一种用于磁控溅射设备回流传输的调整装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种用于磁控溅射设备回流传输的调整装置，包括：支架；支撑杆，所述支撑杆固定连接于所述支架的顶部的前后两侧，所述支撑杆的顶端固定连接有第一固定板；第二固定板，所述第二固定板设置于所述第一固定板的顶部的中间；卡接组件，所述卡接组件固定连接于所述第一固定板的底部的中间。本实用新型专利技术提供的用于磁控溅射设备回流传输的调整装置，通过在第二固定板的条形槽中开设卡槽，第一固定板底部的卡接组件可卡在卡槽中，从而对第二固定板进行固定，需要调整时，也只需将工字板向上抬升，然后便可沿着条形槽一次性调整第一固定板和第二固定板的位置，位置调整方便，节省时间。时间。时间。

【技术实现步骤摘要】
一种用于磁控溅射设备回流传输的调整装置


[0001]本技术涉及磁控溅射领域，尤其涉及一种用于磁控溅射设备回流传输的调整装置。

技术介绍

[0002]磁控溅射是物理气相沉积的一种，一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多材料，且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点。
[0003]在进行平板太阳能的集热器吸热体磁控溅射镀膜生产过程中，需用到一种用于传输吸热体镀膜的回流传输装置，其中为了避免在传输过程中产生颠簸，或装置整体位移，会使用调整装置对回流传输装置进行调整。
[0004]而现在位置偏移的回流传输装置进行位置调整时，由于传输固定块、调整块之间时通过多个螺栓固定的，在调整时需要大量拆卸螺栓，浪费时间，降低调整效率。
[0005]因此，有必要提供一种用于磁控溅射设备回流传输的调整装置解决上述技术问题。

