一种固晶机制造技术

本发明专利技术涉及晶圆贴装设备技术领域，尤其是指一种固晶机，包括机台、架设于机台的位置调整机构、分别与位置调整机构的调整端连接的贴装装置和双摄像定位装置及分别装设于机台的供晶圆装置、送料装置、供胶装置和加工头更换架，加工头更换架储存有至少一种点胶头和至少一种贴装头，双摄像定位装置与位置调整机构电连接，位置调整机构用于驱动贴装装置和双摄像定位装置在供晶圆装置、送料装置、供胶装置和加工头更换架的上方活动。本发明专利技术通过双摄像定位装置分别对晶圆和产品进行视觉定位，定位精度高，提高了贴装的精度，且一个贴装装置即可完成点胶和贴装的工艺，结构简单且紧凑，成本低。低。低。

【技术实现步骤摘要】
一种固晶机


[0001]本专利技术涉及晶圆贴装设备
，尤其是指一种固晶机。

技术介绍

[0002]固晶机是一种将晶圆贴装在载体(产品)上的设备。现有技术中的固晶机具有点胶装置和贴装装置，分别通过点胶装置和贴装装置完成点胶和贴装的工艺，使得设备的结构复杂，制造成本高，难以准确地对晶圆和载体进行定位，导致固晶精度差。因此，缺陷十分明显，亟需提供一种解决方案。

