一种硅料粒径筛分装置制造方法及图纸

技术编号:33721086 阅读:18 留言:0更新日期:2022-06-08 21:13
本实用新型专利技术涉及半导体材料制备技术领域,尤其涉及一种硅料粒径筛分装置,其包括:底座、支撑架、第一筛分组件、第二筛分组件、第三筛分组件和振动机构;支撑架通过调节构件与底座连接;调节构件插装在底座上;调节构件相对底座的高度能够调节;调节构件通过减震弹簧与支撑架连接;支撑架为封闭结构;支撑架的上端设置有进料通道;第一筛分组件能够拆卸地设在支撑架上;第二筛分组件能够拆卸地设置在支撑架上;第三筛分组件能够拆卸地设置在支撑架上;第一筛分组件、第二筛分组件和第三筛分组件的内侧和外侧浇筑有聚氨酯层;振动机构固定地设置在支撑架的底部。采用本实用新型专利技术能够减少在硅料筛分过程中金属对硅料的污染,提升硅料品质。质。质。

【技术实现步骤摘要】
一种硅料粒径筛分装置


[0001]本技术涉及半导体材料制备
,尤其涉及一种硅料粒径筛分装置。

技术介绍

[0002]单晶硅是一种比较活泼的非金属元素,是晶体材料重要组成部分,处于新材料发展的前沿,其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电和供热等。多晶硅是极为优良的半导体材料,其主要用于生产集成电路、分立器件和太阳能电池片,但若存在微量的杂质就会影响其导电性。生产多晶硅和单晶硅目前多使用直拉法,直拉法生产中会采用不同粒度的原料硅,且避免硅料中含有金属。
[0003]但是,现有的单晶硅和多晶硅硅料振动筛分装置的筛板为金属材料,在筛分硅料时,硅料会在筛板上摩擦,摩擦产生的金属粉屑对硅料造成污染,从而影响后期单晶硅和多晶硅的导电性。

技术实现思路

[0004]有鉴于此,本技术提供一种硅料粒径筛分装置,主要目的在于减少在硅料筛分过程中金属对硅料的污染,提升硅料品质。
[0005]为达到上述目的,本技术主要提供如下技术方案:
[0006]本技术的实施例提供一种硅料粒径筛分装置,包括:底座、支撑架、第一筛分组件、第二筛分组件、第三筛分组件和振动机构;
[0007]所述支撑架通过调节构件与所述底座连接;所述调节构件插装在所述底座上;所述调节构件相对所述底座的高度能够调节;所述调节构件通过减震弹簧与所述支撑架连接;
[0008]所述支撑架为封闭结构;所述支撑架的上端设置有进料通道,用于加入待筛分硅料;
[0009]所述支撑架的上端设置有负压除尘口;
[0010]所述第一筛分组件能够拆卸地设置在所述支撑架上;
[0011]所述第一筛分组件包括:第一框体和第一筛体;
[0012]所述第一框体为矩形环状结构;
[0013]所述第一筛体固定地设置在所述第一框体上;所述第一筛体与所述第一框体或所述支撑架的侧壁被构造成上端开口的容器,用于接收和筛分所述进料通道进入的硅料;
[0014]所述第一筛分组件的内侧和外侧浇筑有聚氨酯层;
[0015]所述第一筛体上分布有网孔一;
[0016]所述第一筛体与水平面具有预定夹角一;
[0017]所述支撑架上设置有物料出口一;所述物料出口一位于所述第一筛分组件较低的一端端部;
[0018]所述第二筛分组件能够拆卸地设置在所述支撑架上;
[0019]所述第二筛分组件包括:第二框体和第二筛体;
[0020]所述第二框体为矩形环状结构;
[0021]所述第二筛体固定地设置在所述第二框体上;所述第二筛体与所述第二框体或所述支撑架的侧壁被构造成上端开口的容器,用于接收和筛分所述第一筛体下落的硅料;
[0022]所述第二筛分组件的内侧和外侧浇筑有聚氨酯层;
[0023]所述第二筛体上分布有网孔二;所述网孔二的直径较所述网孔一小;
[0024]所述第二筛体与水平面具有预定夹角二;
[0025]所述支撑架上设置有物料出口二;所述物料出口二位于所述第二筛分组件较低的一端端部;
[0026]所述第三筛分组件能够拆卸地设置在所述支撑架上;
[0027]所述第三筛分组件包括:第三框体和第三筛体;
[0028]所述第三框体为矩形环状结构;
[0029]所述第三筛体固定地设置在所述第三框体上;所述第三筛体与所述第三框体或所述支撑架的侧壁被构造成上端开口的容器,用于接收和筛分所述第二筛体下落的硅料;
[0030]所述第三筛分组件的内侧和外侧浇筑有聚氨酯层;
[0031]所述第三筛体上分布有网孔三;所述网孔三的直径较所述网孔二小;
[0032]所述第三筛体与水平面具有预定夹角三;
[0033]所述支撑架上设置有物料出口三;所述物料出口三位于所述第三筛分组件较低的一端端部;
[0034]所述振动机构固定地设置在所述支撑架的底部。
[0035]进一步地,所述支撑架上固定地设置有滑轨,用于支撑所述第一框体、所述第二框体和所述第三框体;
[0036]所述滑轨的延伸方向与所述振动机构的振动方向垂直;所述滑轨为多个;
[0037]所述第一框体的两侧固定地设置有滑槽一;所述滑槽一能够设置在所述滑轨上,相对所述滑轨滑动;所述支撑架上设置有限位构件一,以限定所述第一框体相对所述支撑架的位置。
[0038]进一步地,所述第二框体的两侧固定地设置有滑槽二;所述滑槽二能够设置在所述滑轨上,相对所述滑轨滑动;所述支撑架上设置有限位构件二,以限定所述第二框体相对所述支撑架的位置。
[0039]进一步地,所述第三框体的两侧固定地设置有滑槽三;所述滑槽三能够设置在所述滑轨上,相对所述滑轨滑动;所述支撑架上设置有限位构件三,以限定所述第三框体相对所述支撑架的位置。
[0040]进一步地,所述负压除尘口与抽风机连通。
[0041]进一步地,所述聚氨酯层的厚度小于3mm。
[0042]进一步地,所述预定夹角一为3
°
~10
°

