温控设备及温控方法技术

本发明专利技术涉及温度调控技术领域，本发明专利技术提供一种温控设备及温控方法。其中，温控设备包括：水箱、第一阀体和第一泵体，所述第一阀体设置有入口、第一出口和第二出口，所述水箱、第一阀体的入口和第一阀体的第一出口适于连通形成第一循环系统，所述第一泵体与负载装置适于连通形成第二循环系统，所述入口、所述第二出口和所述第二循环系统适于连通。本发明专利技术提供的温控设备，通过设置具有第一出口和第二出口的第一阀体，通过第二出口为第二循环系统调控流体温度，无需使水箱中的流体温度达到第二循环系统的温度，降低了对水箱及相关部件的耐高温能力要求，可延长水箱及相关部件的使用寿命。可延长水箱及相关部件的使用寿命。可延长水箱及相关部件的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
温控设备及温控方法


[0001]本专利技术涉及温度调控
，尤其涉及一种温控设备及温控方法。

技术介绍

[0002]在集成电路制造行业，需要用到控制温度25℃以上的高温型温控设备，对需要维持一定高温的部位进行温度控制或者需要高温液体及低温液体进行温度混合。目前的高温要求基本在20～100℃范围内，一些工艺制程需要用到100℃以上的高温，采用目前的温控设备会带来整个循环系统高温烫伤的风险并且对高温器件的要求高，需要付出较大的代价来满足。
[0003]相关技术中，采用单循环系统，单循环系统中，水箱、换热器、加热器和负载串联；或，采用双循环系统，双循环系统中，水箱与换热器串联，水箱、加热器和负载串联，以形成两个循环回路。在集成电路专用温控设备中由于需要液体回收功能，水箱体积一般较大，因此带来整个设备内部的高温烫伤风险，且对内部电器件及电箱温度都存在负面影响，对设备的寿命影响较大。基于前述，在高温区间使用时水箱内液体都是高温液体，单循环系统和双循环系统均存在水箱温度较高、液位传感器及保温材料耐高温性能不佳等问题。
>
技术实现思路
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种温控设备，其特征在于，包括：水箱、第一阀体和第一泵体，所述第一阀体设置有入口、第一出口和第二出口，所述水箱、第一阀体的入口和第一阀体的第一出口适于连通形成第一循环系统，所述第一泵体与负载装置适于连通形成第二循环系统，所述入口、所述第二出口和所述第二循环系统适于连通。2.根据权利要求1所述的温控设备，其特征在于，所述第一泵体与所述负载装置的出口端之间设置有第一调节阀。3.根据权利要求2所述的温控设备，其特征在于，所述第一调节阀关闭，所述水箱、所述入口、所述第二出口、所述第一泵体、所述负载装置连通形成第三循环系统。4.根据权利要求3所述的温控设备，其特征在于，所述第三循环系统包括第二调节阀，所述第二调节阀位于所述水箱与所述负载装置的出口端之间。5.根据权利要求1所述的温控设备，其特征在于，所述第一循环系统包括换热器，所述换热器的放热管路位于所述水箱与所述入口之间。6.根据权利要求1至5中任意一项所述的温控设备，其特征在于，所述第二循环系统包括加热器，所述加热器位于所述负载装置的进口端与所述第二出口之间。7.根据权利要求6所述的温控设备，其特征在于，所述第一阀体的入口端设置有第三温度传感器，所述加热器的进口端设置有第四温度传感器，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：芮守祯，杨春水，何茂栋，曹小康，董春辉，靳李富，冯涛，
申请(专利权)人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：