旋转运动台制造技术

本发明专利技术涉及一种旋转运动台，旋转运动台包括基台、旋转台面、支撑垫、线性促动器、枢轴铰链，所述旋转台面通过底部连接的支撑垫设置在所述基台的表面，旋转台面的一侧与所述枢轴铰链的柔性侧固定连接，所述枢轴铰链的固定侧固定在所述基台的表面，所述线性促动器固定在所述基台表面，线性促动器的运动轴与所述旋转台面的另一侧面固定连接。本申请结构紧凑，体积小，能够提高运动台对于横向作用力的抗干扰性，同时提高旋转运动台的工作稳定性和可靠性。性。性。

【技术实现步骤摘要】
旋转运动台


[0001]本专利技术涉及精密定位控制
，具体涉及一种旋转运动台。

技术介绍

[0002]在对产品检测时，为了能够保证检测的准确性，根据工况的不同，可通过旋转运动台对被测物进行精密定位，或者结合XY运动台和设置于XY运动台上的Z向运动台对被测物进行精密定位，再有特定工况的需求，还有引入RZ向运动台的情况进行被测物的位置调整。而针对不同的产品类型，对于运动台的工作精度要求也不同，而对于半导体晶圆进行检测时，由于其本身的结构精密性，其检测精度要求也更高，甚至要达到微米乃至纳米量级。
[0003]而就RZ运动台而言，传统的具有两种结构，一是采用机械轴承配合直驱旋转电机的结构，但由于机械轴承的限制，精度差，只能达到毫弧度量级，另一是采用气浮轴承配合直驱旋转电机的结构，但是设备的整体体积较大，尤其是Z向尺寸较大，同时导致自重大，不便于布置。
[0004]因此，如何优化RZ向的结构，更好地满足半导体晶圆检测的高刚度高精度需求，是目前急需解决的技术问题。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的是要提供一种旋转运动台，其结构紧凑，体积小，能够提高运动台对于横向作用力的抗干扰性，同时提高旋转运动台的工作稳定性和可靠性。
[0006]为达到上述目的，本专利技术采用的技术方案是：本专利技术提供了一种旋转运动台，旋转运动台包括基台、旋转台面、支撑垫、线性促动器、枢轴铰链，所述旋转台面通过底部连接的支撑垫设置在所述基台的表面，旋转台面的一侧与所述枢轴铰链的柔性侧固定连接，所述枢轴铰链的固定侧固定在所述基台的表面，所述线性促动器固定在所述基台表面，线性促动器的运动轴与所述旋转台面的另一侧面固定连接。
[0007]对于上述技术方案，申请人还有进一步的优化措施。
[0008]可选地，所述枢轴铰链包括活动板、旋转板，所述活动板固定于基台表面，所述活动板垂直于所述基台表面，所述活动板与旋转板相平行地设置并且通过第一薄壁金属连接所述活动板与旋转板，所述第一薄壁金属垂直于所述基台表面。
[0009]进一步地，还包括柔性连接件，所述柔性连接件呈平板状，整体平行于所述基台，所述柔性连接件的一侧连接活动板，相对的另一侧与基台或者固定于基台上的固定架相连接。
[0010]更进一步地，所述柔性连接件包括连接件主体，所述连接件主体上具有第二薄壁金属，所述第二薄壁金属与所述第一薄壁金属呈正交布置。
[0011]可选地，所述旋转运动台还包括连接铰链，所述线性促动器的运动轴通过柔性连接轴与所述连接铰链相连，所述连接铰链固定连接所述旋转台面。
[0012]进一步地，所述连接铰链包括柔性固定件，柔性固定件中具有双层薄壁金属结构、是为第三薄壁金属，且所述柔性固定件中的第三薄壁金属平行于所述基台表面，所述柔性连接轴穿设于所述柔性固定件的双层薄壁金属之间连接。
[0013]进一步地，所述柔性固定件包括平行于基台表面的两水平臂和连接两臂的竖直板，在两水平臂上分别开设有第三薄壁金属，所述柔性连接轴的一端与所述线性促动器的运动轴相连，所述柔性连接轴的另一端穿过所述竖直板后再从所述两水平臂之间穿过后与基台或者固定于基台上的支架相连接。
[0014]更进一步地，所述柔性连接轴上具有第四薄壁金属，所述第四薄壁金属同样平行于所述基台表面并且与所述线性促动器的运动轴的轴线相垂直。
[0015]可选地，每一所述支撑垫包括上下两层平板，分别为上层垫与下层垫，所述上层垫固定于所述旋转台面的底部，所述下层垫上沿高度方向开设有通孔，所述基板内设置有气道，所述下层垫固定在所述基板上并且基板上开设有连通所述通孔与气道的连接孔，所述气道与外部的气源相连，通过切换气源的正压或者负压，使得所述上层垫与下层垫之间在正压气浮的活动状态与负压吸附的锁定状态间切换。
[0016]进一步地，在所述旋转台面的下方设置有至少三个支撑垫。
