【技术实现步骤摘要】
一种清洁工具及二次加料器清洁装置
[0001]本技术涉及半导体制造
，尤其涉及一种清洁工具及二次加料器清洁装置。
技术介绍
[0002]在晶棒生长过程中，需要采用二次加料器进行加料。二次加料器管道长两米，直径242毫米，在使用过程中硅料粉尘会粘在加料管内壁上，若不及时清理会导致其暴露污染，并随硅料进入炉内，造成晶棒产品污染。但是二次加料器管道为高纯石英，内壁直径仅有242毫米，人员清洁困难。
[0003]在相关技术中，是在一根长杆上绑上无尘布进行清洁。由于杆端缠绕无尘布，且长杆脚软，无法贴合管壁擦拭，端头难以向管壁施加径向挤压力，需要频繁转圈更换角度进行擦拭，清洁费力且难以擦拭干净。
技术实现思路
[0004]本公开实施例提供了一种清洁工具及二次加料器清洁装置，结构简单，操作方便，且清洁干净有效。
[0005]本公开实施例所提供的技术方案如下：
[0006]一种清洁工具，包括：
[0007]操作杆，所述操作杆包括相对的手持端和操作端；及
[0008]连接至所述操作端的...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种清洁工具，其特征在于，包括：操作杆，所述操作杆包括相对的手持端和操作端；及连接至所述操作端的清洁组件，所述清洁组件包括第一擦拭部和第二擦拭部，所述第一擦拭部与所述第二擦拭部之间通过铰接轴连接成可张合的夹子状结构，且在铰接处设有扭簧。2.根据权利要求1所述的清洁工具，其特征在于，所述铰接轴与所述操作杆的轴向一致。3.根据权利要求1所述的清洁工具，其特征在于，所述第一擦拭部和所述第二擦拭部均为弧形块状，且在所述夹子状结构张开时，所述第一擦拭部与所述第二擦拭部配合形成环形或半环形。4.根据权利要求3所述的清洁工具，其特征在于，所述第一擦拭部和所述第二擦拭部均包括相背的内弧形面和外弧形面，其中所述外弧形面与待清洁管件的管壁匹配。...
【专利技术属性】
技术研发人员：ꢀ七四专利代理机构，
申请(专利权)人：西安奕斯伟材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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