对基板作业机和清扫方法技术

本发明专利技术提供一种对基板作业机，具备：供给部件，向电子基板供给在电子基板的生产中使用的流体；第一支撑部，供第一擦拭体设置；第二支撑部，供第二擦拭体设置；致动器，使第一支撑部以及第二支撑部中的至少一方移动；以及控制部，执行如下的清扫处理：通过利用致动器使第一支撑部以及第二支撑部成为接近的状态来清扫供给部件。扫供给部件。扫供给部件。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】对基板作业机和清扫方法


[0001]本公开涉及对用于对电子基板涂布流体的供给部件进行清扫的对基板作业机和清扫方法。

技术介绍

[0002]以往，关于上述对基板作业机和清扫方法，提出了各种技术。例如，下述专利文献1所记载的技术具备：管嘴，具有对涂布对象物喷出液体的液体喷出部；储液箱，贮存用于防止存在于液体喷出部的液体干燥的药液，并且在上方具有开口，能够供管嘴从开口插入；以及刷子，配置于储液箱的内部，并且在管嘴插入到储液箱时，摩擦液体喷出部而清扫液体喷出部。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：2017
‑
7435号公报

技术实现思路

[0006]专利技术所要解决的课题
[0007]本专利技术的课题在于，在具备用于对电子基板涂布流体的供给部件的对基板作业机中，更理想地对供给部件进行清扫。
[0008]用于解决课题的技术方案
[0009]本说明书公开了一种对基板作业机，具备：供给部件，向电子基板供给在电子基板的生产中使用的流体；第一支撑部，供第一擦拭体设置；第二支撑部，供第二擦拭体设置；致动器，使第一支撑部以及第二支撑部中的至少一方移动；以及控制部，执行如下的清扫处理：通过利用致动器使第一支撑部以及第二支撑部成为接近的状态来清扫供给部件。
[0010]专利技术效果
[0011]根据本公开，在具备用于对电子基板涂布流体的供给部件的对基板作业机中，更理想地清扫供给部件。
附图说明
>[0012]图1是表示本实施方式的对基板作业机的立体图。
[0013]图2是表示吸嘴的立体图。
[0014]图3是表示吸嘴的立体图。
[0015]图4是表示管嘴储料器的俯视图。
[0016]图5是表示管嘴储料器的侧视图。
[0017]图6是表示挡板移动装置的侧视图。
[0018]图7是用于说明该对基板作业机的控制结构的图。
[0019]图8是示意性地表示清扫单元的侧视图。
[0020]图9是示意性地表示针、第一擦拭体以及第二擦拭体的俯视图。
[0021]图10是用于实现清扫方法的流程图。
[0022]图11是示意性地表示清扫单元的侧视图。
[0023]图12是示意性地表示清扫单元的侧视图。
[0024]图13是示意性地表示清扫单元的侧视图。
[0025]图14是示意性地表示针、第一擦拭体以及第二擦拭体的俯视图。
[0026]图15是示意性地表示针、第一擦拭体以及第二擦拭体的俯视图。
[0027]图16是示意性地表示针、第一擦拭体以及第二擦拭体的俯视图。
[0028]图17是示意性地表示针、第一擦拭体以及第二擦拭体的变更例的俯视图。
[0029]图18是表示清扫方法的执行时机的流程图。
[0030]图19是表示针转印管嘴的立体图。
具体实施方式
[0031]以下，参照附图对本公开的优选的实施方式进行详细说明。但是，在附图中，省略了结构的一部分而进行描绘，所描绘的各部分的尺寸比等未必准确。进而，在附图中，附图标记D1表示作为左右方向的X轴方向。附图标记D2表示作为前后方向的Y轴方向。附图标记D3表示作为上下方向的Z轴方向。
[0032]如图1所示，在本实施方式中，两个对基板作业机16a、16b以相邻地排列的状态设置于共通基座14上。X轴方向D1是各对基板作业机16a、16b相邻地排列的方向。Y轴方向D2是与X轴方向D1正交的水平方向。Z轴方向D3是与X轴方向D1以及Y轴方向D2这双方、即水平面正交的方向。因而，X轴方向D1、Y轴方向D2以及Z轴方向D3相互正交。