技术实现思路

[0003]为了解决上述技术问题，本专利技术的目的在于提供一种固晶机。
[0004]为了实现上述目的，本专利技术采用如下技术方案：
[0005]一种固晶机，其包括机台、架设于机台的位置调整机构、分别与位置调整机构的调整端连接的贴装装置和双摄像定位装置及分别装设于机台的供晶圆装置、送料装置、供胶装置和加工头更换架，所述加工头更换架储存有至少一种点胶头和至少一种贴装头，所述双摄像定位装置与位置调整机构电连接，所述位置调整机构用于驱动贴装装置和双摄像定位装置在供晶圆装置、送料装置、供胶装置和加工头更换架的上方活动。
[0006]进一步地，所述贴装装置包括贴装座、转动调节机构、连接座、压力传感器、连接杆、连接臂、磁铁、调节旋钮、限位件、弹簧及霍尔传感器，所述贴装座与位置调整机构的调整端连接，所述转动调节机构装设于贴装座，所述连接座与转动调节机构的转动端连接，所述压力传感器装设于连接座，所述连接杆升降设置于连接座，所述连接杆的顶部用于抵触压力传感器的输入端，所述连接杆的底部可拆卸地连接点胶头或贴装头，所述连接臂与连接杆连接，所述磁铁装设于连接臂，所述调节旋钮与连接座螺纹连接，所述限位件设置于连接座，所述限位件用于对连接臂进行限位，所述霍尔传感器装设于连接座，所述磁铁与霍尔传感器对应设置，所述调节旋钮套设于压力传感器和连接杆外，所述调节旋钮经由弹簧与连接杆弹性连接，所述弹簧套设于压力传感器和连接杆外。
[0007]进一步地，所述连接座装设有空气轴承，所述连接杆经由空气轴承与连接座升降地连接。
[0008]进一步地，所述连接臂贯穿连接杆的径向，所述磁铁装设于连接臂的一端，所述连接臂的另一端与连接座滑动连接。
[0009]进一步地，所述连接座螺纹连接有调节螺栓，所述调节螺栓经由拉簧与连接臂靠近磁铁的一端连接。
[0010]进一步地，所述连接座开设有升降槽，所述连接臂远离磁铁的一端经由滚动件与升降槽的内壁滚动抵触。
[0011]进一步地，所述双摄像定位装置包括与位置调整机构的调整端连接的安装架及分别装设于安装架的第一摄像机、第二摄像机、棱镜和45
°
反射镜，所述第一摄像机与第二摄
像机平行设置，所述安装架开设有光孔，所述棱镜显露于光孔并位于第一摄像机的摄像端下方，所述棱镜与45
°
反射镜对应设置，所述45
°
反射镜位于第二摄像机的摄像端下方。
[0012]进一步地，所述固晶机还包括装设于机台的摄像标定机构，所述摄像标定机构用于对双摄像定位装置进行校准。
[0013]进一步地，所述摄像标定机构包括装设于机台的标定座、装设于标定座的第三摄像机、套设于第三摄像机的镜头外的补光灯及位于镜头的上方的校准件，所述校准件开设有标定孔，所述第三摄像机的镜头朝上设置。
[0014]进一步地，所述供胶装置包括装设于机台的供胶座、设置于供胶座的供胶模组、转动设置于供胶座的供胶盘、装设于供胶座并用于驱动供胶盘转动的供胶转动驱动器、盖设于供胶盘外的罩体及设置于供胶座的刮刀，所述供胶模组用于向供胶盘供应胶水，所述刮刀用于刮平供胶盘上的胶水，所述罩体开设有避让槽及蘸胶孔，所述刮刀经由避让槽突伸至供胶盘的上方，所述蘸胶孔用于供点胶头蘸取供胶盘上的胶水。
[0015]本专利技术的有益效果：在实际应用中，供胶装置将待贴装晶圆的产品输送至预设的位置，位置调整机构驱动贴装装置移动至加工头更换架处，使得贴装装置安装上所需规格的点胶头，接着位置调整机构驱动贴装装置连带点胶头移动至供胶装置处，点胶头蘸取供胶装置所供应的胶水，然后位置调整机构驱动贴装装置和双摄像定位装置移动至送料装置处，先通过双摄像定位装置对送料装置上的产品进行拍摄，以对产品进行视觉定位后，再通过贴装装置上的点胶头准确地向产品进行点胶，再接着位置调整机构驱动贴装装置移动至加工头更换架处，贴装装置上的点胶头拆卸至加工头更换架上，再将所需规格的贴装头安装在贴装装置上，以实现加工头的更换，然后位置调整机构驱动贴装装置和双摄像定位装置移动至供晶圆装置处，先通过双摄像定位装置对供晶圆装置所供应的晶圆进行拍摄，以对晶圆进行视觉定位后，再通过贴装装置上的贴装头准确地拾取晶圆，最后位置调整机构驱动贴装装置移动至送料装置处，贴装装置的贴装头将晶圆贴装在点胶后的产品上，以完成产品贴装晶圆的加工。本专利技术通过双摄像定位装置分别对晶圆和产品进行视觉定位，定位精度高，提高了贴装的精度，且一个贴装装置即可完成点胶和贴装的工艺，相较于现有技术中的点胶工艺需要额外的点胶装置，本专利技术的结构简单且紧凑，成本低。
附图说明
[0016]图1为本专利技术的立体结构示意图。
[0017]图2为本专利技术的贴装装置的立体结构示意图。
[0018]图3为本专利技术的双摄像定位装置的剖视图。
[0019]图4为本专利技术的供胶装置的立体结构示意图。
[0020]图5为本专利技术的摄像标定机构的立体结构示意图。
[0021]图6为本专利技术的加工头更换架的立体结构示意图。
[0022]附图标记说明：
[0023]1、机台；2、贴装装置；21、贴装座；22、转动调节机构；23、连接座；24、压力传感器；25、连接杆；26、贴装头；27、连接臂；28、磁铁；29、调节旋钮；30、限位件；31、霍尔传感器；32、弹簧；33、空气轴承；34、滚动件；35、升降槽；36、调节螺栓；37、拉簧；3、位置调整机构；4、双摄像定位装置；41、安装架；42、第一摄像机；43、第二摄像机；44、棱镜；45、45
°
反射镜；46、光
孔；5、供晶圆装置；6、送料装置；7、供胶装置；71、供胶座；72、供胶模组；73、供胶盘；74、供胶转动驱动器；75、罩体；76、刮刀；77、避让槽；78、蘸胶孔；79、升降驱动器；8、加工头更换架；81、点胶储存槽；82、贴装储存槽；9、摄像标定机构；91、标定座；92、第三摄像机；93、镜头；94、补光灯；95、校准件；96、标定孔；97、焦距调节驱动器；98、调节件。
具体实施方式
[0024]为了便于本领域技术人员的理解，下面结合实施例与附图对本专利技术作进一步的说明，实施方式提及的内容并非对本专利技术的限定。
[0025]如图1至图6所示，本专利技术提供的一种固晶机，其包括机台1、架设于机台1的位置调整机构3、分别与位置调整机构3的调整端连接的贴装装置2和双摄像定位装置4及分别装设于机台1的供晶圆装置5、送料装置6、供胶装置7和加工头更换架8，所述加工头更换架8储存有本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种固晶机，其特征在于：包括机台、架设于机台的位置调整机构、分别与位置调整机构的调整端连接的贴装装置和双摄像定位装置及分别装设于机台的供晶圆装置、送料装置、供胶装置和加工头更换架，所述加工头更换架储存有至少一种点胶头和至少一种贴装头，所述双摄像定位装置与位置调整机构电连接，所述位置调整机构用于驱动贴装装置和双摄像定位装置在供晶圆装置、送料装置、供胶装置和加工头更换架的上方活动。2.根据权利要求1所述的一种固晶机，其特征在于：所述贴装装置包括贴装座、转动调节机构、连接座、压力传感器、连接杆、连接臂、磁铁、调节旋钮、限位件、弹簧及霍尔传感器，所述贴装座与位置调整机构的调整端连接，所述转动调节机构装设于贴装座，所述连接座与转动调节机构的转动端连接，所述压力传感器装设于连接座，所述连接杆升降设置于连接座，所述连接杆的顶部用于抵触压力传感器的输入端，所述连接杆的底部可拆卸地连接点胶头或贴装头，所述连接臂与连接杆连接，所述磁铁装设于连接臂，所述调节旋钮与连接座螺纹连接，所述限位件设置于连接座，所述限位件用于对连接臂进行限位，所述霍尔传感器装设于连接座，所述磁铁与霍尔传感器对应设置，所述调节旋钮套设于压力传感器和连接杆外，所述调节旋钮经由弹簧与连接杆弹性连接，所述弹簧套设于压力传感器和连接杆外。3.根据权利要求2所述的一种固晶机，其特征在于：所述连接座装设有空气轴承，所述连接杆经由空气轴承与连接座升降地连接。4.根据权利要求2所述的一种固晶机，其特征在于：所述连接臂贯穿连接杆的径向，所述磁铁装设于连接臂的一端，所述连接臂的另一端与连接座滑动连接。5.根据权利要求4所述的一种固晶机，其特征在于：所述连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵越，柯晓玉，
申请(专利权)人：东莞市耀野自动化有限公司，
类型：发明
国别省市：