一种真空机械手臂加工方法技术

本发明专利技术公开了一种真空机械手臂加工方法，包括如下步骤：对坯料进行粗加工形成半精成品，在外缘预留若干工艺搭子，并在工艺搭子上加工出螺栓孔；在底板上设置与机械手臂内孔适配的定位块，将机械手臂通过定位块定位在底板上后，通过在螺栓孔中设置底板螺栓将半精成品固定在底板上，进行端面及内腔的精加工；在端面上设置压板，通过压板与定位块的固定连接将机械手臂固定在底板上后，卸下螺栓孔中的底板螺栓，进行外形精加工的同时去除工艺搭子。本发明专利技术只需一次定位，减少了现有技术多次装夹造成产品弹性变形和表面接刀痕及重复定位造成的误差；热处理释放加工内应力，减少后续加工产品内应力变形，使产品满足了加工精度要求。使产品满足了加工精度要求。使产品满足了加工精度要求。

【技术实现步骤摘要】
一种真空机械手臂加工方法


[0001]本专利技术涉及机械制造领域，尤其涉及一种真空机械手臂加工方法。

技术介绍

[0002]真空机器人是一种在真空环境下工作的机器人，主要应用于半导体工业中，实现晶圆在真空腔室内的传输。真空机械手臂是真空机器人关键零部件之一，是机器人执行动作的重要载体。机器人执行高精度动作主要依赖于机械误差，所以材料需要强度高，质量轻，而且对加工精度、工艺要求非常高。机械手臂两端大小不一，外缘具有斜边，并且由整块矩形材料加工而成，产品型腔内壁薄，侧壁和底壁厚度不一致，产品平面度，精度孔及安装孔尺寸要求高。现有技术利用精密虎钳加工配合仿形钳口加工，由于虎钳夹紧斜边的同时对产品有侧推力，加工后松开虎钳，产品具有反向的弹性变形，造成加工后的产品变形，因此平面度较差，垂直度、尺寸精度难以保证；另外由于端面平面度要求，现有技术需要在无压紧力作用下，进行硅胶固定产品加工端面，而硅胶黏结的不稳定，容易造成产品移动及变形，尺寸精度难以保证，造成成品一次性合格率低。
[0003]例如，一种在中国专利文献上公开的“一种双斜面零件的工装夹具”本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空机械手臂加工方法，其特征是，包括如下步骤：S1.对机械手臂坯料进行粗加工形成半精成品，在半精成品外缘预留若干工艺搭子，并在工艺搭子上加工出螺栓孔；S2.在底板上设置与机械手臂内孔适配的定位块，将机械手臂通过定位块定位在底板上后，通过在所述螺栓孔中设置底板螺栓将半精成品固定在底板上，然后进行端面及内腔的精加工；S3.完成步骤S2后，在端面上设置压板，通过压板与定位块的固定连接将机械手臂固定在底板上后，卸下所述螺栓孔中的底板螺栓，进行外形精加工的同时去除工艺搭子。2.根据权利要求1所述的一种真空机械手臂加工方法，其特征是，所述步骤S1之后还包括对半精成品的热处理。3.根据权利要求1所述的一种真空机械手臂加工方法，其特征是，所述定位块上设有压板螺孔，所述压板上设有通孔，通孔中设有与压板螺孔螺纹连接的压板螺栓。4.根据权利要求3所述的一种真空机械手臂加工方法，其特征是，所述定位块上设有滑动杆，所述压板套设在滑动杆上，所述压板包括若干分压板，分压板之间插接配合，所述压板螺孔设置在滑动杆顶...

【专利技术属性】
技术研发人员：何俊，郑胜华，祝伟生，邓礼广，廖子剑，
申请(专利权)人：浙江先导精密机械有限公司，
类型：发明
国别省市：