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本发明涉及一种薄膜压电致动器。薄膜压电致动器具备：基板；下部电极，其层叠于基板；层叠结构体，其层叠于下部电极，且包含以将中间电极夹于其间的方式交替地层叠的多个薄膜压电膜；上部电极，其层叠于层叠结构体；第一保护层，其设置于上部电极的上表面，且...
该专利属于TDK株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过TDK株式会社授权不得商用。

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