下载一种提高光刻机定位精度的工作台的技术资料

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本实用新型涉及光刻机技术领域,且公开了一种提高光刻机定位精度的工作台,包括加工台,所述加工台的顶部固定安装有固定座,通过将加工件放置在避让槽一和避让槽二在侧板处形成的L形托台上,使加工件的边角与L托台的边角处对齐,再向前推动L形板,使得托板...
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