加热器组装体以及具备其的接合头制造技术

本发明专利技术提供一种加热器组装体以及具备其的接合头。加热器组装体可以包括：壳体，内部的容纳空间以及与其连通的冷却气体流入口；加热器，结合于壳体；以及多孔块，配置于容纳空间内。内。内。

【技术实现步骤摘要】
加热器组装体以及具备其的接合头


[0001]本专利技术涉及用于在基板上安装晶粒(die)的接合头以及设置于接合头的加热器组装体。

技术介绍

[0002]一般来说，在将通过切割工艺(sawing process)单个化的晶粒安装到印刷电路板、引线框架等基板上的晶粒接合工艺中使用将晶圆上的晶粒拾取并搭载到基板上的接合头。
[0003]接合头具备用于利用真空压力拾取晶粒的夹体(collet)和安装夹体的主体。
[0004]为了将晶粒安装到基板上，需要加热晶粒。为此，接合头具备包括加热器的加热器组装体。
[0005]另外，加热器组装体包括构成为冷却加热器的冷却模组。冷却模组构成为朝向加热器喷出空气来冷却加热器。冷却模组具备：供空气流入的多个空气流入口；与多个空气流入口连通的多个冷却流路；以及与多个冷却流路连通的多个空气排出口。多个空气排出口与加热器相邻配置。
[0006]在这种以往的加热器组装体的情况下，向多个空气流入口流入的空气沿着多个冷却流路流动之后通过多个空气排出口排出到外部。而且，从多个空气排出口喷出的空气与加热本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种加热器组装体，包括：壳体，在内部具有容纳空间，并具有与所述容纳空间连通的冷却气体流入口；加热器，结合于所述壳体；以及多孔块，配置于所述容纳空间内。2.根据权利要求1所述的加热器组装体，其特征在于，所述加热器包括以不同温度发热的多个发热区域，所述多孔块构成为所述冷却气体的流量根据所述多个发热区域而改变。3.根据权利要求1所述的加热器组装体，其特征在于，所述加热器包括以第一温度发热的第一区域以及以比所述第一温度低的第二温度发热的第二区域，所述多孔块包括具有第一孔隙率的第一多孔部件以及具有比所述第一孔隙率小的第二孔隙率的第二多孔部件，所述第一多孔部件配置成对应于所述第一区域，所述第二多孔部件配置成对应于所述第二区域。4.根据权利要求3所述的加热器组装体，其特征在于，所述第一多孔部件与所述第二多孔部件相比每单位体积的气孔的数量多。5.根据权利要求3所述的加热器组装体，其特征在于，所述第一多孔部件与所述第二多孔部件相比具有体积大的气孔。6.根据权利要求1所述的加热器组装体，其特征在于，所述加热器包括以第一温度发热的第一区域以及以比所述第一温度低的第二温度发热的第二区域，所述多孔块包括具有第一厚度的第一多孔部件以及具有比所述第一厚度大的第二厚度的第二多孔部件，所述第一多孔部件配置成对应于所述第一区域，所述第二多孔部件配置成对应于所述第二区域。7.根据权利要求6所述的加热器组装体，其特征在于，所述第一多孔部件从所述加热器隔开。8.根据权利要求1所述的加热器组装体，其特征在于，所述加热器包括以第一温度发热的第一区域以及以比所述第一温度低的第二温度发热的第二区域，所述多孔块包括配置成对应于所述第一区域的第一多孔部件以及配置成对应于所述第二区域的第二多孔部件，所述第一多孔部件从所述第一区域隔开，所述第二多孔部件接触于所述第二区域。9.根据权利要求1所述的加热器组装体，其特征在于，所述加热器包括以第一温度发热的第一区域以及以比所述第一温度低的第二温度发热的第二区域，所述多孔块仅配置于所述第二区域。10.根据权利要求1所述的加热器组装体，其特征在于，所述加热器包括以第一温度发...

【专利技术属性】
技术研发人员：金顺铉，金丙根，李炳赞，
申请(专利权)人：细美事有限公司，
类型：发明
国别省市：