一种扇面涂布装置制造方法及图纸

技术编号:33507605 阅读:12 留言:0更新日期:2022-05-19 01:17
本实用新型专利技术公开了一种扇面涂布装置,具体涉及涂布技术领域,包括底板,所述底板的顶端两侧均连接有减震装置,两个所述减震装置的顶端共同连接有调节放置装置,所述调节板朝向底板长度方向的两端一侧均连接有第一支撑杆,两个所述第一支撑杆的相对面之间共同连接有第一支撑板,所述第一支撑板的顶端连接有盛放箱,所述盛放箱的顶端活动连接有盖板,所述盛放箱的下端连接有出液管,所述出液管的下端贯穿第一支撑板并连接有出液头,所述调节板朝向底板长度方向的两端共同连接有刮液装置。本实用新型专利技术在对圆形扇面进行涂布处理时更加便捷,对圆形扇面的涂布也更加均匀,并且该装置在工作时的减震效果更好,有利于提高该装置的使用寿命。寿命。寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种扇面涂布装置


[0001]本技术涉及涂布
,具体为一种扇面涂布装置。

技术介绍

[0002]目前随着芯片的集成化程度越来越高,朝着轻型化、薄型化、小尺寸化发展,各行各业使用芯片越来越多,要求芯片制造效率不断提高;现有的光刻胶涂布设备中,为保证每次涂布的光刻胶的量达到预定要求,通常会在光刻胶供应管路紧靠调节阀的一侧设置有光刻胶流量检测器。
[0003]而这些装置在对扇面进行涂布时不够便捷,涂布时也不够均匀,降低了整个装置的实用性,并且这些装置在工作时的减震效果也不好,使得整个装置在长时间工作时易产生较严重的磨损,降低了整个装置的使用寿命,为此我们提出一种扇面涂布装置用于解决上述问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种扇面涂布装置,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为解决上述技术问题,本技术采用如下技术方案:一种扇面涂布装置,包括底板,所述底板的顶端两侧均连接有减震装置,两个所述减震装置的顶端共同连接有调节放置装置;
[0006]所述调节放置装置包括调节板,所述调节板的顶端两侧均开有移动槽,两个所述移动槽的一侧内壁上均转动连接有螺纹杆,所述调节板朝向底板宽度方向的一端穿插设有两个传动杆,且两个传动杆的一端分别延伸至两个移动槽内并分别与两个螺纹杆固定连接,两个所述传动杆远离调节板的一端均连接有皮带轮,两个所述皮带轮的外表面均套接有传动皮带,所述调节板的下端一侧连接有安装板,所述安装板的顶端连接有驱动电机,且驱动电机的输出端与其中一个皮带轮固定连接,两个所述螺纹杆的外表面均套接有移动块,两个所述移动块的顶端分别贯穿两个移动槽并均连接有连接块,两个所述连接块的相对面之间共同连接有放置圆框;
[0007]所述调节板朝向底板长度方向的两端一侧均连接有第一支撑杆,两个所述第一支撑杆的相对面之间共同连接有第一支撑板,所述第一支撑板的顶端连接有盛放箱,所述盛放箱的顶端活动连接有盖板,所述盛放箱的下端连接有出液管,所述出液管的下端贯穿第一支撑板并连接有出液头,所述调节板朝向底板长度方向的两端共同连接有刮液装置。
[0008]优选地,所述出液管的一端设置有阀门。
[0009]优选地,所述刮液装置包括固定杆,所述固定杆设置有两个,且两个固定杆的相对面一端分别与调节板的两端固定连接,两个所述固定杆的顶端均套接有活动杆,两个所述活动杆的背对面一端均开有多个定位孔,且两个固定杆的背对面一端均插设有配合定位孔使用的定位销,两个所述活动杆的顶端均连接有第二支撑杆,两个所述第二支撑杆的相对
面之间共同连接有第二支撑板,所述第二支撑板的顶端连接有旋转电机,所述旋转电机的输出端贯穿第二支撑板并连接有刮刀。
[0010]优选地,所述减震装置包括减震箱,所述减震箱的下端与底板固定连接,所述减震箱的上下内壁之间连接有三个立杆,三个所述立杆的外表面共同套接有减震弹簧,三个所述立杆的外表面共同套接有活动板,且活动板的下端与三个减震弹簧固定连接,所述活动板的顶端两侧均连接有压杆,两个所述压杆的顶端均贯穿减震箱并均与调节板固定连接,所述活动板的下端两侧均连接有压板,所述减震箱的下内壁两侧均连接有气囊垫。
[0011]优选地,三个所述立杆均位于两个气囊垫之间,且两个压板分别位于两个气囊垫的正上方。
[0012]优选地,所述第一支撑杆和第二支撑杆均为倒“L”型。
[0013]与现有技术相比,本技术的有益效果在于:
[0014]1、本技术在刮液装置中的固定杆、活动杆、定位孔和定位销的作用下,可使刮刀能够调整高度,在旋转电机的带动,刮刀就能够将圆形扇面上的涂布液刮至均匀,使得整个装置在对圆形扇面进行涂布处理时更加便捷,涂布的也更加均匀,提高了整个装置的实用性;
[0015]2、本技术通过设置减震装置,其中的压杆可在整个装置受到震动时带动活动板对减震弹簧进行挤压,并且压板也会对气囊垫进行挤压,使得减震弹簧和气囊垫能够产生反弹力来对这种震动进行缓冲和吸收,避免该装置在长时间工作时易产生较严重的磨损,提高了整个装置的使用寿命。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0017]图1为本技术结构示意图。
[0018]图2为本技术调节放置装置结构示意图。
[0019]图3为本技术刮液装置结构示意图。
[0020]图4为本技术减震装置剖面图。
[0021]图中:1、底板;2、调节放置装置;3、刮液装置;4、减震装置;5、第一支撑杆;6、盛放箱;7、盖板;8、第一支撑板;9、出液管;10、出液头;21、调节板;22、移动槽;23、放置圆框;24、连接块;25、移动块;26、螺纹杆;27、传动皮带;28、皮带轮;29、安装板;201、驱动电机;202、传动杆;31、固定杆;32、活动杆;33、刮刀;34、旋转电机;35、第二支撑板;36、第二支撑杆;37、定位孔;41、减震箱;42、压板;43、气囊垫;44、压杆;45、减震弹簧;46、立杆;47、活动板。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下
所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0023]实施例:如图1

