一种运载车制造技术

本发明专利技术公开了一种运载车，包括：车体、支撑件、平移装置和旋转装置，支撑件通过平移装置和旋转装置活动连接于车体，平移装置至少包括升降机构和横移机构，升降机构的升降方向和横移机构的平移方向交叉布置，旋转装置包括至少两个旋转轴线方向交叉布置的转动调节机构，至少一个转动调节机构的旋转轴线方向与竖直方向交叉布置。本发明专利技术提供的运载车不仅能够实现对硅棒的转运，而且还能够实现对硅棒及晶托的多个方向的位置调节功能及多个姿态的角度调节功能，从而能够更加方便准确地使料叉与晶托对接以及使晶托与加工设备内的支撑滑轨对接，进而大大提高了硅棒的上下料效率。进而大大提高了硅棒的上下料效率。进而大大提高了硅棒的上下料效率。

【技术实现步骤摘要】
一种运载车


[0001]本专利技术涉及硅棒加工
，尤其涉及一种运载车。

技术介绍

[0002]硅棒是半导体加工领域的一种常见原料，硅棒切片是半导体加工工艺中的一个必要环节。在硅棒切片加工工艺中，当硅棒通过固定胶粘接到晶托上后，需要将带有硅棒的晶托移动并放入到切片机内部的料叉上，以便于后续的切割工序。其中，晶托是用于支撑硅棒的结构。而晶托及硅棒的重量较大，现有的人工移动方式费时费力，并且难以对准晶托与料叉，造成硅棒的上下料过程效率低下，并且还容易磕碰损伤硅棒。
[0003]因此，如何安全、快速地完成硅棒的上下料过程，是本领域技术人员目前需要解决的技术问题。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本专利技术的目的在于提供一种运载车，用于安全、快速地完成硅棒的上下料过程。
[0005]为了实现上述目的，本专利技术提供了如下技术方案：
[0006]一种运载车，包括：车体、支撑件、平移装置和旋转装置，所述支撑件通过所述平移装置和所述旋转装置活动连接于所述车体，所述平移装置至少包括升降机构和横移机构，所述升降机构的升降方向和所述横移机构的平移方向交叉布置，所述旋转装置包括至少两个旋转轴线方向交叉布置的转动调节机构，至少一个所述转动调节机构的旋转轴线方向与竖直方向交叉布置。
[0007]优选地，所述升降机构包括与所述车体固连的竖向导轨以及滑动连接于所述竖向导轨的升降座，所述横移机构包括与所述升降座固连的横向导轨以及滑动连接于所述横向导轨的横移座，所述旋转装置包括第一转动调节机构和第二转动调节机构，所述第一转动调节机构包括旋转盘和第一角度调节机构，所述旋转盘旋转连接于所述横移座，所述旋转盘的旋转轴线方向与竖直方向交叉布置，所述第一角度调节机构用于调节所述旋转盘相对所述横移座的旋转角度，所述支撑件通过所述第二转动调节机构连接于所述旋转盘。
[0008]优选地，所述第一角度调节机构包括第一丝杠、第一丝杠螺母和连杆，所述第一丝杠绕自身轴线转动布置于所述横移座，所述第一丝杠的轴线方向与所述旋转盘的旋转轴线方向交叉布置，所述第一丝杠螺母与所述第一丝杠螺纹配合，所述第一丝杠螺母通过所述连杆连接所述旋转盘并向所述旋转盘传递驱动力矩，所述连杆与所述旋转盘的连接位置与所述旋转盘的旋转轴线之间相隔第一预设距离，所述第一丝杠螺母通过所述连杆和/或限位结构相对所述横移座滑动布置。
[0009]优选地，所述第一丝杠的轴线方向与所述旋转盘的旋转轴线方向垂直布置，所述连杆的一端转动连接于所述第一丝杠螺母且另一端转动连接于所述旋转盘，所述连杆的两端的旋转轴线方向均与所述旋转盘的旋转轴线方向平行布置，所述连杆的两端连线与所述
旋转盘的旋转轴线方向交叉布置。
[0010]优选地，所述旋转盘的边缘设有至少一个滚轮，所述横移座上设有用于支撑所述滚轮的弧形支撑板。
[0011]优选地，所述第二转动调节机构包括旋转支座和第二角度调节机构，所述旋转支座与所述支撑件固连并且相对所述旋转盘转动布置，所述旋转支座的旋转轴线方向与所述旋转盘的旋转轴线方向交叉布置，所述第二角度调节机构用于调节所述旋转支座相对所述旋转盘的旋转角度。
[0012]优选地，所述第二角度调节机构包括驱动杆，所述驱动杆活动布置于所述旋转盘与所述旋转支座之间并且用于向所述旋转支座传递驱动力矩。
[0013]优选地，所述第二角度调节机构还包括啮合传动的齿轮与齿条，所述齿条固连于所述驱动杆，所述齿轮绕自身轴线相对所述旋转盘转动布置。
[0014]优选地，所述第二角度调节机构还包括用于向所述齿轮传递驱动力矩的链轮传动机构，所述链轮传动机构包括传动链条和两个链轮，其中一个所述链轮与所述齿轮同轴相连。
[0015]优选地，所述旋转盘的旋转轴线沿水平方向延伸，所述旋转支座的旋转轴线方向与所述旋转盘的旋转轴线方向垂直布置。
[0016]优选地，所述升降机构包括用于驱动所述升降座进行升降运动的升降液压缸，所述横移机构包括第二丝杠和第二丝杠螺母，所述第二丝杠绕自身轴线转动布置于所述升降座，所述第二丝杠的轴线方向与所述横向导轨的延伸方向平行布置，所述第二丝杠螺母与所述第二丝杠螺纹配合，所述第二丝杠螺母固定连接于所述横移座。
