薄膜压电致动器制造技术

本发明专利技术涉及一种薄膜压电致动器。薄膜压电致动器具备：基板；下部电极，其层叠于基板；层叠结构体，其层叠于下部电极，且包含以将中间电极夹于其间的方式交替地层叠的多个薄膜压电膜；上部电极，其层叠于层叠结构体；第一保护层，其设置于上部电极的上表面，且由包含铁、钴和钼的合金材料构成；及第二保护层，其至少设置于中间电极中的未被夹于薄膜压电膜之间的端部的上表面，且由包含铁、钴和钼的合金材料构成。根据本发明专利技术，提供了一种能够谋求高性能化并且能够有效地抑制在下层的压电膜的端部产生裂纹的薄膜压电致动器。产生裂纹的薄膜压电致动器。产生裂纹的薄膜压电致动器。

【技术实现步骤摘要】
薄膜压电致动器


[0001]本专利技术涉及一种薄膜压电致动器。

技术介绍

[0002]近年来，使用薄膜压电材料而非块状压电材料的薄膜压电元件已经日益投入实际应用。在这样的薄膜压电元件中，当施加电场时，压电元件会发生变形，因此其可作为驱动元件广泛地应用于微电子机械系统(微机电系统)结构喷射、微型泵、微镜、压电超声换能器等多个领域。例如，这样的薄膜压电元件包括利用了将施加到压电薄膜的力转化为电压的压电效应的陀螺仪传感器、振动传感器、麦克风等、利用了将电压施加到压电薄膜等而将压电薄膜变形的逆压电效应的致动器、喷墨头、扬声器、蜂鸣器、共振器等。
[0003]例如，在专利文献1中公开了一种包括两层压电层(压电膜)和分别间隔地设置于两层压电层各自的两侧的三层电极的薄膜压电致动器。在该薄膜压电致动器中，通过设置两层压电层，从而相较于仅具备一层压电层的薄膜压电致动器，能够使薄膜压电致动器的行程、响应性、耐久性等性能提高至2倍而更加高性能化。
[0004]但是，在上述的薄膜压电致动器中，由于压电层利用压电效应进行伸缩而发生应变，从而导致压电层与电本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种薄膜压电致动器，其特征在于，具备：基板；下部电极，其层叠于所述基板；层叠结构体，其层叠于所述下部电极，且包含以将中间电极夹于其间的方式交替地层叠的多个薄膜压电膜；上部电极，其层叠于所述层叠结构体；第一保护层，其设置于所述上部电极的上表面，且由包含铁、钴和钼的合金材料构成；及第二保护层，其至少设置于所述中间电极中的未被夹于所述薄膜压电膜之间的端部的上表面，且由包含铁、钴和钼的合金材料构成。2.如权利要求1所述的薄膜压电致动器，其特征在于，所述第二保护层连续地设置于所述中间电极中的未被夹于所述薄膜压电膜之间的端部的上表面的整个面和所述薄膜压电膜的端面的一部分。3.如权利要求1所述的薄膜压电致动器，其特征在于，所述第二保护层连续地设置于所述中间电极中的未被夹于所述薄膜压电膜之间的端部的上表面的整个面、所述薄...

【专利技术属性】
技术研发人员：熊伟，石脉茹，何飞，
申请(专利权)人：TDK株式会社，
类型：发明
国别省市：