一种提高光刻机定位精度的工作台制造技术

本实用新型专利技术涉及光刻机技术领域，且公开了一种提高光刻机定位精度的工作台，包括加工台，所述加工台的顶部固定安装有固定座，通过将加工件放置在避让槽一和避让槽二在侧板处形成的L形托台上，使加工件的边角与L托台的边角处对齐，再向前推动L形板，使得托板托举在加工件前侧的底部，抵块和凸起的装配体抵接在加工件的前侧，抵块与加工件相互挤压，使得抵块沿着安装槽的内壁向前侧滑动，弹簧受压收缩蓄积弹性势能，通过弹簧的弹性使抵块保持对加工件的挤压力，并通过凸起的设置，对抵块和加工件之间的挤压力进行缓冲，并防止加工件发生左右滑动，从而将加工件稳定的设置在固定座的左上角，方便光刻机进行定位，从而达到光刻机加工时定位精度更高的目的。工时定位精度更高的目的。工时定位精度更高的目的。

【技术实现步骤摘要】
一种提高光刻机定位精度的工作台


[0001]本技术涉及光刻机
，具体为一种提高光刻机定位精度的工作台。

技术介绍

[0002]“数码激光全息光刻制版系统”是一个智能设计制作系统，它含有动态图像处理和控制的系统组成，任何文字、图像均可通过“数码激光全息光刻制版系统”设计成具有各种动态效果的点阵图案、并制成激光原版，生成的激光图像在任意观察范围和光源下均有动态效果。
[0003]光刻机在对加工件加工之前，需要将加工件稳固在工作台上，而一般工作台在对加工件进行固定时，仅通一个可以前后滑动的滑动座配合一个托台，对加工件进行夹持，夹持作用较差，且加工件与托台的边角处贴合不够紧密，加工件容易发生松动，影响光刻机对加工件进行加工时的精度。
[0004]我们通过对工作台上的夹持部件进行设计，滑座的左右两侧设置三个滑块相互配合，使其在滑动时更为稳定，并在滑座的后侧设置弹性部件，对加工件施加一定的压力，增强对加工件的夹持作用，从而提高光刻机的加工精度，进而提出一种提高光刻机定位精度的工作台。

