一种气液分离式排废气装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于涂胶显影机配件领域，具体地说是一种气液分离式排废气装置，包括排风管道、自动排气阀、排风盒及气液分离板，气液分离板部分插设于排风盒中，排风盒的一端与排风管道连通、另一端与自动排气阀的输入端密封连通，排风盒与自动排气阀之间通过连接边沿、卡接边沿、密封垫B及紧固螺钉的配合设置进行组装。本实用新型专利技术通过排风盒及气液分离板的配合设置，可使较多的溶剂或光刻胶残留物留在排风盒内，且气液分离板拆装方便；通过连接边沿、卡接边沿、密封垫B及紧固螺钉的配合设置，方便排风盒与自动排气阀之间的拆装，且密封效果好。本实用新型专利技术可避免较多的溶剂或光刻胶残留物进入并存留在自动排气阀中，整体拆装清理更方便。便。便。

【技术实现步骤摘要】
一种气液分离式排废气装置


[0001]本技术属于涂胶显影机配件领域，具体地说是一种气液分离式排废气装置。

技术介绍

[0002]涂胶显影机的凝胶单元在工作过程中，溶剂与光刻胶挥发所产生的的蒸汽都会随着单元排风进入排风管道，进入排风管道的溶剂蒸汽容易液化存留在自动排气阀中，所以需要现场工作人员定期对自动排气阀进行清理。
[0003]由于涂胶显影机内部结构十分紧凑，现有自动排气阀安装拆卸十分困难，且自动排气阀本身没有气液分离结构，导致现场工作人员清理溶剂或光刻胶残留物困难。

