一种曝光机光源系统技术方案

本申请实施例公开了一种曝光机光源系统，包括：激光光源、光纤、LED光源以及合束器，激光光源输出激光光束，光纤传输所述激光光束，LED光源包括第一LED光源和第二LED光源，分别输出第一LED光束和第二LED光束，合束器进行合束形成第一混合光束，将原本三种LED光束中的一种LED光束替换为激光光束，使得光源系统的输出功率相对更高，并减小三种波长光的重叠部分，减小合束的损耗。并且光纤传输激光光束，使得激光光源可以外置，且光纤的体积较小，使得光源系统体积较小，并有助于激光光源的散热。同时，激光光源外置，可以增加光源系统中LED芯片的数量，进而提高所述光源系统的输出功率。进而提高所述光源系统的输出功率。进而提高所述光源系统的输出功率。

【技术实现步骤摘要】
一种曝光机光源系统


[0001]本申请涉及光学
，尤其涉及一种曝光机光源系统。

技术介绍

[0002]LED光源与激光光源分别在各类照明、检测等领域已经有了广泛应用，但是两种光均有各自的缺点。其中，对于LED光源来说，其输出的LED光发散角大，使得收光效率低，进而使得其光功率低。为了实现高功率输出，通常会多颗发光芯片集成在一起，然而这样就导致了热流密度大，加大散热难度，并且发光面积增大，不利于光的收集。对于激光光源来说，激光发散角较小，可以实现高功率，但激光的波长种类较少，在需要多种混合光波的领域无法任意组合，具有一定的应用限制。
[0003]传统电路板制程中的曝光机使用汞灯作为光源，通过滤波得到需要的紫外波长，进行PCB线路或者防焊油墨曝光制程。现如今，对于LDI(Laser Direct Imaging，简称LDI)曝光机来说，不再使用菲林作为掩膜，而是使用数字化图像直接转印成像，为了匹配电路板上防焊油墨材料的特性，LDI曝光机使用中心波长为365nm、385nm以及405nm的三种LED芯片作为光源。但是目前三种波段的LED本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种曝光机光源系统，其特征在于，包括：激光光源，所述激光光源输出激光光束；光纤，所述光纤与所述激光光源的输出端相连，传输所述激光光束；LED光源，所述LED光源包括第一LED光源和第二LED光源，所述第一LED光源输出第一LED光束，所述第二LED光源输出第二LED光束；合束器，所述合束器位于所述激光光束经过所述光纤之后的传输光路上，且位于所述第一LED光束以及所述第二LED光束的传输光路上，对所述激光光束、所述第一LED光束以及所述第二LED光束进行合束，形成第一混合光束。2.根据权利要求1所述的光源系统，其特征在于，所述激光光束的中心波长为405nm，所述第一LED光束的中心波长为365nm，所述第二LED光束的中心波长为385nm。3.根据权利要求1所述的光源系统，其特征在于，所述激光光源包括至少一个激光单元，所述光纤包括至少一个子光纤，所述子光纤与所述激光单元相对应。4.根据权利要求1所述的光源系统，其特征在于，所述激光光源包括多个激光单元，所述光纤包括多个子光纤，所述多个子光纤与所述多个激光单元一一对应，其中，所述多个子光纤延伸方向相同，并且所述多个子光纤位于预设轴线四周，所述预设轴线平行于所述多个子光纤的延伸方向。5.根据权利要求1所述的光源系统，其特征在于，所述第一LED光源包括多个第一子LED光源，所述第二LED光源包括多个第二子LED光源，其中，所述第一子LED光源与所述第二子LED光源交错排布。6.根据权利要求1所述的光源系统，其特征在于，所述合束器包括合束镜和匀光棒；其中，所述合束镜的透射面与所述光纤的出光端相对，反射面与所述LED光源出光端相对，以使得所述合束镜透射所述激光光束，反射所述第一LED光束和所述第二LED光束，使得所述激光光束、所述第一LED光束和所述第二LED光束经过所述合束镜后的传输光路相同，形成第二混合光束；所述匀光棒位于所述第二混合光束的传输光路上，对所述第二混合光束进行匀光，形成所述第一混合光束。7.根据权利要求6所述的光源系统，其特征在于，还包括：第一准直透镜、第二准直透镜以及第一聚光透镜；其中，所述第一准直透镜位于所述光纤与所述合束镜之间，对所述激光光束进行准直，所述第二准直透镜位于所述LED光源与所述合束镜之间，对所述第一LED光束以及所述第二LED光束进行准直；所述第一聚光透镜位于所述合束镜和所述匀光棒之间，对所述第二混合光束进行汇聚。8.根据权利要求1所述的光源系统，其特征在于，所述合束器包括合束镜和复眼透...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭泽彬，高文宏，程波涛，
申请(专利权)人：江苏镭创高科光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：