一种运动台及控制系统技术方案

本发明专利技术涉及一种运动台及控制系统。该运动台包括基座、Y向运动台和2组Y向直线电机，还包括X向运动台和2组X向直线电机，所述２组X向直线电机设置在所述Y向运动台上，且２组X向直线电机对称设置在所述X向运动台的两侧，每组X向直线电机的动子与X向运动台相连。该运动台有利于避免X向运动台连同上方的运动机构发生不必要的Ry方向的旋转。必要的Ry方向的旋转。必要的Ry方向的旋转。

【技术实现步骤摘要】
一种运动台及控制系统


[0001]本专利技术涉及半导体及控制系统领域，特别是涉及运动台及控制系统。

技术介绍

[0002]在半导体硅片的厚度检测领域，经常需要用到运动台。这种用于工件精确定位的运动台是精密半导体设备的核心部件。上述运动台的实施方式有多种。
[0003]例如，中国专利202020876271.4就公开了一种微动台及包括微动台的运动装置。
[0004]此外，除了上述中国专利公开的微动台，目前，还有另一种运动台，这种运动台一般可沿X方向和Y方向移动。在水平面上，X方向与Y方向相互垂直，还包括一个Z方向，Z方向与水平面垂直，由X方向、Y方向和Z方向组成一个立体坐标系。这种运动台一般包括一个基座，基座上设置有Y向运动台和2个Y向直线电机，Y向运动台上设置有1个X向直线电机，该X向直线电机设置在X向运动台的底部。X向运动台的顶部还可设置一个运动机构，该运动机构可以是Z向位移台和Rz旋转台。
[0005]现有的这种设计方案存在以下不足：1、在使用时，X向运动台连同上方的运动机构存在Ry方向旋转的问题，影响使用精度。
[0006]2、X向线性位置传感器组件在使用过程中,测量误差较大，影响使用精度。
[0007]3、X向直线电机设置在X向运动台的底部，造成整个装置的Z向尺寸较大，不便于其它机构的安装。
[0008]4、X向运动台的加速度较小，运动台整体反应速度较慢。
[0009]5、整个运动台散热效果不好。