[0017]由于上述技术方案运用，本专利技术与现有技术相比具有下列优点：本专利技术的线性的旋转运动台，采用直线驱动取代传统的旋转电机的驱动方式，依靠枢轴铰链处的薄壁金属的弹性形变来实现旋转台面的转动，而不是直接的旋转圆周运动，提高了旋转台面的运动精度，且整体结构限定在平面内，缩小旋转运动台的高度，更好地满足设备轻型化小型化的需求。
[0018]除此之外，在旋转运动台中采用气浮控制的支撑垫来进行旋转台面的锁定与解锁，从而保证旋转台面在锁止状态具有更好的刚性，提高本申请的设备稳定性和工作可靠性。
附图说明
[0019]后文将参照附图以示例性而非限制性的方式详细描述本专利技术的一些具体实施例。附图中相同的附图标记标示了相同或类似的部件或部分。本领域技术人员应该理解，这些附图未必是按比例绘制的。附图中：图1是根据本专利技术一个实施例的旋转运动台的俯视结构示意图；图2是根据本专利技术一个实施例的旋转运动台的剖面结构示意图；图3为图1所示旋转运动台中支撑垫的结构示意图；图4是根据本专利技术一个实施例的旋转运动台中枢轴铰链的结构示意图；图5为图4所示枢轴铰链的侧视图；图6是根据本专利技术一个实施例的旋转运动台中连接铰链的结构示意图；图7为图6所示连接铰链的侧视图；图8为图7所示连接铰链中S
‑
S向剖面视图；图9是根据本专利技术一个实施例的旋转运动台中构成薄壁金属的其他结构示意图。
[0020]附图标记如下：1、基台；
2、旋转台面；3、线性促动器，4、支撑垫，41、上层垫，42、下层垫，43、通孔，44、连接孔，45、气道；5、枢轴铰链，51、固定块，52、活动板，53、旋转板，54、柔性连接件；6、连接铰链，61、插板，62、柔性固定件，63、柔性连接轴；71、第一薄壁金属，72、第二薄壁金属，73、第三薄壁金属，74、第四薄壁金属。
具体实施方式
[0021]下面将结合附图对本专利技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0022]此外，下面所描述的本专利技术不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
[0023]本实施例描述了一种旋转运动台，在旋转运动台处采用直线驱动取代传统的旋转电机的驱动方式，依靠枢轴铰链5的弹性形变来实现旋转台面2的转动，而不是直接的旋转圆周运动，提高了旋转台面2的运动精度，且整体结构限定在平面内，缩小旋转运动台的高度，更好地满足设备轻型化小型化的需求。
[0024]具体说来，如图1、图2所示，所述旋转运动台包括基台1、旋转台面2、支撑垫4、线性促动器3、枢轴铰链5，所述旋转台面2通过底部连接的支撑垫4设置在所述基台1的表面，旋转台面2的一侧与所述枢轴铰链5的柔性侧固定连接，所述枢轴铰链的固定侧固定在所述基台1的表面，所述线性促动器3固定在所述基台1表面，线性促动器3的运动轴与所述旋转台面2的另一侧面固定连接。
[0025]本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种旋转运动台，其特征在于，旋转运动台包括基台、旋转台面、支撑垫、线性促动器、枢轴铰链，所述旋转台面通过底部连接的支撑垫设置在所述基台的表面，旋转台面的一侧与所述枢轴铰链的柔性侧固定连接，所述枢轴铰链的固定侧固定在所述基台的表面，所述线性促动器固定在所述基台表面，线性促动器的运动轴与所述旋转台面的另一侧面固定连接。2.根据权利要求1所述的旋转运动台，其特征在于，所述枢轴铰链包括活动板、旋转板，所述活动板固定于基台表面，所述活动板垂直于所述基台表面，所述活动板与旋转板相平行地设置并且通过第一薄壁金属连接所述活动板与旋转板，所述第一薄壁金属垂直于所述基台表面。3.根据权利要求2所述的旋转运动台，其特征在于，还包括柔性连接件，所述柔性连接件呈平板状，整体平行于所述基台，所述柔性连接件的一侧连接活动板，相对的另一侧与基台或者固定于基台上的固定架相连接。4.根据权利要求3所述的旋转运动台，其特征在于，所述柔性连接件包括连接件主体，所述连接件主体上具有第二薄壁金属，所述第二薄壁金属与所述第一薄壁金属呈正交布置。5.根据权利要求1所述的旋转运动台，其特征在于，所述旋转运动台还包括连接铰链，所述线性促动器的运动轴通过柔性连接轴与所述连接铰链相连，所述连接铰链固定连接所述旋转台面。6.根据权利要求5所述的旋转运动台，其特征在于，所述连接铰链包...

【专利技术属性】
技术研发人员：李伟民，罗岩，谢扬，陆海亮，
申请(专利权)人：江苏集萃苏科思科技有限公司，
类型：发明
国别省市：