一种用于泄漏检测的氢气传感器制造技术

本实用新型专利技术涉及一种用于泄漏检测的氢气传感器，包括一个一端有进气口和测量探针、另一端有出气口和加热探针的气室，气室内有一个挡在进气口和出气口之间的敏感元件，敏感元件包括基板及设在其正面的测量电极、设在其背面的加热电极，测量电极和测量探针相连，加热电极和加热探针相连，加热电极上覆盖有屏蔽层，测量电极是采用真空镀膜方法由多壁碳纳米管负载钯

【技术实现步骤摘要】
一种用于泄漏检测的氢气传感器


[0001]本技术涉及一种氢气传感器，尤其涉及一种用于泄漏检测的氢气传感器。

技术介绍

[0002]在自动化生产的过程中，工业检漏已成为保证器件和系统密封性必不可少的实用技术，可广泛应用于航空航天、电子工业、电力工业级制冷工业等领域。
[0003]传统的工业检漏方法包括压差法、水检法、超声波法以及示踪气体法。压差法检测速率较低，需要放置一定时间，与水检法的检测灵敏度相当，仅可检到 10
‑1Pa
·
m3/s。超声波法可检到10
‑2Pa
·
m3/s左右的最小漏率。示踪气体法是目前工业检漏方法中灵敏度最高的方法，可检到低于10
‑5Pa
·
m3/s的漏率。示踪气体法所用示踪气体包括放射性气体、卤素气体、氦气以及氢气，其中氦气检漏法是灵敏度最高的一种检漏方法，但是氦气检漏成本较高，且氦质谱检漏仪需要配合真空系统来实现，导致高精密检漏技术在工业检漏中的应用受限。
[0004]氢气检漏法是一种新兴的气体检漏技术，其气体检测成本更为本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于泄漏检测的氢气传感器，其特征在于包括一个气室，气室的顶部设有一个进气口和两个测量探针，气室的底部设有一个出气口和两个加热探针，气室内设有一个挡在进气口和出气口之间的敏感元件，敏感元件包括基板及设在基板正面的测量电极、设在基板背面的加热电极，测量电极的两端分别和两个测量探针相连，加热电极的两端分别和两个加热探针相连，加热电极上覆盖有屏蔽层，测量探针、加热探针还分别和位于气室外的信号电路电连接；所述的测量电极包括多个等间距平行设置的直线段，相邻直线段的头部之间及尾部之间交错连接有圆弧线段，即测量电极呈蛇形弯曲布置；所述的加热电极的形状和测量电极的形状相同。2.根据权利要求1所述的一种用...

【专利技术属性】
技术研发人员：何镧，刘佳琪，王成宇，黄雷，
申请(专利权)人：杭州超钜科技有限公司，
类型：新型
国别省市：