一种LCD靶材的边缘喷砂防护治具制造技术

本发明专利技术提供一种LCD靶材的边缘喷砂防护治具，所述边缘喷砂防护治具安装在背板上，所述边缘喷砂防护治具靠近LCD靶材的一侧厚度为1.5～2mm，远离LCD靶材的一侧厚度为4～8mm；所述边缘喷砂防护治的表面具有一定的坡度，既能很好的保护非喷砂面不被损伤，又能避免喷砂死角的出现，而且减少了胶带的使用，降低了LCD靶材制备成本。材制备成本。材制备成本。

【技术实现步骤摘要】
一种LCD靶材的边缘喷砂防护治具


[0001]本专利技术涉及靶材加工
，尤其涉及一种LCD靶材的边缘喷砂防护治具。

技术介绍

[0002]在半导体工业中，靶材组件是由符合溅射性能的靶材和与所述靶材结合、具有一定强度的背板构成。背板可以在所述靶材组件装配至溅射基台中起到支撑作用，并具有传导热量的功效。
[0003]对背板进行喷砂处理是靶材组件加工过程的一个重要工艺。喷砂处理是采用压缩空气为动力，以形成高速喷射束将喷料(铜矿砂、石英砂、金刚砂、铁砂、海砂)高速喷射到需处理工件表面，使工件表面的外表或形状发生变化。由于磨料对工件表面的冲击和切削作用，使工件的表面获得一定的清洁度和不同的粗糙度，使工件表面的机械性能得到改善，因此提高了工件的抗疲劳性，增加了它和涂层之间的附着力，延长了涂膜的耐久性，也有利于涂料的流平和装饰。但是如果粗糙度过小，吸附作用不强，反溅射物剥落，掉落在对面的液晶面板用玻璃上，影响良率；如果过大，容易产生微弧，造成机台报警。由于喷砂的作用力比较大，需要对靶材进行一定的遮蔽，以免砂粒冲击对靶材造成损伤，影响产品的质量。
[0004]现有技术中采用胶带遮蔽靶材的非喷砂面，但是在喷砂过程中气压容易将胶带喷破，导致产品非喷砂面喷伤。
[0005]CN211361908U公开了一种靶材的喷砂遮蔽治具，所述喷砂遮蔽治具包括靶材、遮板、定位块及压块；所述遮板设置于靶材的非喷砂面；所述定位块用于遮板的定位；所述压块设置于遮板之上。通过对喷砂遮蔽治具的合理设计，实现了喷砂过程中利用该喷砂遮蔽治具可以保护喷砂过程中非喷砂面不受到损伤，进一步地，所述喷砂遮蔽治具大小可以根据靶材非喷砂面而进行合理的配置。
[0006]CN213532226U公开了一种靶材组件喷砂防护工具，所述靶材组件喷砂防护工具包括依次层叠设置的防护层、缓冲层、定型层与基底层；所述基底层与背板的非喷沙区域接触；所述防护层、缓冲层、定型层以及基底层分别独立地设置有供固定螺栓穿过的至少两个螺纹孔；所述靶材组件喷砂防护工具中各层螺纹孔的位置一一对应。所述靶材组件喷砂防护工具适用于对长方形靶材组件喷砂时的防护，且结构简单，安装方便，能够重复使用，避免了现有技术中遮蔽工具安装繁琐且无法重复利用导致的资源浪费缺陷。
[0007]CN104369113A公开了一种靶材喷砂夹具和靶材喷砂方法，所述靶材喷砂夹具包括靶材卡盘，所述靶材卡盘设置有第一凹槽，所述第一凹槽用于容纳靶材；盖板，所述盖板位于所述靶材的溅射区上，用于保护溅射区；连接件，所述连接件的个数大于或等于两个，每个连接件包括第一端和第二端，所述第一端能够固定在所述第一凹槽外的靶材卡盘上，所述第二端能够固定在所述盖板上。所述靶材喷砂夹具通过对靶材的溅射区进行保护，实现了对靶材喷砂区进行精准喷砂，保证了喷砂区的尺寸与精度符合要求。但所述靶材喷砂夹具仅能够对具有固定形状与尺寸的靶材组件进行处理，且长期使用容易使靶材喷砂夹具的结构发生变化，不利于长期使用。
[0008]液晶显示屏(LCD)制备过程中用到的LCD靶材的各项指标要求极为严格，因此，提供一种LCD靶材的边缘喷砂防护治具有效地实现对LCD靶材遮蔽是目前亟待解决的问题。

