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本发明公开一种非球面薄膜溅镀系统，其包括真空腔体、靶材与多轴式自动驱动装置。靶材与多轴式自动驱动装置位于真空腔体中。溅镀电源于真空腔体中形成电浆，并用电浆溅镀靶材，从而形成溅镀粒子。多轴式自动驱动装置上设有待溅镀物，待溅镀物具有朝向靶材的非...该专利属于业成光电（深圳）有限公司业成光电（无锡）有限公司英特盛科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过业成光电（深圳）有限公司业成光电（无锡）有限公司英特盛科技股份有限公司授权不得商用。