技术实现思路

[0004]针对溶剂或光刻胶蒸汽液化后会存留在自动排气阀腔体内不易清理的问题，本技术的目的在于提供一种气液分离式排废气装置。
[0005]本技术的目的是通过以下技术方案来实现的：
[0006]一种气液分离式排废气装置，包括排风管道、自动排气阀、排风盒及气液分离板，所述气液分离板插设于所述排风盒中，所述排风盒的一端与所述排风管道连通、另一端与所述自动排气阀的输入端密封连通；
[0007]光刻胶蒸汽或者溶剂蒸汽随所述排风管道排出的气体进入所述排风盒中，光刻胶蒸汽或者溶剂蒸汽与所述气液分离板接触液化，气体经过所述气液分离板分离后进入所述自动排气阀并被排出。
[0008]所述排风盒内腔中的气液分离板上开设有若干个气体通过孔。
[0009]所述气液分离板的一端插设于所述排风盒中、另一端位于所述排风盒的外侧，所述气液分离板的另一端设有把手部。
[0010]所述气液分离板的另一端设有密封边沿，所述密封边沿上固接有用于密封所述排风盒上的插接口处的密封垫A。
[0011]所述密封边沿通过螺钉固接于所述排风盒上。
[0012]所述排风盒的上端设有压力表接口。
[0013]所述排风盒的下端设有排废液接口。
[0014]所述自动排气阀输入端的外部设有连接边沿和弹簧搭扣，所述连接边沿及弹簧搭扣对称位于自动排气阀的两侧，所述连接边沿上开设有卡接槽；
[0015]所述排风盒的外侧面上分别设有卡接边沿和与所述弹簧搭扣配合使用的卡接座，所述卡接边沿的一端卡入所述卡接槽，所述卡接座与所述弹簧搭扣卡接固定、进而使所述排风盒另一端端面与所述连接边沿密封接合。
[0016]所述连接边沿上与所述排风盒另一端端面的密封接合处固接有密封垫B。
[0017]所述连接边沿上螺纹连接有若干紧固螺钉，各所述紧固螺钉的头部分别穿过密封垫B、并对所述卡接边沿限位，旋紧各所述紧固螺钉可将所述连接边沿、密封垫B及卡接边沿
压紧。
[0018]本技术的优点与积极效果为：
[0019]本技术通过排风盒及气液分离板的配合设置，可使较多的溶剂或光刻胶残留物留在排风盒内，且气液分离板拆装方便；通过连接边沿、卡接边沿、密封垫B及紧固螺钉的配合设置，方便排风盒与自动排气阀之间的拆装，且密封效果好。本技术可避免较多的溶剂或光刻胶残留物进入并存留在自动排气阀中，整体拆装清理更方便。
附图说明
[0020]图1为本技术的侧视结构示意图；
[0021]图2为本技术的前视结构示意图；
[0022]图3为本技术的一个视角的立体结构示意图；
[0023]图4为本技术的另一个视角的立体结构示意图；
[0024]图5为本技术的气液分离板的结构示意图；
[0025]图6为图1的A
‑
A处剖面结构示意图；
[0026]图7为图1的B
‑
B处剖面结构示意图。
[0027]图中：1为排风管道、2为自动排气阀、201为连接边沿、202为卡接槽、3为排风盒、301为卡接边沿、4为气液分离板、401为气体通过孔、402为把手部、403为密封边沿、5为密封垫A、6为压力表接口、7为排废液接口、8为弹簧搭扣、9为密封垫B、10为紧固螺钉。
具体实施方式
[0028]下面结合附图1
‑
7对本技术作进一步详述。
[0029]一种气液分离式排废气装置，如图1
‑
4所示，包括排风管道1、自动排气阀2、排风盒3及气液分离板4，气液分离板4部分插设于排风盒3中，排风盒3的一端与排风管道1的输出端口连通、另一端与自动排气阀2的输入端密封连通。本实施例中排风管道1共有两条并分别与风盒3的一端焊接，自动排气阀2本身内部结构为现有技术。
[0030]具体而言，如图5
‑
7所示，排风盒3内腔中的气液分离板4上均匀开设有若干个气体通过孔401。气体在经过气液分离板4的气体通过孔401时，光刻胶蒸汽或者溶剂蒸汽更容易液化。本实施例中气体通过孔401的孔径大小为6
‑
10mm。
[0031]具体而言，如图5所示，气液分离板4的一端插设于排风盒3中、另一端位于排风盒3的外侧，气液分离板4的另一端设有把手部402，方便抽插气液分离板4。
[0032]具体而言，如图5和图1所示，气液分离板4的另一端设有密封边沿403，密封边沿403上粘接有用于密封排风盒3上的插接口处的密封垫A 5，用于对保证密封排风盒3上的插接口处的密封效果。密封边沿403通过螺钉(图中未示出)固接于排风盒3上的插接口处，拧下该处螺钉后即可抽出气液分离板4。
[0033]具体而言，如图1所示，排风盒3的上端设有压力表接口6，用于连接压力表，以测量排风盒3内腔中的气体压力。本实施例中压力表接口6的设置采用现有技术。
[0034]具体而言，如图1所示，排风盒3的下端设有排废液接口7，平时保持关闭，用于在检修清理时排出排风盒3内腔底部残留的废液。本实施例中排废液接口7的设置采用现有技术。
[0035]具体而言，如图3和图4所示，自动排气阀2输入端的外部设有连接边沿201和弹簧搭扣8，且连接边沿201及弹簧搭扣8对称位于自动排气阀2的两侧，连接边沿201上开设有卡接槽202，连接边沿201上与排风盒3另一端端面的密封接合处粘接有密封垫B 9；排风盒3的外侧面上分别设有卡接边沿301和与弹簧搭扣8配合使用的卡接座，卡接边沿301远离排风盒3的一端卡入卡接槽202以进行限位，卡接座与弹簧搭扣8卡接固定、进而使排风盒3另一端端面与连接边沿201密封接合；连接边沿201上螺纹连接有若干紧固螺钉10，各紧固螺钉10的头部分别穿过密封垫B 9、并对卡接边沿301限位，旋紧各紧固螺钉10可将连接边沿201、密封垫B 9及卡接边沿301压紧，以加强连接边沿201与排风盒3另一端端面的密封接合处的密封效果。
[0036]工作原理：
[0037]光刻胶蒸汽或者溶剂蒸汽随排风管道1排出的气体进入排风盒3中，光刻胶蒸汽或者溶剂蒸汽与气液分离板4接触液化，而气体经过气液分离板4的气体通过孔401分离后进入自动排气阀2并被排出，一部分光刻胶蒸汽或者溶剂蒸汽就会液化留在气液分离板上，多余的会滴落在排风盒3内腔底部；当现本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气液分离式排废气装置，其特征在于：包括排风管道(1)、自动排气阀(2)、排风盒(3)及气液分离板(4)，所述气液分离板(4)插设于所述排风盒(3)中，所述排风盒(3)的一端与所述排风管道(1)连通、另一端与所述自动排气阀(2)的输入端密封连通。2.根据权利要求1所述的气液分离式排废气装置，其特征在于：所述排风盒(3)内腔中的气液分离板(4)上开设有若干个气体通过孔(401)。3.根据权利要求1所述的气液分离式排废气装置，其特征在于：所述气液分离板(4)的一端插设于所述排风盒(3)中、另一端位于所述排风盒(3)的外侧，所述气液分离板(4)的另一端设有把手部(402)。4.根据权利要求3所述的气液分离式排废气装置，其特征在于：所述气液分离板(4)的另一端设有密封边沿(403)，所述密封边沿(403)上固接有用于密封所述排风盒(3)上的插接口处的密封垫A(5)。5.根据权利要求4所述的气液分离式排废气装置，其特征在于：所述密封边沿(403)通过螺钉固接于所述排风盒(3)上。6.根据权利要求1所述的气液分离式排废气装置，其特征在于：所述排风盒(3)的上端设有压力表接口(6)。7.根据权利要求1所述的气液分离...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭绪斌，史雅君，
申请(专利权)人：沈阳芯源微电子设备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：