矫正后的翘曲复原(也称为“翘曲复原”)的问题。
[0017]另外，专利文献3中记载的专利技术以使用弯曲的圆筒形基材为前提，因此在圆筒形靶材的轴向长度小于750mm的情况下，能够确保所需的接合材料厚度，与此相反，如果圆筒形靶材的轴向长度变为750mm以上，则存在难以确保所需的接合材料厚度的问题。
[0018]在圆筒形基材的外侧排列配置多个圆筒形靶材而构成圆筒形溅射靶的情况下，圆筒形靶材之间的间隙在溅射时会导致球粒(nodule)，因此优选尽量减少圆筒形靶材的分割数。因此，随着如上所述地圆筒形溅射靶的长度逐年变长，圆筒形靶材的轴向长度也逐年变长，圆筒形靶材也有变长的趋势，从而无法限定在小于750mm。
[0019]因此，本专利技术涉及能够将翘曲了的圆筒形基材用作构成材料的溅射靶及其制造方法，提供能够制造下述溅射靶的新型的溅射靶的制作方法和新型的溅射靶，该溅射靶即使圆筒形靶材的轴向长度较长，或者即使经过接合材料填充时的加热、即在填充接合材料时预先加热圆筒形基材，或者在圆筒形基材与靶材之间填充加热熔融的接合材料而加热圆筒形基材，也能够抑制所使用的圆筒形基材的翘曲的影响，其结果是，接合材料的厚度均匀，且相邻的圆筒形靶材之间的高低差量小，并且相邻的圆筒形靶材之间的轴向距离均匀。
[0020]用于解决问题的手段
[0021]本专利技术提出了一种溅射靶的制造方法，其特征在于，其是具备圆筒形基材和圆筒形靶材的溅射靶的制造方法，上述溅射靶的制造方法包含下述工序：
[0022]测定圆筒形基材的翘曲幅度，
[0023]进行使圆筒形基材向与翘曲了的方向相反的方向翘曲的加工，
[0024]在上述加工后的圆筒形基材的外侧，沿轴向隔开间隔地排列配置多个圆筒形靶材，用接合材料将该圆筒形基材与上述圆筒形靶材接合。
[0025]本专利技术还提出了一种溅射靶，其是具备圆筒形基材和圆筒形靶材、并用接合材料将上述圆筒形基材与上述圆筒形靶材接合而成的溅射靶，
[0026]上述圆筒形靶材中的至少一个的轴向长度为750mm以上，接合材料的厚度的最大值与最小值之差为1.0mm以下，相邻的圆筒形靶材的外周面之间的高低差量的最大值为0.5mm以下，相邻的圆筒形靶材之间的轴向距离的最大值与最小值之差为0.2mm以下。
[0027]专利技术效果
[0028]本专利技术所提出的制造方法是考虑通过加工圆筒形基材后的加热而再次变形即上述的翘曲复原，以向与原本翘曲了的方向相反的方向反过来仅翘曲规定幅度的方式加工圆筒形基材的方法。因此，即使圆筒形靶材的轴向长度较长，或者即使经过接合材料填充时的加热，也能够消除所使用的圆筒形基材的翘曲的影响，能够制造接合材料的厚度均匀、且相邻的圆筒形靶材之间的高低差量小、并且相邻的圆筒形靶材之间的轴向距离均匀的溅射靶。
[0029]因此，根据本专利技术所提出的制造方法，能够制造下述的溅射靶：其是具备圆筒形基
材和多个圆筒形靶材的溅射靶，上述圆筒形靶材中的至少一个的轴向长度为750mm以上，接合材料的厚度的最大值与最小值之差为1.0mm以下，相邻的圆筒形靶材的外周面之间的高低差量的最大值为0.5mm以下，相邻的圆筒形靶材之间的轴向距离的最大值与最小值之差为0.2mm以下。
[0030]而且，如果是上述的溅射靶，由于接合层的厚度被确保得均匀，所以在溅射时不仅不易产生裂纹，且相邻的圆筒形靶材之间的外周面间的高低差量小，而且该间隙的间隔均匀，所以能够显著减少溅射时的发生异常的概率。进而，由于翘曲即弯曲少，所以在使靶旋转时抖动(日文原文为
“ブレ”
)小，能够使圆筒形靶与基板的距离保持恒定，能够使通过溅射形成的膜的品质变得均匀。
附图说明
[0031]图1是示意性地表示溅射靶的一例的立体图。
[0032]图2是示意性地表示翘曲的圆筒形基材的一例的立体图。
[0033]图3是示意性地表示测定圆筒本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种溅射靶的制造方法，其特征在于，其是具备圆筒形基材和圆筒形靶材的溅射靶的制造方法，所述溅射靶的制造方法包含下述工序：测定圆筒形基材的翘曲幅度(称为“测定工序”)，进行使圆筒形基材向与翘曲了的方向相反的方向翘曲的加工(称为“加工工序”)，在所述加工后的圆筒形基材的外侧，沿轴向隔开间隔地排列配置多个圆筒形靶材，用接合材料将该圆筒形基材与所述圆筒形靶材接合。2.根据权利要求1所述的溅射靶的制造方法，其特征在于，在所述加工工序中，基于在所述测定工序中测得的翘曲幅度，确定使圆筒形基材向与翘曲了的方向相反的方向翘曲的幅度。3.根据权利要求1或2所述的溅射靶的制造方法，其特征在于，在所述加工工序中，在所述测定工序中测得了翘曲幅度X的情况下，进行使圆筒形基材向与翘曲了的方向相反的方向仅翘曲X
×
0.10～2.00的幅度的加工。4.根据权利要求1或2所述的溅射靶的制造方法，其特征在于，在所述测定工序中，在加热了所述圆筒形基材后，测定加热后的圆筒形基材的翘曲幅度，在所述加工工序中，在所述测定工序中测得了翘曲幅度Y的情况下，进行使圆筒形基材向与翘曲了的方向相反的方向仅翘曲Y
×
0.50～1.50的幅度的加工。5.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：寺村享祐，
申请(专利权)人：三井金属矿业株式会社，
类型：发明
国别省市：