技术实现思路

[0006]本技术提供一种用于磁控溅射设备回流传输的调整装置，解决了现有的调整装置上的传送固定块、调整块通过多个螺栓固定，调整时拆卸耗费较多时间的问题。
[0007]为解决上述技术问题，本技术提供的用于磁控溅射设备回流传输的调整装置，包括：支架；
[0008]支撑杆，所述支撑杆固定连接于所述支架的顶部的前后两侧，所述支撑杆的顶端固定连接有第一固定板；
[0009]第二固定板，所述第二固定板设置于所述第一固定板的顶部的中间；
[0010]卡接组件，所述卡接组件固定连接于所述第一固定板的底部的中间，所述卡接组件的顶端贯穿所述第一固定板和所述第二固定板且延伸至所述第二固定板的顶部；
[0011]脚座，所述脚座设置于所述第二固定板的顶部的中间，所述脚座中间设置有螺纹杆，所述螺纹杆的顶端螺纹连接有传送装置。
[0012]通过在第二固定板的条形槽中开设卡槽，第一固定板底部的卡接组件可卡在卡槽中，从而对第二固定板进行固定，需要调整时，也只需将工字板向上抬升，然后便可沿着条形槽一次性调整第一固定板和第二固定板的位置，位置调整方便，节省时间。
[0013]优选的，所述第二固定板顶部的四周均固定连接有条形槽，所述第二固定板的顶部且位于所述条形槽内表面的左右两侧均开设有卡槽。
[0014]优选的，所述卡接组件包括工字板，所述工字板顶部的四周均转动连接有卡杆，所述卡杆的顶端贯穿所述第一固定板且延伸至所述条形槽的内部，所述卡杆两侧的顶部均固定连接有卡块，所述卡块的一端延伸至所述卡槽的内部。
[0015]优选的，所述卡杆表面的底部固定连接有拨块，所述卡杆的表面且位于所述拨块
的顶部固定连接有支撑板，所述支撑板和所述第一固定板之间且位于所述卡杆的表面固定连接有弹簧。
[0016]优选的，所述脚座顶部的前后两侧均设置有第一螺栓，所述第一螺栓的底端延伸至所述第二固定板的内部。
[0017]优选的，所述支撑杆与支架和第一固定板之间的距离适合操控卡接组件。
[0018]优选的，所述支架顶部的一侧固定连接有第三固定板，所述第三固定板正面的顶部开设有滑槽，所述第三固定板的正面且位于所述滑槽的两侧均开设有螺纹孔，所述滑槽的内部滑动连接有清洁组件。
[0019]优选的，所述清洁组件包括连接件，所述连接件的一端通过所述滑槽且延伸至所述第三固定板的背面，所述连接件的一端固定连接有吸尘装置，所述吸尘装置位于所述传送装置的顶部，所述连接件正面的左右两侧均设置有第二螺栓，所述第二螺栓的一端延伸至所述螺纹孔的内部。
[0020]通过在支架一侧设置第三固定板和清洁组件等，在传送装置对镀膜结束后的集热器吸热板进行传送时，吸尘装置可对其表面进行吸尘，避免静电等情况造成造成集热器吸热板表面吸尘，影响集热器吸热板的品相。
[0021]与相关技术相比较，本技术提供的用于磁控溅射设备回流传输的调整装置具有如下有益效果：
[0022]本技术提供一种用于磁控溅射设备回流传输的调整装置，通过在第二固定板的条形槽中开设卡槽，第一固定板底部的卡接组件可卡在卡槽中，从而对第二固定板进行固定，需要调整时，也只需将工字板向上抬升，然后便可沿着条形槽一次性调整第一固定板和第二固定板的位置，位置调整方便，节省时间。
附图说明
[0023]图1为本技术提供的用于磁控溅射设备回流传输的调整装置的第一实施例的结构示意图；
[0024]图2为图1所示的第一固定板的结构示意图；
[0025]图3为图2所示的第一固定板的结构仰视图；
[0026]图4为本技术提供的用于磁控溅射设备回流传输的调整装置的第二实施例的结构示意图。
[0027]图中标号：1、支架，2、支撑杆，3、第一固定板，4、第二固定板，
[0028]5、卡接组件，51、工字板，52、卡杆，53、卡块，54、拨块，55、支撑板，56、弹簧，
[0029]6、脚座，7、螺纹杆，8、传送装置，9、条形槽，10、卡槽，11、第一螺栓，
[0030]12、第三固定板，13、滑槽，14、螺纹孔，
[0031]15、清洁组件，151、连接件，152、吸尘装置，153、第二螺栓。
具体实施方式
[0032]下面结合附图和实施方式对本技术作进一步说明。
[0033]第一实施例
[0034]请结合参阅图1、图2和图3，其中，图1为本技术提供的用于磁控溅射设备回流
传输的调整装置的第一实施例的结构示意图；图2为图1所示的第一固定板的结构示意图；图3为图2所示的第一固定板的结构仰视图。用于磁控溅射设备回流传输的调整装置包括：支架1；
[0035]支撑杆2，所述支撑杆2固定连接于所述支架1的顶部的前后两侧，所述支撑杆2的顶端固定连接有第一固定板3；
[0036]第二固定板4，所述第二固定板4设置于所述第一固定板3的顶部的中间；
[0037]卡接组件5，所述卡接组件5固定连接于所述第一固定板3的底部的中间，所述卡接组件5的顶端贯穿所述第一固定板3和所述第二固定板4且延伸至所述第二固定板4的顶部；
[0038]脚座6，所述脚座6设置于所述第二固定板4的顶部的中间，所述脚座6中间设置有螺纹杆7，所述螺纹杆7的顶端螺纹连接有传送装置8。
[0039]卡接组件5连接第一固定板3和第二固定板4，在固定时，方便两者位置之间的调整，同时也不会影响将第二固定板4整体取下。
[0040]所述第二固定板4顶部的四周均固定连接有条形槽9，所述第二固定板4的顶部且位于所述条形槽9内表面的左右两侧均开设有卡槽10。
[0041]所述卡接组件5包括工字板51，所述工字板51顶部的四周均转动连接有卡杆52，所述卡杆52的顶端贯穿所述第一固定板3且延伸至所述条形槽9的内部，所述卡杆52两侧的顶部均固定连接有卡块53，所述卡块53的一端延伸至所述卡槽10的内部。
[0042]所述卡杆52表面的底部固定连接有拨块54，所述卡杆5本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于磁控溅射设备回流传输的调整装置，其特征在于，包括：支架；支撑杆，所述支撑杆固定连接于所述支架的顶部的前后两侧，所述支撑杆的顶端固定连接有第一固定板；第二固定板，所述第二固定板设置于所述第一固定板的顶部的中间；卡接组件，所述卡接组件固定连接于所述第一固定板的底部的中间，所述卡接组件的顶端贯穿所述第一固定板和所述第二固定板且延伸至所述第二固定板的顶部；脚座，所述脚座设置于所述第二固定板的顶部的中间，所述脚座中间设置有螺纹杆，所述螺纹杆的顶端螺纹连接有传送装置。2.根据权利要求1所述的用于磁控溅射设备回流传输的调整装置，其特征在于，所述第二固定板顶部的四周均固定连接有条形槽，所述第二固定板的顶部且位于所述条形槽内表面的左右两侧均开设有卡槽。3.根据权利要求2所述的用于磁控溅射设备回流传输的调整装置，其特征在于，所述卡接组件包括工字板，所述工字板顶部的四周均转动连接有卡杆，所述卡杆的顶端贯穿所述第一固定板且延伸至所述条形槽的内部，所述卡杆两侧的顶部均固定连接有卡块，所述卡块的一端延伸至所述卡槽的内部。4.根据权利要求3所述的用于磁控溅射设备回流传输的调整装置，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗晴，
申请(专利权)人：厦门大学，
类型：新型
国别省市：