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一种提高光刻机定位精度的工作台制造技术
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下载一种提高光刻机定位精度的工作台的技术资料
文档序号:33869592
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本实用新型涉及光刻机技术领域,且公开了一种提高光刻机定位精度的工作台,包括加工台,所述加工台的顶部固定安装有固定座,通过将加工件放置在避让槽一和避让槽二在侧板处形成的L形托台上,使加工件的边角与L托台的边角处对齐,再向前推动L形板,使得托板...
该专利属于深圳市海天鑫工贸有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市海天鑫工贸有限公司授权不得商用。
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