一种掩膜版及其制作方法技术

本申请提供一种掩膜版及其制作方法，包括：掩膜框架，所述掩膜框架包括多个顺次连接的边框，多个所述边框围合形成开窗；第一掩膜条，其两端分别与多个所述边框中的两个相对的边框固定；第二掩膜条，其一端与多个所述边框中的一个固定，另一端与所述第一掩膜条固定，且第二掩膜条延伸的方向与第一掩膜条延伸的方向垂直；以及修正掩膜条，至少包括第一修正条，所述第一修正条层叠于所述第一掩膜条上，且所述第一修正条的宽度大于所述第一掩膜条的宽度，所述第一掩膜条在所述第一修正条上的投影位于所述第一修正条内，所述第一修正条及所述第二掩膜条共同将所述开窗分为多个不同尺寸的蒸镀开口。尺寸的蒸镀开口。尺寸的蒸镀开口。

【技术实现步骤摘要】
一种掩膜版及其制作方法


[0001]本申请涉及显示
，尤其涉及一种成膜用的掩膜版及其制作方法。

技术介绍

[0002]OLED(organic light emitting display)显示技术与传统的LCD显示方式不同，无需背光灯，采用非常薄的有机涂层和玻璃基板(或柔性有机基板)，当有电流通过时，这些有机材料就会发光。OLED不仅更轻薄、能耗低、亮度高、发光率好、可以显示纯黑色，并且还可以做到弯曲，如当今的曲面电视和手机等。当今国际各大厂都争先恐后的加强了对OLED技术的研发投入，使得OLED技术在当今电视、电脑、手机、平板等领域应用愈加广泛。
[0003]采用真空蒸镀技术，通过将玻璃基板贴合在金属掩膜板上，有机材料沉积在玻璃基板上形成需要的图案，在这过程中，金属掩膜板发挥着关键作用，金属掩膜板图案的精确度制约着OLED的发展，这对金属掩膜板的张网提出了严格的要求，尤其对于大尺寸非阵列排版的金属掩膜板，这类掩膜板在张网过程中容易受力后发生更大的变形，导致蒸镀开口的形状也随之变形，导致蒸镀的图案形状也会变形。
[000本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种掩膜版，其特征在于，包括：掩膜框架，所述掩膜框架包括多个顺次连接的边框，多个所述边框共同围合形成开窗；第一掩膜条，其两端分别与多个所述边框中的两个相对的边框固定；第二掩膜条，其一端与多个所述边框中的一个固定，另一端与所述第一掩膜条固定，且第二掩膜条延伸的方向与第一掩膜条延伸的方向垂直；以及修正掩膜条，至少包括第一修正条，所述第一修正条层叠于所述第一掩膜条上，且所述第一修正条的宽度大于所述第一掩膜条的宽度，所述第一掩膜条在所述第一修正条上的投影位于所述第一修正条内，所述第一修正条及所述第二掩膜条共同将所述开窗分为多个不同尺寸的蒸镀开口。2.根据权利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述第一修正条的厚度不大于所述第一掩膜条的厚度。3.根据权利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述修正掩膜条还包括第二修正条，所述第二修正条层叠于所述第二掩膜条之上且与第二掩膜条固定，所述第二修正条的宽度大于所述第二掩膜条的宽度，所述第二掩膜条在所述第二修正条上的投影位于所述第二修正条内。4.根据权利要求3所述的掩膜版，其特征在于，所述第二修正条的厚度不大于所述第二掩膜条的厚度。5.根据权利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述第一掩膜条及第二掩膜条上分别设置有排液孔。6.一种掩膜版的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：提供掩膜框架，所述掩膜框架包括多个顺次连接的边框，多个所...

【专利技术属性】
技术研发人员：ꢀ七四专利代理机构，
申请(专利权)人：广州华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：