一种石英光掩膜板全自动清洗机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种石英光掩膜板全自动清洗机，包括机台，所述进料的两端分别设置有进料口和出料口，所述机台的下侧设置有若干并排分布的工作隔间，且若干工作隔间内从左到右依次设置有纯水喷淋机构、洗剂擦拭机构、滚刷刷洗机构、纯水超声清洗机构和风刀切水机构，其中在所述滚刷刷洗机构和所述纯水超声清洗机构之间也设置有纯水喷淋机构；所述机台的上侧设置有滑动模组，所述滑动模组上滑动连接有夹取机构。本实用新型专利技术提供的清洗机有效提高光掩膜板的清洗效果，减少光掩膜板上的脏污残留，彻底改善了光掩膜板的脏污问题，而且清洗过程中不易对光掩膜板表面造成划伤，提高了产品在清洗过程中的合格率，整个设备由系统自动化控制，因此大大提高了光掩膜板的清洗效率。因此大大提高了光掩膜板的清洗效率。因此大大提高了光掩膜板的清洗效率。

【技术实现步骤摘要】
一种石英光掩膜板全自动清洗机


[0001]本技术涉及光掩膜板制造
，特别是一种石英光掩膜板全自动清洗机。

技术介绍

[0002]半导体的生产过程中需要用到一种耗材，即光掩膜板，光掩膜板是一种硬面光掩膜材料，即光掩膜基板，它是当前及未来微细加工光掩膜制作的主流感光材料(相当于照相用的感光胶卷)。
[0003]由于光掩膜板在使用时对其表面的光洁度要求较高，因此光掩膜板在加工完成需要对其表面进行清洗，目前所采用的方法通常是采用滚轮式结构清洗机对光掩膜板进行清洗，通过滚轮对光掩膜板进行传动，由于滚轮的在使用过程会产生脏污或者粘附异物，因此可能会导致清洗不彻底，容易在光掩膜板的表面留下滚轮印，并且滚轮经过长时间的使用导致会出现毛刺和缺口等缺陷，容易造成光掩膜板表现划伤，从而降低了产品的合格率，因此需要对目前所使用的光掩膜板清洗机的结构进行改进。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决上述问题，设计了一种石英光掩膜板全自动清洗机。
[0005]实现上述目的本技术的技术方案为，一种石英光掩膜板全自动清洗机，包括机台，所述机台的两端分别设置有进料口和出料口，所述机台的下侧设置有若干并排分布的工作隔间，且若干工作隔间内从左到右依次设置有纯水喷淋机构、洗剂擦拭机构、滚刷刷洗机构、纯水超声清洗机构和风刀切水机构，其中在所述滚刷刷洗机构和所述纯水超声清洗机构之间也设置有纯水喷淋机构；
[0006]所述机台的上侧设置有滑动模组，所述滑动模组上滑动连接有夹取机构，所述夹取机构将光掩膜板夹取固定后并通过滑动模组驱动横向滑动，使得光掩膜板依次经过纯水喷淋机构、洗剂擦拭机构、滚刷刷洗机构、纯水喷淋机构、纯水超声清洗机构和风刀切水机构。
[0007]作为本技术的进一步补充，所述纯水喷淋机构包括设置于工作隔间内侧两侧的若干喷头，且若干喷头均与纯水管道连接。
[0008]作为本技术的进一步补充，所述洗剂擦拭机构包括设置于工作隔间外侧两侧的转动电机，且所述转动电机的转动杆伸入工作隔间内侧，所述转动电机的转动杆上设置有毛刷组件，且所述毛刷组件的中间设置有洗剂喷嘴。
[0009]作为本技术的进一步补充，所述滚刷刷洗机构包括设置于工作隔间外侧两侧的前后移动装置、以及安装在前后移动装置上的滚刷组件，所述夹取装置夹取光掩膜板并带动光掩膜板上下运动，使得滚刷组件沿着光掩膜板的表面上下滚刷清洗。
[0010]作为本技术的进一步补充，所述夹取机构包括升降模组，所述升降模组的侧
边设置有传动电机，所述传动电机通过同步带与所述升降模组传动连接，所述升降模组上设置有滑板，所述升降模组通过丝杆与所述滑板传动连接，所述滑板上安装有夹持装置。
[0011]作为本技术的进一步补充，所述机台上还设置有控制柜。
[0012]其有益效果在于，本技术中夹取机构通过滑动模组运动，将光掩膜板夹取依次经过设置于机台下侧的各个机构进行纯水喷淋，喷涂洗剂并用毛刷组件进行擦拭，再通过滚刷刷洗，接着再经过纯水喷淋洗去脏污，然后通过纯水超声波进行清洗，最后通过风刀将光掩膜板表面的水分去除，夹取机构在工作时只会碰到光掩膜板的上侧棱边，与光掩膜板的接触面积小，取代了传统滚轮式传送，既解决了滚轮式传动时由于滚轮的脏污而导致光掩膜板上存在滚轮印的问题，又提高光掩膜板的清洗效果，减少光掩膜板上的脏污残留，彻底改善了光掩膜板的脏污问题，而且清洗过程中不易对光掩膜板表面造成划伤，提高了产品在清洗过程中的合格率，而且整个设备由系统自动化控制，因此大大提高了光掩膜板的清洗效率。
附图说明
[0013]图1是本技术的内部结构示意图；