技术实现思路

[0009]鉴于现有技术中存在的问题，本专利技术提供一种LCD靶材的边缘喷砂防护治具，所述边缘喷砂防护治的表面具有一定的坡度，既能很好的保护非喷砂面不被损伤，又能避免喷砂死角的出现，而且减少了胶带的使用，降低了LCD靶材制备成本。
[0010]为达此目的，本专利技术采用以下技术方案：
[0011]第一方面，本专利技术提供一种LCD靶材的边缘喷砂防护治具，所述边缘喷砂防护治具安装在背板上，所述边缘喷砂防护治具靠近LCD靶材的一侧厚度为1.5～2mm，远离LCD靶材的一侧厚度为4～8mm。
[0012]本专利技术所述LCD靶材的边缘喷砂防护治具靠近LCD靶材一侧的厚度较远离LCD靶材一侧的厚度小，这样形成了一个坡度，在喷砂处理过程中不会出现喷砂死角，不会对靶材造成不利影响。相较于现有技术中使用胶带进行喷砂防护遮蔽而言，本申请所述边缘喷砂防护治具对非喷砂面进行有效防护，不会由于喷砂气压较大等因素造成边缘喷砂防护治具脱落现象，保护了靶材产品的外观，并减少了胶带使用，减少了废弃胶带对环境的污染，具有大规模推广应用潜力。
[0013]本专利技术所述LCD靶材的边缘喷砂防护治具可以根据实际需要在靶材的两侧或者四周均进行安装，以实现在喷砂处理中对非喷砂面的有效防护。
[0014]本专利技术所述边缘喷砂防护治具靠近LCD靶材的一侧厚度为1.5～2mm，例如可以是1.5mm、1.6mm、1.7mm、1.8mm、1.9mm或2mm等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
[0015]本专利技术所述边缘喷砂防护治具远离LCD靶材的一侧厚度为4～8mm，例如可以是4mm、4.5mm、5mm、5.5mm、6mm、6.5mm、7mm、7.5mm或8mm等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
[0016]优选地，所述边缘喷砂防护治具与LCD靶材之间的距离为130～150mm，例如可以是130mm、132mm、135mm、140mm、145mm、147mm或150mm等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
[0017]本专利技术优选所述边缘喷砂防护治具与LCD靶材之间的距离为130～150mm，实现了对靶材非喷砂面的有效防护。当边缘喷砂防护治具与LCD靶材之间的距离小于130mm，在喷砂处理过程中会出现喷砂死角，大大降低靶材成材率；当边缘喷砂防护治具与LCD靶材之间的距离大于150mm，接受喷砂处理的区域太大，边缘喷砂防护治具对非喷砂面没有起到很好的防护作用。
[0018]优选地，所述背板的材质包括金属或金属合金。
[0019]优选地，所述金属包括铜或铝。
[0020]优选地，所述LCD靶材为LCD平面靶材。
[0021]优选地，所述边缘喷砂防护治具的形状包括板形或角钢形。
[0022]本专利技术优选所述边缘喷砂防护治具的形状包括板形或角钢形，其中角钢形的边缘喷砂防护治具不仅可以覆盖背板的表面，也可以很好地遮蔽背板的侧面，防止喷砂过程中
喷料向四周溅射，对背板造成损伤。
[0023]优选地，所述边缘喷砂防护治具的长度不小于背板的长度。
[0024]本专利技术优选所述边缘喷砂防护治具的长度不小于背板的长度，这样才能很好的实现边缘喷砂防护治具对靶材进行有效遮蔽，避免非喷砂面损伤。
[0025]优选地，所述边缘喷砂防护治具的材质包括塑料或金属。
[0026]优选地，所述边缘喷砂防护治具通过螺丝与背板固定连接。
[0027]优选地，所述螺丝的数量至少为2个，例如可以是2个、3个、4个、5个、8个或10个等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
[0028]本专利技术优本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种LCD靶材的边缘喷砂防护治具，其特征在于，所述边缘喷砂防护治具安装在背板上，所述边缘喷砂防护治具靠近LCD靶材的一侧厚度为1.5～2mm，远离LCD靶材的一侧厚度为3～5mm。2.根据权利要求1所述的边缘喷砂防护治具，其特征在于，所述边缘喷砂防护治具与LCD靶材之间的距离为130～150mm。3.根据权利要求1或2所述的边缘喷砂防护治具，其特征在于，所述背板的材质包括金属或金属合金；优选地，所述金属包括铜或铝。4.根据权利要求1～3任一项所述的边缘喷砂防护治具，其特征在于，所述LCD靶材为LCD平面靶材。5.根据权利要求1～4任一项所述的边缘喷砂防护治具，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，潘杰，王学泽，赵丽，李闯，范文新，周伟君，
申请(专利权)人：广东江丰电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：