[0017]优选地，所述运载车还包括用于与硅棒承载结构配合的料叉，所述料叉固定连接于所述支撑件或可拆卸连接于所述支撑件。
[0018]优选地，所述升降机构的升降方向沿竖直方向布置，所述横移机构的平移方向沿水平方向布置，所述平移装置还包括推拉机构，所述推拉机构的平移方向沿水平方向布置并且与所述横移机构的平移方向垂直布置。
[0019]本专利技术提供的运载车，包括：车体、支撑件、平移装置和旋转装置，所述支撑件通过所述平移装置和所述旋转装置活动连接于所述车体，所述平移装置至少包括升降机构和横移机构，所述升降机构的升降方向和所述横移机构的平移方向交叉布置，所述旋转装置包括至少两个旋转轴线方向交叉布置的转动调节机构，至少一个所述转动调节机构的旋转轴线方向与竖直方向交叉布置。
[0020]本专利技术的工作原理如下：
[0021]当需要加工硅棒时，在支撑件上设置料叉，再将该运载车移动到载有硅棒和晶托的工作台前，然后，通过调节平移装置和旋转装置将料叉与晶托上的抓板对齐，人工继续推动运载车并将料叉推到晶托的抓板内，然后通过升降机构使硅棒脱离工作台，此时，便可利用运载车转运硅棒；然后，利用运载车将硅棒及晶托移动到加工设备前，再次通过调节平移装置和旋转装置，使晶托与加工设备内的支撑滑轨对齐，继续推动车体，将硅棒送入到加工设备的夹具内，此时，利用夹具将硅棒夹紧，再将料叉与晶托分离，退回车体脱离加工设备，完成硅棒的上料过程。
[0022]在上述过程中，平移装置用于带动硅棒在空间内进行平移运动，旋转装置用于带
动硅棒在空间内进行旋转运动，其中，至少有一个转动调节机构的旋转轴线方向与竖直方向交叉布置，从而可以实现硅棒及晶托的水平调整功能，有效克服因地面不平整等引起的对接困难的问题。可见，本专利技术提供的运载车不仅能够实现对硅棒的转运，而且还能够实现对硅棒及晶托的多个方向的位置调节功能及多个姿态的角度调节功能，从而能够更加方便准确地使料叉与晶托对接以及使晶托与加工设备内的支撑滑轨对接，进而大大提高了硅棒的上下料效率。
附图说明
[0023]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0024]图1为本专利技术具体实施例中的运载车和硅棒及晶托的结构示意图；
[0025]图2为本专利技术具体实施例中的横移机构和第一转动调节机构的结构示意图；
[0026]图3为本专利技术具体实施例中的第二转动调节机构的结构示意图；
[0027]图4为本专利技术具体实施例中的晶托和硅棒的示意图；<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种运载车，其特征在于，包括：车体、支撑件、平移装置和旋转装置，所述支撑件通过所述平移装置和所述旋转装置活动连接于所述车体，所述平移装置至少包括升降机构和横移机构，所述升降机构的升降方向和所述横移机构的平移方向交叉布置，所述旋转装置包括至少两个旋转轴线方向交叉布置的转动调节机构，至少一个所述转动调节机构的旋转轴线方向与竖直方向交叉布置。2.根据权利要求1所述的运载车，其特征在于，所述升降机构包括与所述车体固连的竖向导轨以及滑动连接于所述竖向导轨的升降座，所述横移机构包括与所述升降座固连的横向导轨以及滑动连接于所述横向导轨的横移座，所述旋转装置包括第一转动调节机构和第二转动调节机构，所述第一转动调节机构包括旋转盘和第一角度调节机构，所述旋转盘旋转连接于所述横移座，所述旋转盘的旋转轴线方向与竖直方向交叉布置，所述第一角度调节机构用于调节所述旋转盘相对所述横移座的旋转角度，所述支撑件通过所述第二转动调节机构连接于所述旋转盘。3.根据权利要求2所述的运载车，其特征在于，所述第一角度调节机构包括第一丝杠、第一丝杠螺母和连杆，所述第一丝杠绕自身轴线转动布置于所述横移座，所述第一丝杠的轴线方向与所述旋转盘的旋转轴线方向交叉布置，所述第一丝杠螺母与所述第一丝杠螺纹配合，所述第一丝杠螺母通过所述连杆连接所述旋转盘并向所述旋转盘传递驱动力矩，所述连杆与所述旋转盘的连接位置与所述旋转盘的旋转轴线之间相隔第一预设距离，所述第一丝杠螺母通过所述连杆和/或限位结构相对所述横移座滑动布置。4.根据权利要求3所述的运载车，其特征在于，所述第一丝杠的轴线方向与所述旋转盘的旋转轴线方向垂直布置，所述连杆的一端转动连接于所述第一丝杠螺母且另一端转动连接于所述旋转盘，所述连杆的两端的旋转轴线方向均与所述旋转盘的旋转轴线方向平行布置，所述连杆的两端连线与所述旋转盘的旋转轴线方向交叉布置。5.根据权利要求2所述的运载车，其特征在于，所述旋转盘的边缘设有至少一个滚轮，所述横移座上设有用于支撑所述滚轮的弧形...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭党，陈俊儒，刘钢，范国强，陈明强，刘少鹏，张国强，
申请(专利权)人：乐山高测新能源科技有限公司，
类型：发明
国别省市：