[0043]进一步地,所述预定夹角二为3
°
~10
°

[0044]进一步地,所述预定夹角三为3
°
~10
°

[0045]进一步地,所述预定夹角一、所述预定夹角二和所述预定夹角三的大小相同。
[0046]借由上述技术方案,本技术硅料粒径筛分装置至少具有下列优点:
[0047]能够减少在硅料筛分过程中金属对硅料的污染,提升硅料品质。
[0048]上述说明仅是本技术技术方案的概述,为了能够更清楚了解本技术的技术手段,并可依照说明书的内容予以实施,以下以本技术的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
[0049]图1为本技术实施例提供的一种硅料粒径筛分装置的主视示意图;
[0050]图2为图1的局部放大示意图;
[0051]图3为本技术实施例提供的一种硅料粒径筛分装置的侧视示意图。
[0052]图中所示:
[0053]1为底座,2为支撑架,2

1为进料通道,2

2为负压除尘口,2

3为物料出口一,2

4为物料出口二,2

5为物料出口三,2

6为滑轨,3为第一筛分组件,3

1 为第一框体,3

11为滑槽一,3

2为第一筛体,4为第二筛分组件,4

1为第二框体,4

2为第二筛体,5为第三筛分组件,5

1为第三框体,5

2为第三筛体,6 为振动机构,7为调节构件。
具体实施方式
[0054]为更进一步阐述本技术为达成预定技术目的所本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅料粒径筛分装置,其特征在于,包括:底座、支撑架、第一筛分组件、第二筛分组件、第三筛分组件和振动机构;所述支撑架通过调节构件与所述底座连接;所述调节构件插装在所述底座上;所述调节构件相对所述底座的高度能够调节;所述调节构件通过减震弹簧与所述支撑架连接;所述支撑架为封闭结构;所述支撑架的上端设置有进料通道,用于加入待筛分硅料;所述支撑架的上端设置有负压除尘口;所述第一筛分组件能够拆卸地设置在所述支撑架上;所述第一筛分组件包括:第一框体和第一筛体;所述第一框体为矩形环状结构;所述第一筛体固定地设置在所述第一框体上;所述第一筛体与所述第一框体或所述支撑架的侧壁被构造成上端开口的容器,用于接收和筛分所述进料通道进入的硅料;所述第一筛分组件的内侧和外侧浇筑有聚氨酯层;所述第一筛体上分布有网孔一;所述第一筛体与水平面具有预定夹角一;所述支撑架上设置有物料出口一;所述物料出口一位于所述第一筛分组件较低的一端端部;所述第二筛分组件能够拆卸地设置在所述支撑架上;所述第二筛分组件包括:第二框体和第二筛体;所述第二框体为矩形环状结构;所述第二筛体固定地设置在所述第二框体上;所述第二筛体与所述第二框体或所述支撑架的侧壁被构造成上端开口的容器,用于接收和筛分所述第一筛体下落的硅料;所述第二筛分组件的内侧和外侧浇筑有聚氨酯层;所述第二筛体上分布有网孔二;所述网孔二的直径较所述网孔一小;所述第二筛体与水平面具有预定夹角二;所述支撑架上设置有物料出口二;所述物料出口二位于所述第二筛分组件较低的一端端部;所述第三筛分组件能够拆卸地设置在所述支撑架上;所述第三筛分组件包括:第三框体和第三筛体;所述第三框体为矩形环状结构;所述第三筛体固定地设置在所述第三框体上;所述第三筛体与所述第三框体或所述支撑架的侧壁被构造成上端开口的容器,用于接收和筛分所述第二筛体下落的硅料;所述第三筛分组件的内侧和外侧浇筑有聚氨酯层;所述第三筛体上分布有网孔三;所述网孔三的直径较所述网孔二小;...

【专利技术属性】
技术研发人员:周小龙张诗华许建平何志华
申请(专利权)人:新疆大全新能源股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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