一种波长可调谐的垂直腔面发射激光器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种波长可调谐的垂直腔面发射激光器，包括：衬底；形成于衬底下表面的下电极；形成于衬底上表面的下分布式布拉格反射镜；形成于下分布式布拉格反射镜上表面的氧化电流限制层；形成于氧化电流限制层上表面的有源区；形成于有源区上表面的上分布式布拉格反射镜；环绕上分布式布拉格反射镜而形成于有源区上表面的中间电极；形成于上分布式布拉格反射镜上表面的上电极。通过改变中间电极和上电极之间的注入电流大小来改变所述激光器的有效谐振区域宽度，从而改变发射激光波长，且能避免因温度升高所引起的激光器劣化，故而可拓宽激光发射的波长可调谐区域。在密集波分复用光网络、电子通信、计算机光互连中具有很大应用潜力。大应用潜力。大应用潜力。

【技术实现步骤摘要】
一种波长可调谐的垂直腔面发射激光器


[0001]本技术涉及一种垂直腔面发射激光器(Vertical
‑
Cavity Surface
‑
Emitting Laser, VCSEL)。

技术介绍

[0002]垂直腔面发射激光器是一种激光出射方向垂直于芯片表面的半导体激光器，相较于边发射半导体激光器，垂直腔面发射激光器激光器具有温度漂移小、阈值电流低、单纵模出射、发散角小、调制速率高、出射激光为圆形光斑易与光纤耦合、封装简单易于二维集成、工作寿命长等优势，一直受到深入研究，在光通信、消费电子、汽车雷达等领域的应用前景被十分看好。垂直腔面发射激光器的激光垂直于芯片表面从顶面或底面射出，出射方向由激光波长决定。
[0003]VCSEL的结构中有上、下两个分布式布拉格反射镜（DBR），分成反射区和出射区，反射区具有99.9%以上的反射率，出射区具有99%以上的反射率，它们将有源层包裹在中间，使得在与各叠层相垂直的方向上让光产生谐振。DBR由多种折射率差别很大且晶格常数匹配的材料层叠而得，常用的是将GaAs和AlA本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种波长可调谐的垂直腔面发射激光器，其特征在于，包括：衬底（1）；形成于衬底（1）下表面的下电极（61）；形成于衬底（1）上表面的下分布式布拉格反射镜（2）；形成于下分布式布拉格反射镜（2）上表面的氧化电流限制层（3）；形成于氧化电流限制层（3）上表面的有源区（4）；形成于有源区（4）上表面的上分布式布拉格反射镜（5）；环绕上分布式布拉格反射镜（5）而形成于有源区（4）上表面的中间电极（62）；形成于上分布式布拉格反射镜（5）上表面的上电极（63）。2.根据权利要求1所述的波长可调谐的垂直腔...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑君雄，
申请(专利权)人：深圳市中科光芯半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：