【技术实现步骤摘要】
一种电镀效率高的真空电镀机
[0001]本技术涉及真空电镀机
,具体为一种电镀效率高的真空电镀机。
技术介绍
[0002]真空电镀机又称真空镀膜机,主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空电阻加热蒸发,电子枪加热蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积,离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种,现有的真空电镀机工作效率低,在运行时会出现成膜效果不好的现象,导致原料和材料的浪费,同时也大大降低了工作的效率。
技术实现思路
[0003]本技术的目的在于提供一种电镀效率高的真空电镀机,具备工作效率高的优点,解决了现有的真空电镀机工作效率低,在运行时会出现成膜效果不好的现象,导致原料和材料的浪费,同时也大大降低了工作效率的问题。
[0004]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种电镀效率高的真空电镀机,包括底座和储气罐,所述底座顶部的左侧固定连接有箱体,所述箱体内腔顶部的左侧固定安装有压力传感器,所述箱体内腔顶部的右侧固定安装有温度传感器,所述底座内腔的左 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种电镀效率高的真空电镀机,包括底座(1)和储气罐(16),其特征在于:所述底座(1)顶部的左侧固定连接有箱体(2),所述箱体(2)内腔顶部的左侧固定安装有压力传感器(3),所述箱体(2)内腔顶部的右侧固定安装有温度传感器(4),所述底座(1)内腔的左侧固定安装有加热器(5),所述底座(1)内腔的右侧固定安装有电镀本体(6),所述底座(1)的顶部固定连接有固定箱(7),所述固定箱(7)内腔顶部的左侧固定安装有电机(8),所述电机(8)的输出端固定连接有第一转杆(9),所述第一转杆(9)的底部固定连接有主齿轮(10),所述主齿轮(10)的表面啮合有齿条(11),所述齿条(11)右侧的表面啮合有副齿轮(12),所述副齿轮(12)的内腔固定连接有第二转杆(13),所述第二转杆(13)的表面固定连接有强力吸附盘(15),所述储气罐(16)的顶部固定安装有气泵(17),所述气泵(17)的输入端固定连接有第一导气管(18),所述气泵(17)的输出端固定连接有第二输气管(19),所述底座(1)顶部的右侧固定安装有真空泵(21),所述真空泵(...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘春红,
申请(专利权)人:安徽昱虹薄膜科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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