非球面薄膜溅镀系统技术方案

本发明专利技术公开一种非球面薄膜溅镀系统，其包括真空腔体、靶材与多轴式自动驱动装置。靶材与多轴式自动驱动装置位于真空腔体中。溅镀电源于真空腔体中形成电浆，并用电浆溅镀靶材，从而形成溅镀粒子。多轴式自动驱动装置上设有待溅镀物，待溅镀物具有朝向靶材的非球面。非球面具有待溅镀点，待溅镀点的切线与直线段互相垂直，直线段连接于待溅镀点与靶材之间。多轴式自动驱动装置根据待溅镀点对应的非球面方程式，在固定直线段的长度的前提下移动待溅镀物，以利用溅镀粒子于非球面上形成均匀薄膜，从而避免非球面透镜上的膜厚不均的问题。从而避免非球面透镜上的膜厚不均的问题。从而避免非球面透镜上的膜厚不均的问题。

【技术实现步骤摘要】
非球面薄膜溅镀系统


[0001]本专利技术是涉及一种溅镀系统，且特别涉及一种非球面薄膜溅镀系统。

技术介绍

[0002]溅射，也称溅镀，是一种物理气相沉积技术，指固体靶中的原子被高能量离子撞击而离开固体进入气体的物理过程。溅镀一般是在充有惰性气体的真空系统中，通过高压电场的作用，使得氩气电离，产生氩离子流，轰击靶阴极，被溅出的靶材料原子或分子沉淀积累在半导体芯片或玻璃、陶瓷上而形成薄膜。
[0003]在传统技术中，高度弯曲的透镜经溅镀沉积后可能会出现明显的膜厚梯度问题，尤其像非球面透镜。非球面镜片是由球面(凹凸)和平面以外的曲面组成的镜片。除抛物面、双曲面或椭圆面以外，还有高次多项式等四次曲面。另外还有像甜甜圈或橄榄球，就像非轴对称曲面。针对非球面透镜，因为高弯曲度导致镜片的沉积薄膜的厚度不均匀，而无法达到生产要求，从而导致所得反射光谱失真。
[0004]因此，本专利技术针对上述的困扰，提出一种非球面薄膜溅镀系统，以解决所产生的问题。

技术实现思路

[0005]本专利技术提供一种非球面薄膜溅镀系统，其于非球面上形本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种非球面薄膜溅镀系统，包括：真空腔体；靶材，位于所述真空腔体中，并电性连接溅镀电源，所述溅镀电源用以于所述真空腔体中形成电浆，并用电浆溅镀所述靶材，从而形成溅镀粒子；以及多轴式自动驱动装置，其上设有至少一个待溅镀物，所述多轴式自动驱动装置与所述至少一个待溅镀物位于所述真空腔体中，所述至少一个待溅镀物具有朝向所述靶材的非球面，所述非球面具有待溅镀点，所述待溅镀点的切线与直线段互相垂直，所述直线段连接于所述待溅镀点与所述靶材之间，所述多轴式自动驱动装置用以根据所述待溅镀点对应的非球面方程式，在固定所述直线段的长度的前提下移动所述至少一个待溅镀物，以利用所述溅镀粒子于所述非球面上形成均匀薄膜，所述非球面的中间区域为球面，所述非球面的高度变化对应一平面坐标系，所述平面坐标系由互相垂直的第一坐标轴与第二坐标轴形成，所述第一坐标轴平行所述至少一个待溅镀物未转动时中间区域的顶点的切线，非球面方程式表示如下：其中n为正整数，A
2n
为第n个非球面系数，R为所述中间区域的曲率半径，K为锥形常数(conic constant)，y与Z为所述至少一个待溅镀物未转动时，所述非球面上的每一点分别对应于所述第一坐标轴与所述第二坐标轴的坐标值。2.如权利要求1所述的非球面薄膜溅镀系统，其特征在于：所述多轴式自动驱动装置以垂直所述第二坐标轴的第一直线为轴，并以θ角旋转所述至少一个待溅镀物时，所述待溅镀点对应于所述第一坐标轴与所述第二坐标轴的坐标值分别为y*与Z*，且Z*＝Z(y*)rot(θ)，且所述多轴式自动驱动装置减少或增加Z*，以固定所述直线段的长度。3.如权利要求2所述的非球面薄膜溅镀系统，其特征在于：所述多轴式自动驱动装置包括：升降机构，用以沿第二直线垂直移动，所述第二直线垂直所述第一直线；以及旋转机构，设于所述升降机构上，所述至少一个待溅镀物设于所述旋转机构上，所述升降机构用以通过所述旋转机构固定所述直线段的长度，所述旋转机构用以以所述第一直线为轴，旋转所述至少一个待溅镀物。4.如权利要求3所述的非球面薄膜溅镀系统，其特征在于：所述多轴式自动驱动装置还包括：基座，其上设有两个平移轨道；以及平移机构，设于所述平移轨道上，所述升降机构设于所述平移机构上，所述平移机构用以在所述平移轨道上沿第三直线水平移动，该第三直线垂直所述第二直线，所述平移机构用以通...

【专利技术属性】
技术研发人员：白文宾，麦宏全，林咏翔，柯泰年，
申请(专利权)人：业成光电深圳有限公司业成光电无锡有限公司英特盛科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：