一种晶圆notch定位槽加工用打磨装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于晶圆加工技术领域，提供了一种晶圆notch定位槽加工用打磨装置，包括龙门架，龙门架安装在底座上，龙门架的横梁上设有粗模组件、精磨组件和两个可进行水平和垂直方向移动的驱动机构，一个驱动机构与粗磨组件驱动连接，另一个驱动机构与精磨组件驱动连接，两个驱动机构均安装在龙门架的横梁上，粗模组件、精磨组件和两个驱动机构均与控制器电连接。本实用新型专利技术的一种晶圆notch定位槽加工用打磨装置，在打磨过程中，粗磨组件和细磨组件相互切换，提高了产品的打磨精度和生产效率。率。率。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆notch定位槽加工用打磨装置


[0001]本技术涉及晶圆加工
，具体涉及一种晶圆notch定位槽加工用打磨装置。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主。
[0003]在对晶圆的notch定位槽进行加工过程中，需要用到打磨组件对晶圆的notch定位槽进行打磨，现有的打磨机构只能在进行一次打磨后，更换另一台打磨机构继续进行打磨，导致打磨的周期偏长，降低了工作效率。

技术实现思路

[0004]针对现有技术中的缺陷，本技术提供的一种晶圆notch定位槽加工用打磨装置，在打磨过程中，粗磨组件和细磨组件相互切换，提高了产品的打磨精度和生产效率。
[0005]为了解决上述技术问题，本技术提出以下技术方案：
[0006]一种晶圆notch定位槽加工用打磨装置，包括龙门架，龙门架安装在底座上，龙门架的横梁上设有粗模组件、精磨组件和两个可进行水平和垂直方向移动的驱动机构，一个驱动机构与粗磨组件驱动连接，另一个驱动机构与精磨组件驱动连接，两个驱动机构均安装在龙门架的横梁上，粗模组件、精磨组件和两个驱动机构均与控制器电连接。
[0007]进一步地，所述粗模组件包括第一驱动电机和粗磨砂轮，第一驱动电机与驱动机构驱动连接，第一驱动电机与粗磨砂轮驱动连接，第一驱动电机与控制器电连接；所述精磨组件包括第二驱动电机和精磨砂轮，第二驱动电机与驱动机构驱动连接，第二驱动电机与精磨砂轮驱动连接，第二驱动电机与控制器电连接。
[0008]进一步地，所述龙门架的横梁上开设有安装槽，所述驱动机构包括水平驱动组件和垂直驱动组件，水平驱动组件固定在安装槽内，水平驱动组件上固定安装有第一固定板，垂直驱动组件固定安装在第一固定板的中心区域，垂直驱动组件上固定安装有第二固定板，第一驱动电机或第二驱动电机固定安装在第二固定板上。
[0009]进一步地，所述第一固定板位于垂直驱动组件的一侧固定安装有滑轨，第二固定板上安装有滑块，滑块与滑轨滑动连接。
[0010]进一步地，所述龙门架的横梁位于安装槽的中心区域上安装有盖板，所述龙门架的横梁位于安装槽的两端固定安装有封挡板，封挡板上安装有防尘板。
[0011]进一步地，所述第二固定板上安装有第一钣金保护罩，第一钣金保护罩罩设在第一驱动电机或第二驱动电机上，第一驱动电机或第二驱动电机的输出轴穿过第一钣金保护罩上的通孔，第一钣金保护罩通过连接件连接第二钣金保护罩，第二钣金保护罩罩设在粗磨砂轮或精磨砂轮上。
[0012]进一步地，所述龙门架的横梁上设有坦克链，坦克链的一端与龙门架连接，坦克链的另一端与第一钣金保护罩连接，垂直驱动组件的连接线置于坦克链内。
[0013]由上述技术方案可知，本技术的有益效果：将待加工的晶圆置于底座上，通过控制器控制驱动机构进行水平移动带动粗磨组件置于待加工晶圆的正上方，通过控制器控制驱动机构进行垂直移动带动粗磨组件下降，同时控制器控制粗模组件工作对待加工的晶圆进行粗磨，粗磨完成后，通过控制器控制驱动机构带动粗磨组件远离晶圆，然后，控制器控制驱动机构进行水平移动带动精磨组件置于待加工晶圆的正上方，通过控制器控制驱动机构进行垂直移动带动精磨组件下降，同时控制器控制精模组件工作对待加工的晶圆进行细磨，在打磨过程中，粗磨组件和细磨组件相互切换，提高了产品的打磨精度和生产效率。
附图说明
[0014]为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。在所有附图中，类似的元件或部分一般由类似的附图标记标识。附图中，各元件或部分并不一定按照实际的比例绘制。