技术实现思路

[0005](一)解决的技术问题
[0006]针对现有技术的不足，本技术提供了一种提高光刻机定位精度的工作台，具备光刻机加工时定位精度更高等优点，解决了加工件夹持不稳定使光刻机定位精度低的问题。
[0007](二)技术方案
[0008]为实现上述光刻机加工时定位精度更高目的，本技术提供如下技术方案：一种提高光刻机定位精度的工作台，包括加工台，所述加工台的顶部固定安装有固定座，所述固定座的内部前后滑动连接有夹持部件，所述夹持部件的后侧阵列设置有施压部件；
[0009]所述固定座包括有四个侧板，四个所述侧板的首尾相连合围呈矩形，位于后侧的所述侧板顶部开设有避让槽一，位于左侧的所述侧板顶部开设有避让槽二，位于左右两侧的所述侧板的内侧均开设有滑槽；
[0010]所述夹持部件包括有前后滑动连接在左右分布的两个侧板之间的L形板，所述L形板水平部分的左右两侧均固定安装有前后分布的两个滑块，所述滑块滑动连接在滑槽内，所述L形板竖直部分的左侧顶部固定安装有延伸部，所述L形板的后侧固定安装有托板；
[0011]所述施压部件包括有阵列开设在L形板后侧的安装槽，所述安装槽的端面固定安装有弹簧，所述弹簧的另一端固定安装有抵块，所述抵块的另一端阵列设置有凸起。
[0012]优选的，所述避让槽一和避让槽二在位于后侧、左侧的两个侧板装配体的顶部形成一个L形托台，光刻机加工的加工件放置在该L形托台上。
[0013]优选的，所述延伸部滑动连接在侧板顶部且位于避让槽二的底壁上，托板的顶部与避让槽二的底壁齐平。
[0014]优选的，放置在L形托台上的加工件的前侧底部抵接在托板的顶部，该加工件的前侧抵接在凸起的表面。
[0015]优选的，所述安装槽的位置高于托板的顶部，抵块前后滑动连接在安装槽的内壁上。
[0016]优选的，所述凸起纵横交错分布在抵块远离抵块的一端，凸起由橡胶制成。
[0017](三)有益效果
[0018]与现有技术相比，本技术提供了一种提高光刻机定位精度的工作台，具备以下有益效果：
[0019]该提高光刻机定位精度的工作台，通过将加工件放置在避让槽一和避让槽二在侧板处形成的L形托台上，使加工件的边角与L托台的边角处对齐，再向前推动L形板，滑块沿着滑槽向后滑动，延伸部沿着避让槽二的底壁向后滑动，使得托板托举在加工件前侧的底部，抵块和凸起的装配体抵接在加工件的前侧，抵块与加工件相互挤压，使得抵块沿着安装槽的内壁向前侧滑动，弹簧受压收缩蓄积弹性势能，通过弹簧的弹性使抵块保持对加工件的挤压力，并通过凸起的设置，对抵块和加工件之间的挤压力进行缓冲，并防止加工件发生左右滑动，从而将加工件稳定的设置在固定座的左上角，方便光刻机进行定位，从而达到光刻机加工时定位精度更高的目的。
附图说明
[0020]图1为本技术提出的一种提高光刻机定位精度的工作台的固定座处右后侧视角立体结构示意图；
[0021]图2为本技术提出的一种提高光刻机定位精度的工作台的立体结构示意图；
[0022]图3为本技术提出的一种提高光刻机定位精度的工作台的固定座处右前侧视角立体结构示意图；
[0023]图4为本技术提出的一种提高光刻机定位精度的工作台的固定座处右视剖面结构示意图；
[0024]图5为本技术提出的一种提高光刻机定位精度的工作台的图4中A处细节放大结构示意图。
[0025]图中：1、加工台；2、固定座；3、夹持部件；4、施压部件；21、侧板；22、避让槽一；23、避让槽二；24、滑槽；31、L形板；32、滑块；33、延伸部；34、托板；41、安装槽；42、弹簧；43、抵块；44、凸起。
具体实施方式
[0026]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0027]请参阅图1－5，一种提高光刻机定位精度的工作台，包括加工台1，加工台1的顶部
固定安装有固定座2，固定座2的内部前后滑动连接有夹持部件3，夹持部件3的后侧阵列设置有施压部件4。
[0028]固定座2包括有四个侧板21，四个侧板21的首尾相连合围呈矩形，位于后侧的侧板21顶部开设有避让槽一22，位于左侧的侧板21顶部开设有避让槽二23，避让槽一22和避让槽二23在位于后侧、左侧的两个侧板21装配体的顶部形成一个L形托台，光刻机加工的加工件放置在该L形托台上，位于左右两侧的侧板21的内侧均开设有滑槽24。
[0029]夹持部件3包括有前后滑动连接在左右分布的两个侧板21之间的L形板31，L形板31的水平部分方便用手推动L形板31时进行握持，L形板31水平部分的左右两侧均固定安装有前后分布的两个滑块32，滑块32滑动连接在滑槽24内，L形板31竖直部分的左侧顶部固定安装有延伸部33，L形板31的后侧固定安装有托板34，延伸部33滑动连接在侧板21顶部且位于避让槽二23的底壁上，托板34的顶部与避让槽二23的底壁齐平，两个滑块32和一个延伸部33呈三角形分布，使L形板31前后滑动时具有更高的稳定性。
[0030]施压部件4包括有阵列开设在L形板31后侧的安装槽41，安装槽41的端面固定安装有弹簧42，弹簧42的另一端固定安装有抵块43，安装槽41的位置高于托板34的顶部，抵块43前后滑动连接在安装槽41的内壁上，抵块43的另一端阵列设置有凸起44，放置在L形托台上的加工件的前侧底部抵接在托板34的顶部，该加工件的前侧抵接在凸起44的表面，凸起44纵横交错分布在抵块43远离抵块43的一端，凸起44由橡胶制成，使凸起44具有一定的弹性，增强对加本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种提高光刻机定位精度的工作台，包括加工台(1)，其特征在于：所述加工台(1)的顶部固定安装有固定座(2)，所述固定座(2)的内部前后滑动连接有夹持部件(3)，所述夹持部件(3)的后侧阵列设置有施压部件(4)；所述固定座(2)包括有四个侧板(21)，四个所述侧板(21)的首尾相连合围呈矩形，位于后侧的所述侧板(21)顶部开设有避让槽一(22)，位于左侧的所述侧板(21)顶部开设有避让槽二(23)，位于左右两侧的所述侧板(21)的内侧均开设有滑槽(24)；所述夹持部件(3)包括有前后滑动连接在左右分布的两个侧板(21)之间的L形板(31)，所述L形板(31)水平部分的左右两侧均固定安装有前后分布的两个滑块(32)，所述滑块(32)滑动连接在滑槽(24)内，所述L形板(31)竖直部分的左侧顶部固定安装有延伸部(33)，所述L形板(31)的后侧固定安装有托板(34)；所述施压部件(4)包括有阵列开设在L形板(31)后侧的安装槽(41)，所述安装槽(41)的端面固定安装有弹簧(42)，所述弹簧(42)的另一端固定安装有抵块(43)，所述抵...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖运锋，曾国良，钟小青，高勤兰，
申请(专利权)人：深圳市海天鑫工贸有限公司，
类型：新型
国别省市：