激光传感器位置调整装置制造方法及图纸

本申请属于半导体加工技术领域，具体涉及一种激光传感器位置调整装置。该位置调整装置的第一连接件包括固定连接的第一连接板以及第二连接板，第一连接板沿第一方向设置，第一连接板可沿第一方向移动地连接在载体上，第二连接板沿第二方向设置，第二方向和第一方向垂直，第二连接件固定连接的第三连接板以及第四连接板，第三连接板可绕第一转轴摆动并锁定地连接在第二连接板上，第一转轴沿第一方向设置，第四连接板沿第三方向设置，第三方向均和第一方向以及第二方向垂直，激光传感器可绕第二转轴摆动并锁定地连接在第四连接板上，第二转轴沿第二方向设置。本申请可调整激光传感器在载体上的安装位置，使激光传感器的使用角度可调，提高晶圆侦测的可靠性以及通用性，具有很好的实用价值。很好的实用价值。很好的实用价值。

【技术实现步骤摘要】
激光传感器位置调整装置


[0001]本申请属于半导体加工
，具体涉及一种激光传感器位置调整装置。

技术介绍

[0002]在半导体行业中，晶圆在工艺腔的取传输送都通过升降机构配合顶针机构来实现，顶针机构的限位能大大提高放片和取片的定位精度。
[0003]晶片输送过程中，由于控制等方面的原因，可能会发生传送错误的现象，从而无法保证晶片能正确传送到反应腔室内部的载片台上，这将严重影响后续工艺。并且如果晶片传送不成功，则晶片实际仍处于机械手上，当工艺过程结束后，自动取回晶片时，会发生晶片碰撞顶针的事故，影响设备正常运转。因此，需要对预抽真空室传输腔的机械手的晶片位置进行检测，判断晶片传送是否成功。
[0004]现有技术中，检测晶片是否输送成功的常用手段为使用激光传感器进行检测，通过激光有无反射判断晶片是否位于机械手上。该方法简单、便捷。但是由于激光传感器对反射光线很敏感，长时间使用后容易出现信号错误，需定期调整激光传感器的位置，从而保证信号反馈的准确性。
[0005]但激光传感器在支架上的位置为固定的，无调节功能，受激光传感器的固定角度影响，对激光传感器射出的光线的角度影响较大，导致晶圆侦测的可靠性以及通用性较差。