4所示,本技术提供了一种扇面涂布装置,包括底板1,底板1的顶端两侧均连接有减震装置4,两个减震装置4的顶端共同连接有调节放置装置2,调节放置装置2包括调节板21,调节板21的顶端两侧均开有移动槽22,两个移动槽22的一侧内壁上均转动连接有螺纹杆26,调节板21朝向底板1宽度方向的一端穿插设有两个传动杆202,且两个传动杆202的一端分别延伸至两个移动槽22内并分别与两个螺纹杆26固定连接,两个传动杆202远离调节板21的一端均连接有皮带轮28,两个皮带轮28的外表面均套接有传动皮带27,调节板21的下端一侧连接有安装板29。
[0024]安装板29的顶端连接有驱动电机201,且驱动电机201的输出端与其中一个皮带轮28固定连接,两个螺纹杆26的外表面均套接有移动块25,两个移动块25的顶端分别贯穿两个移动槽22并均连接有连接块24,两个连接块24的相对面之间共同连接有放置圆框23,调节板21朝向底板1长度方向的两端一侧均连接有第一支撑杆5,两个第一支撑杆5的相对面之间共同连接有第一支撑板8,第一支撑板8的顶端连接有盛放箱6,盛放箱6的顶端活动连接有盖板7,盛放箱6的下端连接有出液本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种扇面涂布装置,包括底板(1),其特征在于:所述底板(1)的顶端两侧均连接有减震装置(4),两个所述减震装置(4)的顶端共同连接有调节放置装置(2);所述调节放置装置(2)包括调节板(21),所述调节板(21)的顶端两侧均开有移动槽(22),两个所述移动槽(22)的一侧内壁上均转动连接有螺纹杆(26),所述调节板(21)朝向底板(1)宽度方向的一端穿插设有两个传动杆(202),且两个传动杆(202)的一端分别延伸至两个移动槽(22)内并分别与两个螺纹杆(26)固定连接,两个所述传动杆(202)远离调节板(21)的一端均连接有皮带轮(28),两个所述皮带轮(28)的外表面均套接有传动皮带(27),所述调节板(21)的下端一侧连接有安装板(29),所述安装板(29)的顶端连接有驱动电机(201),且驱动电机(201)的输出端与其中一个皮带轮(28)固定连接,两个所述螺纹杆(26)的外表面均套接有移动块(25),两个所述移动块(25)的顶端分别贯穿两个移动槽(22)并均连接有连接块(24),两个所述连接块(24)的相对面之间共同连接有放置圆框(23);所述调节板(21)朝向底板(1)长度方向的两端一侧均连接有第一支撑杆(5),两个所述第一支撑杆(5)的相对面之间共同连接有第一支撑板(8),所述第一支撑板(8)的顶端连接有盛放箱(6),所述盛放箱(6)的顶端活动连接有盖板(7),所述盛放箱(6)的下端连接有出液管(9),所述出液管(9)的下端贯穿第一支撑板(8)并连接有出液头(10),所述调节板(21)朝向底板(1)长度方向的两端共同连接有刮液装置(3)。2.如权利要求1所述的扇面涂布装置,其特征在于,所述出液管(9)的一端设置有阀门。3....

【专利技术属性】
技术研发人员:雷继虎逄淑伟
申请(专利权)人:精为佳智控技术苏州有限公司
类型:新型
国别省市:

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