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本实用新型公开了一种波长可调谐的垂直腔面发射激光器，包括：衬底；形成于衬底下表面的下电极；形成于衬底上表面的下分布式布拉格反射镜；形成于下分布式布拉格反射镜上表面的氧化电流限制层；形成于氧化电流限制层上表面的有源区；形成于有源区上表面的上分...
该专利属于深圳市中科光芯半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市中科光芯半导体科技有限公司授权不得商用。

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