一种涂胶显影机管路改造装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种涂胶显影机管路改造装置，包括横板，所述横板底部的左右两端对称固定连接有固定块，两个所述固定块的相对一侧横向固定连接有滑杆，所述滑杆的外部套设有滑动块，所述滑动块的底部转动连接有T形转杆，所述横板上表面的左右两端分别设置有夹持座，两个所述夹持座的顶部分别开设有移动槽，两个所述移动槽的内腔分别转动连接有锁紧丝杆。该涂胶显影机管路改造装置，通过设置的夹持座、弧形夹块、移动块、锁紧丝杆、转动轮、移动槽、T形转杆的相互配合可以方便对显影机管路进行固定夹紧以及转动拆除，固定夹紧效果好，操作方便，橡胶层的设置可避免刚性接触对显影机管路造成损坏。路造成损坏。路造成损坏。

【技术实现步骤摘要】
一种涂胶显影机管路改造装置


[0001]本技术涉及涂胶显影机管路改造装置领域，特别涉及一种涂胶显影机管路改造装置。

技术介绍

[0002]目前，在半导体晶片的光刻工艺制程中，一般需多次进行涂胶、曝光、显影的工艺操作，比如Mesa涂胶
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曝光
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显影、CB涂胶
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曝光
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显影、ITO涂胶
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曝光
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显影、Pad涂胶
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曝光
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显影、PV涂胶
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曝光
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显影等，每一次涂胶、曝光、显影的工艺操作需要由涂胶机、曝光机、显影机配合完成，涂胶机的涂胶过程包括前烘和前处理、涂胶、涂胶后烘过程，显影机的工作原理与涂胶机类似，包括显影旋涂和显影后烘两个步骤，区别在于：将所使用的光刻胶替换为显影液，因此，涂胶机和显影机常常组合为一个涂胶显影机台，涂胶显影机设置有真空管等管路，在使用过久后往往需要对真空管等管路进行改造拆卸，现有技术往往通过手动直接拆除，或者通过刚性扳手等工具进行拆卸，手动拆除较为费时费力，刚性工具进行拆除时的固定夹紧效果较差，还容易对管路造成损坏，于是亟需一种涂胶显影机管路改造装置。