[0015]图1为本技术的结构示意图；
[0016]图2为本技术安装槽的结构示意图；
[0017]图3为本技术B处的放大图。
[0018]附图标记：
[0019]1‑
底座；3
‑
龙门架；
[0020]31
‑
安装槽；32
‑
水平驱动组件；33
‑
第一固定板；34
‑
垂直驱动组件；35
‑
第二固定板；36
‑
盖板；37
‑
封挡板；38
‑
防尘板；39
‑
坦克链；
[0021]331
‑
滑轨；351
‑
滑块；352
‑
第一钣金保护罩；353
‑
连接件；354
‑
第二钣金保护罩；355
‑
第一驱动电机；356
‑
粗磨砂轮；357
‑
第二驱动电机；358
‑
精磨砂轮。
具体实施方式
[0022]下面将结合附图对本技术技术方案的实施例进行详细的描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本技术的技术方案，因此只作为示例，而不能以此来限制本技术的保护范围。
[0023]参阅图1
‑
图3所示，本实施例提供的一种晶圆notch定位槽加工用打磨装置，包括龙门架3，龙门架3安装在底座1上，龙门架3的横梁上设有粗模组件、精磨组件和两个可进行水平和垂直方向移动的驱动机构，一个驱动机构与粗磨组件驱动连接，另一个驱动机构与精磨组件驱动连接，两个驱动机构均安装在龙门架3的横梁上，粗模组件、精磨组件和两个驱动机构均与控制器电连接。控制器为CNC控制器。
[0024]在实际使用中，将待加工的晶圆置于底座1上，通过控制器控制驱动机构进行水平移动带动粗磨组件置于待加工晶圆的正上方，通过控制器控制驱动机构进行垂直移动带动粗磨组件下降，同时控制器控制粗模组件工作对待加工的晶圆进行粗磨，粗磨完成后，通过控制器控制驱动机构带动粗磨组件远离晶圆，然后，控制器控制驱动机构进行水平移动带动精磨组件置于待加工晶圆的正上方，通过控制器控制驱动机构进行垂直移动带动精磨组
件下降，同时控制器控制精模组件工作对待加工的晶圆进行细磨，在打磨过程中，粗磨组件和细磨组件相互切换，提高了产品的打磨精度和生产效率。
[0025]在本实施例中，粗模组件包括第一驱动电机355和粗磨砂轮356，第一驱动电机355与驱动机构驱动连接，第一驱动电机355与粗磨砂轮356驱动连接，第一驱动电机355与控制器电连接；精磨组件包括第二驱动电机357和精磨砂轮358，第二驱动电机357与驱动机构驱动连接，第二驱动电机357与精磨砂轮358驱动连接，第二驱动电机357与控制器电连接。
[0026]在实际使用中，通过控制器控制第一驱动电机355高速转动，带动粗磨砂轮356转动，对晶本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆notch定位槽加工用打磨装置，其特征在于：包括龙门架(3)，龙门架(3)安装在底座(1)上，龙门架(3)的横梁上设有粗模组件、精磨组件和两个可进行水平和垂直方向移动的驱动机构，一个驱动机构与粗磨组件驱动连接，另一个驱动机构与精磨组件驱动连接，两个驱动机构均安装在龙门架(3)的横梁上，粗模组件、精磨组件和两个驱动机构均与控制器电连接。2.根据权利要求1所述的一种晶圆notch定位槽加工用打磨装置，其特征在于：所述粗模组件包括第一驱动电机(355)和粗磨砂轮(356)，第一驱动电机(355)与驱动机构驱动连接，第一驱动电机(355)与粗磨砂轮(356)驱动连接，第一驱动电机(355)与控制器电连接；所述精磨组件包括第二驱动电机(357)和精磨砂轮(358)，第二驱动电机(357)与驱动机构驱动连接，第二驱动电机(357)与精磨砂轮(358)驱动连接，第二驱动电机(357)与控制器电连接。3.根据权利要求2所述的一种晶圆notch定位槽加工用打磨装置，其特征在于：所述龙门架(3)的横梁上开设有安装槽(31)，所述驱动机构包括水平驱动组件(32)和垂直驱动组件(34)，水平驱动组件(32)固定在安装槽(31)内，水平驱动组件(32)上固定安装有第一固定板(33)，垂直驱动组件(34)固定安装在第一固定板(33)的中心区域，垂直驱动组件(34)上固定安装有第二固定板(35)，第一驱动电机(355)或第二驱动电机(357)固定...

【专利技术属性】
技术研发人员：王炫铭，
申请(专利权)人：苏州安田丰科技有限公司，
类型：新型
国别省市：