【技术实现步骤摘要】
一种能够提高碳化硅晶片边缘品质倒角砂轮
[0001]本技术涉及碳化硅晶片领域,特别是涉及一种能够提高碳化硅晶片边缘品质倒角砂轮。
技术介绍
[0002]砂轮,是一种使用在碳化硅晶片加工制造中的装置,装置的主要作用是便于打磨碳化硅晶片;
[0003]传统的砂轮不便于加工制造碳化硅晶片,存在打磨时不便于倒角碳化硅晶片边缘的问题;
[0004]传统的打磨砂轮不便于安装固定,砂轮属于易耗品,操作时不便于安装拆卸;
[0005]因此,现在亟需设计一种能解决上述一个或者多个问题的一种能够提高碳化硅晶片边缘品质倒角砂轮。
技术实现思路
[0006]为解决现有技术中存在的一个或者多个问题,本技术提供了一种能够提高碳化硅晶片边缘品质倒角砂轮。
[0007]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种能够提高碳化硅晶片边缘品质倒角砂轮,包括:
[0008]固定壳体,所述固定壳体的一侧固定连接有伺服电机;
[0009]安装结构,所述伺服电机的输出端固定连接有安装结构,且安装结构包括固定卡 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种能够提高碳化硅晶片边缘品质倒角砂轮,其特征在于,包括:固定壳体(2),所述固定壳体(2)的一侧固定连接有伺服电机(3);安装结构(4),所述伺服电机(3)的输出端固定连接有安装结构(4),且安装结构(4)包括固定卡接槽(401),所述固定卡接槽(401)和伺服电机(3)的输出端固定连接;拼接结构(1),所述安装结构(4)远离固定壳体(2)的一侧设有拼接结构(1),且拼接结构(1)包括连接插杆(102),所述连接插杆(102)和固定卡接槽(401)之间滑动连接。2.根据权利要求1所述的一种能够提高碳化硅晶片边缘品质倒角砂轮,其特征在于:所述连接插杆(102)远离固定卡接槽(401)的一侧固定连接有第一侧板(101),且第一侧板(101)呈圆环状的外形。3.根据权利要求2所述的一种能够提高碳化硅晶片边缘品质倒角砂轮,其特征在于:所述第一侧板(101)靠近连接插杆(102)的一侧贯穿有内嵌凹槽(105),且内嵌凹槽(105)的内部设有和连接插杆(102)相互配合的连接插槽(103),所述连接插杆(102)的表面呈六棱柱形的外形,所述连接插槽(103)的内部呈和连接插杆(102)配合的六棱槽。4.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员:李有群,陈辉,贺贤汉,王升,卓世异,孙大方,
申请(专利权)人:上海申和投资有限公司,
类型:新型
国别省市:
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