下载一种曝光机光源系统的技术资料

文档序号:33681402

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本申请实施例公开了一种曝光机光源系统,包括:激光光源、光纤、LED光源以及合束器,激光光源输出激光光束,光纤传输所述激光光束,LED光源包括第一LED光源和第二LED光源,分别输出第一LED光束和第二LED光束,合束器进行合束形成第一混合光...
该专利属于江苏镭创高科光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏镭创高科光电科技有限公司授权不得商用。

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