[0033]各对基板作业机16a、16b是相同的结构。以下，在不区分地统称各对基板作业机16a、16b的情况下，标记为对基板作业机16。对基板作业机16具备对基板作业机主体20、搬运装置22、移动装置24、供给装置26、头单元28以及管嘴站34等。
[0034]对基板作业机主体20具有框架部30以及梁部32。梁部32架设于框架部30的上方。此外，在框架部30的前方侧的端部设有带式供料器支撑台77。
[0035]搬运装置22具备两个传送装置40、42以及基板保持装置48(图7)。各传送装置40、42沿X轴方向D1延伸，相互平行地设于框架部30。各传送装置40、42将传送用马达46(图7)作为驱动部等，将支撑于各传送装置40、42的例如印刷基板等电子基板44(图8)沿X轴方向D1搬运。基板保持装置48(图7)将搬运来的电子基板44(图8)在预定的位置上推并固定。
[0036]移动装置24具备未图示的、Y轴方向滑动机构以及X轴方向滑动机构等。Y轴方向滑动机构具有未图示的、沿Y轴方向D2延伸的一对导轨、滑动件以及Y轴马达62(图7)等。导轨固定于梁部32。滑动件根据Y轴马达62(图7)的驱动而被导轨引导，从而向Y轴方向D2的任意位置移动。同样地，X轴方向滑动机构具有未图示的、沿X轴方向D1延伸的一对导轨、滑动件50以及X轴马达64(图7)等。X轴方向滑动机构的导轨固定于Y轴方向滑动机构的滑动件。X轴方向滑动机构的滑动件50根据X轴马达64(图7)的驱动而被导轨引导，从而向X轴方向D1的任意位置移动。在X轴方向滑动机构的滑动件50固定有头单元28。
[0037]供给装置26是供料器型的供给装置，设于框架部30的前方侧的端部。供给装置26具有多个带式供料器70。带式供料器70支撑于带式供料器支撑台77。带式供料器70根据送
出装置78(图7)等的驱动，将卷绕于带盘72的带化元件拉出并开封，从而将电子元件向带式供料器70的下游侧送出并供给。
[0038]在头单元28能够更换地安装有从多个种类的头中选择出的一个头。在多个种类的头中，例如存在有安装头29、胶合头(以下，表述为GL头)500(图8)等。在图1中，安装头29安装于头单元28。头单元28具备正负压供给装置52(图7)、管嘴升降装置54(图7)以及管嘴旋转装置56(图7)等。与此相对地，安装头29具备四个吸嘴轴(未图示)等。此外，关于GL头500(图8)，在后面叙述。
[0039]各吸嘴轴相对于XY平面(水平面)上的形状为大致圆形形状的安装头29的轴，在XY平面(水平面)上均等地配置。在吸嘴轴的下方固定有吸嘴支架(未图示)。吸嘴支架将吸嘴260(图2、图3)保持为能够装卸。另外，在安装头29形成有供从头单元28的正负压供给装置52供给负压空气和正压空气的供给路。由此，安装头29通过被供给负压空气而利用吸嘴260(图2、图3)吸附并保持电子元件58(图8)，通过被供给少量的正压空气而能够使所保持的电子元件58(图8)脱离。即，安装头29对电子元件58(图8)进行吸附并向电子基板44(图8)安装。
[0040]管嘴升降装置54使吸嘴轴在上下方向即Z轴方向D3上升降。管嘴旋转装置56使吸嘴轴围绕安装头29的轴心公转。详细本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种对基板作业机，具备：供给部件，向所述电子基板供给在电子基板的生产中使用的流体；第一支撑部，供第一擦拭体设置；第二支撑部，供第二擦拭体设置；致动器，使所述第一支撑部以及第二支撑部中的至少一方移动；以及控制部，执行如下的清扫处理：通过利用所述致动器使所述第一支撑部以及所述第二支撑部成为接近的状态来清扫所述供给部件。2.根据权利要求1所述的对基板作业机，其中，所述清扫处理包括将所述供给部件按压于所述第一擦拭体的按压处理。3.根据权利要求1或2所述的对基板作业机，其中，所述清扫处理包括利用所述第一擦拭体和所述第二擦拭体来夹持所述供给部件的夹持处理。4.根据权利要求3所述的对基板作业机，其中，所述清扫处理包括使所述供给部件绕所述供给部件的轴旋转的旋转处理。5.根据权利要求3或4所述的对基板作业机，其中，所述第一擦拭体以及所述第二擦拭...

【专利技术属性】
技术研发人员：仲川史人，
申请(专利权)人：株式会社富士，
类型：发明
国别省市：