技术实现思路

[0003]本技术的主要目的在于提供一种涂胶显影机管路改造装置，可以有效解决
技术介绍
中的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：
[0005]一种涂胶显影机管路改造装置，包括横板，所述横板底部的左右两端对称固定连接有固定块，两个所述固定块的相对一侧横向固定连接有滑杆，所述滑杆的外部套设有滑动块，所述滑动块的底部转动连接有T形转杆，所述横板上表面的左右两端分别设置有夹持座，两个所述夹持座的顶部分别开设有移动槽，两个所述移动槽的内腔分别转动连接有锁紧丝杆，两个所述锁紧丝杆的前端分别设置有转动轮，两个所述锁紧丝杆的前后两端外部分别对称套设有移动块，两组所述移动块的顶部分别对称固定连接有弧形夹块，两组所述弧形夹块内侧腔体的内壁分别对称固定连接有橡胶层，两个所述夹持座正面和背面的下端对称固定连接有侧块，所述横板的正面和背面壁体对称开设有滑槽，两个所述滑槽内腔的相背一侧壁体均匀对称开设有固定孔，两组所述侧块内侧的下端壁体对称固定连接有限位块，两组所述侧块的下端中部壁体对称开设有第一通孔，两组所述第一通孔的内腔分别插设有固定杆，两组所述限位块的中部分别开设有第二通孔，两组所述固定杆的外端分别固定连接有拉块，两组所述第一通孔外端的左右两侧分别对称开设有固定槽，两组所述拉块内侧的左右两端分别对称固定连接有弹簧。
[0006]优选的，所述第二通孔、第一通孔、固定孔的内径相同，并且第二通孔与第一通孔对应。
[0007]优选的，所述固定杆与第一通孔、第二通孔、固定孔适配，并且固定杆的端部穿过所对应的第二通孔延伸至所对应的固定孔的内腔。
[0008]优选的，所述弹簧位于固定槽的内腔，弹簧的另一端部与固定槽的内壁固定连接。
[0009]优选的，两组所述限位块分别插设于两个滑槽的内腔，并且限位块与滑槽适配，所述滑动块的顶部与横板的底部紧密贴合。
[0010]优选的，所述移动块与锁紧丝杆螺纹连接，所述锁紧丝杆的前端延伸至夹持座的前方外部。
[0011]有益效果
[0012]与现有技术相比，本技术提供了一种涂胶显影机管路改造装置，具备以下有益效果：
[0013]1、该涂胶显影机管路改造装置，通过设置的夹持座、弧形夹块、移动块、锁紧丝杆、转动轮、移动槽、T形转杆的相互配合可以方便对显影机管路进行固定夹紧以及转动拆除，固定夹紧效果好，操作方便，橡胶层的设置可避免刚性接触对显影机管路造成损坏。
[0014]2、该涂胶显影机管路改造装置，通过设置的侧块、滑槽、固定孔、固定杆、限位块、拉块、弹簧的相互配合可以方便左右调节两个夹持座的位置，从而适应不同的长短的显影机管路，根据情况对显影机管路进行夹持，同时滑动块和滑杆的配合可以方便改变T形转杆的位置，进而根据情况选择着力点。
附图说明
[0015]图1是本技术的结构示意图；
[0016]图2是本技术弧形夹块的结构示意图；
[0017]图3是本技术夹持座和侧块连接处的结构示意图；
[0018]图4是本技术拉块、限位块、侧块拆解的结构示意图。
[0019]图中：1、横板；2、固定块；3、滑杆；4、滑动块；5、T形转杆；6、夹持座；7、侧块；8、弧形夹块；9、橡胶层；10、锁紧丝杆；11、转动轮；12、滑槽；13、固定孔；14、移动块；15、移动槽；16、限位块；17、固定杆；18、拉块；19、第一通孔；20、第二通孔；21、固定槽；22、弹簧。
具体实施方式
[0020]为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。
[0021]如图1
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4所示，一种涂胶显影机管路改造装置，包括横板1，横板1底部的左右两端对称固定连接有固定块2，两个固定块2的相对一侧横向固定连接有滑杆3，滑杆3的外部套设有滑动块4，滑动块4的顶部与横板1的底部紧密贴合，滑动块4和滑杆3的配合可以方便改变T形转杆5的位置，进而根据情况选择着力点，滑动块4的底部转动连接有T形转杆5，横板1上表面的左右两端分别设置有夹持座6，两个夹持座6的顶部分别开设有移动槽15，两个移动槽15的内腔分别转动连接有锁紧丝杆10，两个锁紧丝杆10的前端分别设置有转动轮11，两个锁紧丝杆10的前后两端外部分别对称套设有移动块14，移动块14与锁紧丝杆10螺纹连接，锁紧丝杆10的前端延伸至夹持座6的前方外部，两组移动块14的顶部分别对称固定连接有弧形夹块8，通过设置的夹持座6、弧形夹块8、移动块14、锁紧丝杆10、转动轮11、移动槽15、T形转杆5的相互配合可以方便对显影机管路进行固定夹紧以及转动拆除，固定夹紧效果好，操作方便，两组弧形夹块8内侧腔体的内壁分别对称固定连接有橡胶层9，橡胶层9的
设置可避免刚性接触对显影机管路造成损坏，两个夹持座6正面和背面的下端对称固定连接有侧块7，横板1的正面和背面壁体对称开设有滑槽12，两个滑槽12内腔的相背一侧壁体均匀对称开设有固定孔13，两组侧块7内侧的下端壁体对称固定连接有限位块16，两组限位块16分别插设于两个滑槽12的内腔，并且限位块16与滑槽12适配，两组侧块7的下端中部壁体对称开设有第一通孔19，两组第一通孔19的内腔分别插设有固定杆17，固定杆17与第一通孔19、第二通孔20、固定孔13适配，并且固定杆17的端部穿过所对应的第二通孔20延伸至所对应的固定孔13的内腔，两组限位块16的中部分别开设有第二通孔20，第二通孔20、第一通孔19、固定孔13的内径相同，并且第二通孔20与第一通孔19对应，两组固定杆17的外端分别固定连接有拉块18，两组第一通孔19外端的左右两侧分本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种涂胶显影机管路改造装置，包括横板（1），其特征在于：所述横板（1）底部的左右两端对称固定连接有固定块（2），两个所述固定块（2）的相对一侧横向固定连接有滑杆（3），所述滑杆（3）的外部套设有滑动块（4），所述滑动块（4）的底部转动连接有T形转杆（5），所述横板（1）上表面的左右两端分别设置有夹持座（6），两个所述夹持座（6）的顶部分别开设有移动槽（15），两个所述移动槽（15）的内腔分别转动连接有锁紧丝杆（10），两个所述锁紧丝杆（10）的前端分别设置有转动轮（11），两个所述锁紧丝杆（10）的前后两端外部分别对称套设有移动块（14），两组所述移动块（14）的顶部分别对称固定连接有弧形夹块（8），两组所述弧形夹块（8）内侧腔体的内壁分别对称固定连接有橡胶层（9），两个所述夹持座（6）正面和背面的下端对称固定连接有侧块（7），所述横板（1）的正面和背面壁体对称开设有滑槽（12），两个所述滑槽（12）内腔的相背一侧壁体均匀对称开设有固定孔（13），两组所述侧块（7）内侧的下端壁体对称固定连接有限位块（16），两组所述侧块（7）的下端中部壁体对称开设有第一通孔（19），两组所述第一通孔（19）的内腔分别插设有固定杆（17），两组所述限位块（16）的中部分别开设有第二通孔（20），两组所述固定杆（17...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘灿波，丁亚锋，
申请(专利权)人：川永电子科技无锡有限公司，
类型：新型
国别省市：