[0014]图2是本技术的侧视内部结构示意图。
[0015]图中，1、机台；2、滑动模组；3、夹取机构；31、传动电机；32、升降模组；33、滑板；34、夹持装置；4、纯水喷淋机构；5、洗剂擦拭机构；51、转动电机；52、毛刷组件；6、滚刷刷洗机构；61、前后移动装置；62、滚刷组件；7、纯水超声清洗机构；8、风刀切水机构；9、控制柜。
具体实施方式
[0016]首先说明一下本技术的设计初衷，由于目前使用的滚轮式光掩膜板清洗机对光掩膜板进行清洗，存在清洗不彻底，容易在光掩膜板的表面留下滚轮印等缺陷，而且滚轮经过长时间的使用导致会出现毛刺和缺口等缺陷，容易造成光掩膜板划伤，因此为了解决上述问题，本技术提出了一种石英光掩膜板全自动清洗机，安装、维修和保养等方面更加方便快捷。
[0017]下面结合附图对本技术进行具体描述，如图1所示，该清洗机主要包括机台1、设置于机台1上侧的滑动模组2、安装在滑动模组2上的用于夹取光掩膜板的夹取机构3，其中在机台1的下侧设置有若干并排分布的工作隔间，并且从左到右在这些工作隔间内依次设置有纯水喷淋机构4、洗剂擦拭机构5、滚刷刷洗机构6、纯水超声清洗机构7和风刀清洗机构，其中在滚刷刷洗机构6和纯水超声清洗机构7之间也设置有纯水喷淋机构4，而在机台1的两端分别设置有进料口和出料口，光掩膜板的上下料都是通过人工进行的，光掩膜板的全部清洗流程都是通过系统自动控制的，因此可以极大节省人工成本，并能提高光掩膜板的清洗效率。
[0018]在清洗时首先人工将光掩膜板送入进料口，然后夹取机构3将光掩膜板夹取并通过滑动模组2运动，从左到右依次经过纯水喷淋机构4进行纯水喷洗、经过洗剂擦拭机构5进行喷洗剂并刷洗、经过滚刷刷洗机构6进行毛刷刷洗、再经过纯水喷淋机构4进行喷洗，然后纯水超声清洗机构7利用超声波对光掩膜板表面进行清洗，最后经过风刀切水机构8除去光掩膜板表面多余的水渍，使得光掩膜板表面无水渍残留，无水痕，而在机台1的最右端还设
置有控制柜9，控制上述机构运动。
[0019]上述的夹取机构3包括升降模组32，在升降模组32的侧边设置有传动电机31，其中传动电机31通过同步带与升降模组32传动连接，而在升降模组32上设置有滑板33，升降模组32通过丝杆与滑板33传动连接，滑板33上安装有夹持装置34，传动电机31通过同步带驱动升降模组32上的丝杆转动，从而使得安装在滑板33上的夹持装置34沿着升降模组32上下移动，在清洗作业时，通过上述方式，光掩膜板会被伸入机台1下侧的若干工作隔间内，分工序进行清洗作业。
[0020]其中纯水喷淋机构4包括设置于工作隔间内侧两侧的若干喷头，且若干喷头均与纯水管道连接，夹持装置34会用过升降模组32向下运动，将光掩膜板移送到纯水喷淋机构4的工作隔间内，两侧的若干喷头会喷出纯水将光掩膜板两侧的表面淋湿，接着光掩膜板会通过夹取机构3移送到洗剂擦拭机构5的工作隔间内，洗剂擦拭机构5包括设置于工作隔间外侧两侧的转动电机51，且转动电机51的转动杆伸入工作隔间内侧，而在转动电机51的转动杆上设置有毛刷组件52，并且在毛刷组件52的中间位置设置有洗剂喷嘴，洗剂喷嘴会向光掩膜板表面喷涂洗剂，同时升降模组32会驱动夹持装置34由上往下运动，使光掩膜板的整个本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石英光掩膜板全自动清洗机，包括机台(1)，其特征在于，所述机台(1)的两端分别设置有进料口和出料口，所述机台(1)的下侧设置有若干并排分布的工作隔间，且若干工作隔间内从左到右依次设置有纯水喷淋机构(4)、洗剂擦拭机构(5)、滚刷刷洗机构(6)、纯水超声清洗机构(7)和风刀切水机构(8)，其中在所述滚刷刷洗机构(6)和所述纯水超声清洗机构(7)之间也设置有纯水喷淋机构(4)；所述机台(1)的上侧设置有滑动模组(2)，所述滑动模组(2)上滑动连接有夹取机构(3)，所述夹取机构(3)将光掩膜板夹取固定后并通过滑动模组(2)驱动横向滑动，使得光掩膜板依次经过纯水喷淋机构(4)、洗剂擦拭机构(5)、滚刷刷洗机构(6)、纯水喷淋机构(4)、纯水超声清洗机构(7)和风刀切水机构(8)。2.根据权利要求1所述的一种石英光掩膜板全自动清洗机，其特征在于，所述纯水喷淋机构(4)包括设置于工作隔间内侧两侧的若干喷头，且若干喷头均与纯水管道连接。3.根据权利要求1所述的一种石英光掩膜板全自动清洗机，其特征在于，所述洗剂擦拭机构(5)包括设置于工作...

【专利技术属性】
技术研发人员：王炫铭，王伟，王静，
申请(专利权)人：苏州安田丰科技有限公司，
类型：新型
国别省市：