技术实现思路

[0010]基于此，提供一种运动台。该运动台有利于避免X向运动台连同上方的运动机构发生不必要的Ry方向的旋转。
[0011]一种运动台，包括基座、Y向运动台和2组Y向直线电机，还包括X向运动台和2组X向直线电机，所述２组X向直线电机设置在所述Y向运动台上，且2组X向直线电机对称设置在所述X向运动台的两侧，每组X向直线电机的动子与X向运动台相连。
[0012]本申请中，设置有2组X向直线电机，且2组X向直线电机对称设置在所述X向运动台的两侧。本申请不像传统的设计思路那样将X向直线电机设置在X向运动台的底部。因为通过深入研究发现，传统的设计思路中，将X向直线电机设置在X向运动台的底部，使得X向直线电机的驱动力作用在X向运动台的底部，很难在Z方向与X向运动台的质心匹配。使得X向运动台连同上方的运动机构很容易在Ry方向旋转。
[0013]本申请将2组X向直线电机对称设置在所述X向运动台的两侧，这样便于直观的对2组X向直线电机和X向运动台的安装位置进行精确控制和调整，也就是X向直线电机设置在X
向运动台的侧面，其安装高度上下可调，这样有利于使2组X向直线电机的综合的驱动力与X向运动台在Z方向上的质心匹配。这样，在通过2组X向直线电机驱动X向运动台运动时，可有效避免X向运动台连同上方的运动机构发生不必要的Ry方向的旋转。
[0014]在其中一个实施例中，所述Y向运动台设置在所述基座上，Y向运动台的底部与基座之间设置有空气轴承，Y向运动台的侧壁与基座之间设置有空气轴承，2组Y向直线电机设置在所述Y向运动台的两侧，且2组Y向直线电机安装在基座上，每组Y向直线电机的动子与Y向运动台相连。
[0015]在其中一个实施例中，所述Y向运动台包括外部框架以及设置在外部框架内部的X向导向结构，所述X向运动台的底部与基座之间设置有空气轴承，所述X向运动台设置有供X向导向结构穿过的通孔，所述X向运动台的通孔的内侧壁与X向导向结构之间设置有空气轴承，所述2组X向直线电机设置在所述Y向运动台的外部框架上。
[0016]在其中一个实施例中，还包括2个X向线性位置传感器组件，2个X向线性位置传感器组件对称设置在X向运动台的两侧，每个X向线性位置传感器组件包括X向线性位置传感器以及与X向线性位置传感器配合的X向线性位置传感器读数头，所述X向线性位置传感器设置在Y向运动台上，所述X向线性位置传感器读数头通过线性位置传感器支架与X向运动台相连。
[0017]在其中一个实施例中，通过2个X向线性位置传感器组件获得的数据控制2组X向直线电机的运转。
[0018]在其中一个实施例中，当X向运动台发生旋转后，通过调整两个X向直线电机的输出，使X向运动台归正并保持不再转动。
[0019]在其中一个实施例中，所述Y向运动台包括外部框架，所述外部框架包括两个间隔设置的侧向支撑壁，所述X向运动台位于两个侧向支撑臂之间，所述X向线性位置传感器组件的X向线性位置传感器设置在侧向支撑的顶部。
[0020]在其中一个实施例中，所述外部框架包括两个间隔设置的侧向支撑壁，所述X向运动台位于两个侧向支撑臂之间，所述2组X向直线电机分别安装在两个侧向支撑臂上。
[0021]一种控制系统，包括基座、Y向运动台和2组Y向直线电机，还包括X向运动台和2组X向直线电机，所述２组X向直线电机设置在所述Y向运动台上，且２组X向直线电机对称设置在所述X向运动台的两侧，每组X向直线电机的动子与X向运动台相连，还包括2个X向线性位置传感器组件，2个X向线性位置传感器组件对称设置在X向运动台的两侧，每个X向线性位置传感器组件包括X向线性位置传感器以及与X向线性位置传感器配合的X向线性位置传感器读数头，所述X向线性位置传感器设置在Y向运动台上，所述X向线性位置传感器读数头通过线性位置传感器支架与X向运动台相连，通过2个X向线性位置传感器组件获得的数据控制2组X向直线电机的运转，当X向运动台发生旋转后，通过调整2组X向直线电机的输出，使X向运动台归正并保持不再转动。
[0022]附图说明
[0023]图1为本申请的实施例的运动台的俯视图。
[0024]图2为本申请的实施例的运动台的侧视图。
[0025]图3为本申请的实施例的运动台的内部结构示意图。
[0026]其中：101、基座，102、外部框架，103、X向导向结构，104、Y向运动台，105、Y向直线电机，106、X向运动台，107、X向直线电机，108、Y向线性位置传感器组件，109、X向线性位置传感器组件，110、运动机构，112、线性位置传感器支架，106a、U型框架，106b、加强板，210、空气轴承，220、空气轴承，230、空气轴承，240、空气轴承。
具体实施方式
[0027]为使本专利技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本专利技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本专利技术。但是本专利技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本专利技术内涵的情况下做类似改进，因此本专利技术不受下面公开的具体实施例的限制。
[0028]需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。
[0029]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种运动台，包括基座、Y向运动台和2组Y向直线电机，其特征在于，还包括X向运动台和2组X向直线电机，所述２组X向直线电机设置在所述Y向运动台上，且２组X向直线电机对称设置在所述X向运动台的两侧，每组X向直线电机的动子与X向运动台相连。2.根据权利要求1所述的运动台，其特征在于，所述Y向运动台设置在所述基座上，Y向运动台的底部与基座之间设置有空气轴承，Y向运动台的侧壁与基座之间设置有空气轴承，2组Y向直线电机设置在所述Y向运动台的两侧，且２组Y向直线电机安装在基座上，每组Y向直线电机的动子与Y向运动台相连。3.根据权利要求1所述的运动台，其特征在于，所述Y向运动台包括外部框架以及设置在外部框架内部的X向导向结构，所述X向运动台的底部与基座之间设置有空气轴承，所述X向运动台设置有供X向导向结构穿过的通孔，所述X向运动台的通孔的内侧壁与X向导向结构之间设置有空气轴承，所述２组X向直线电机设置在所述Y向运动台的外部框架上。4.根据权利要求1所述的运动台，其特征在于，还包括2个X向线性位置传感器组件，2个X向线性位置传感器组件对称设置在X向运动台的两侧，每个X向线性位置传感器组件包括X向线性位置传感器以及与X向线性位置传感器配合的X向线性位置传感器读数头，所述X向线性位置传感器设置在Y向运动台上，所述X向线性位置传感器读数头通过线性位置传感器支架与X向运动台相连。5.根据权利要求4所述的运动台，其特征在于，通过2个X向线性位置传感器组件获得的数据控...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗岩，谢扬，陆海亮，李伟民，约翰纳斯，
申请(专利权)人：江苏集萃苏科思科技有限公司，
类型：发明
国别省市：