技术实现思路

[0006]为解决上述技术问题，本申请提供一种激光传感器位置调整装置，旨在至少能够在一定程度上改善晶圆侦测的可靠性以及通用性。
[0007]本申请的技术方案为：
[0008]一种激光传感器位置调整装置，用于激光传感器的位置调整，其特殊之处在于，所述位置调整装置包括：
[0009]载体；
[0010]第一连接件，所述第一连接件包括固定连接的第一连接板以及第二连接板，所述第一连接板沿第一方向设置，所述第一连接板可沿第一方向移动地连接在所述载体上，所述第二连接板沿第二方向设置，所述第二方向和所述第一方向垂直；
[0011]第二连接件，所述第二连接件包括固定连接的第三连接板以及第四连接板，所述第三连接板可绕第一转轴摆动并锁定地连接在所述第二连接板上，所述第一转轴沿第一方向设置，所述第四连接板沿第三方向设置，所述第三方向均和所述第一方向以及所述第二方向垂直，所述激光传感器可绕第二转轴摆动并锁定地连接在所述第四连接板上，所述第二转轴沿第二方向设置。
[0012]在一些实施方案中，所述第一连接板设置有两个以上的腰形孔，所述腰形孔的长度方向沿第一方向设置，所述第一连接板通过和所述腰形孔相配合的第一连接件连接在所述载体上。
[0013]在一些实施方案中，所述第二连接板上设置有第一连接孔以及第二连接孔，所述第一连接孔以及所述第二连接孔的中心轴均沿第一方向设置；
[0014]所述第三连接板上设置有第三连接孔以及第一弧形孔，所述第三连接孔的中心轴沿第一方向设置，所述第一转轴的两端分别连接在所述第一连接孔以及所述第三连接孔中，以使所述第三连接板可摆动地连接在所述第二连接板上；
[0015]所述第一弧形孔的圆心位于所述第三连接孔的中心轴上，第二连接件的两端分别连接在所述第二连接孔以及所述第一弧形孔中，所述第三连接板通过所述第二连接件可锁定在所述第二连接板上。
[0016]在一些实施方案中，所述第一弧形孔设置在所述第三连接孔的第二方向的一侧，所述第一弧形孔的中部和所述第三连接孔的中心轴位于第二方向上。
[0017]作为本申请的优选方案，所述第一弧形孔的圆心角为20
°
。
[0018]在一些实施方案中，所述第四连接板上设置有第四连接孔以及第二弧形孔，其中：
[0019]所述第四连接孔的中心轴沿第二方向设置，所述激光传感器通过和所述第四连接孔相配合的所述第二转轴可摆动连接在所述第四连接板上；
[0020]所述第二弧形孔的圆心位于所述第四连接孔的中心轴上，第三连接件的两端分别连接在所述第四连接孔以及所述激光传感器上，所述激光传感器通过所述第三连接件可锁定在所述第四连接板上。
[0021]在一些实施方案中，所述第二弧形孔设置在所述第四连接孔的第一方向的一侧。
[0022]在一些实施方案中，所述第二弧形孔从所述第四连接板的周面侧部向所述第四连接板的内部延伸。
[0023]作为本申请的优选方案，所述第二弧形孔的圆心角为25
°
。
[0024]作为本申请的优选方案，所述第一方向为水平横向方向，所述第二方向为水平纵向方向，所述第三方向为竖向方向。
[0025]本申请的有益效果至少包括：
[0026]本申请所提供的一种激光传感器位置调整装置，由于该位置调整装置的第一连接件的第一连接板可沿第一方向移动地连接在载体上，第二连接件的第三连接板可绕第一转轴摆动并锁定地连接在所述第二连接板上，第一转轴沿第一方向设置，激光传感器可绕第二转轴摆动并锁定地连接在第二连接件的第四连接板上，第二转轴沿第二方向设置，因此，可调整激光传感器在载体上的安装位置，使激光传感器的使用角度可调，提高晶圆侦测的可靠性以及通用性，具有很好的实用价值。
附图说明
[0027]为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0028]图1为本申请实施例的一种激光传感器位置调整装置的结构示意图；
[0029]图2为图1所示的一种激光传感器位置调整装置的另一角度的结构示意图；
[0030]图3为图1中的第一连接件的结构示意图；
[0031]图4为图1中的第二连接件的结构示意图。
[0032]附图中：
[0033]100
‑
激光传感器，200
‑
第一连接件，201
‑
第一连接板，202
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第二连接板，203
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腰形孔，204
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第一连接孔，205
‑
第二连接孔，300
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第二连接件，301
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第三连接板，302
‑
第四连接板，303
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第三连接孔，304
‑
第一弧形孔，305
‑
第四连接孔，306
‑
第二弧形孔。
具体实施方式
[0034]下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0035]需要说明的是，本申请实施例中所有方向性指示仅用于解释在某一特定姿态下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种激光传感器位置调整装置，用于激光传感器的位置调整，其特征在于，所述位置调整装置包括：载体；第一连接件，所述第一连接件包括固定连接的第一连接板以及第二连接板，所述第一连接板沿第一方向设置，所述第一连接板可沿第一方向移动地连接在所述载体上，所述第二连接板沿第二方向设置，所述第二方向和所述第一方向垂直；第二连接件，所述第二连接件包括固定连接的第三连接板以及第四连接板，所述第三连接板可绕第一转轴摆动并锁定地连接在所述第二连接板上，所述第一转轴沿第一方向设置，所述第四连接板沿第三方向设置，所述第三方向均和所述第一方向以及所述第二方向垂直，所述激光传感器可绕第二转轴摆动并锁定地连接在所述第四连接板上，所述第二转轴沿第二方向设置。2.根据权利要求1所述的激光传感器位置调整装置，其特征在于，所述第一连接板设置有两个以上的腰形孔，所述腰形孔的长度方向沿第一方向设置，所述第一连接板通过和所述腰形孔相配合的第一连接件连接在所述载体上。3.根据权利要求1所述的激光传感器位置调整装置，其特征在于，所述第二连接板上设置有第一连接孔以及第二连接孔，所述第一连接孔以及所述第二连接孔的中心轴均沿第一方向设置；所述第三连接板上设置有第三连接孔以及第一弧形孔，所述第三连接孔的中心轴沿第一方向设置，所述第一转轴的两端分别连接在所述第一连接孔以及所述第三连接孔中，以使所述第三连接板可摆动地连接在所述第二连接板上；所述第一弧形孔的圆心位于所述第三连接孔的中心轴上，第二连接件的两端分别连接在所述第二连接孔以及所述第一弧形孔中，所述第三连接板通过所述第二连接件可锁定在所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：牛贞发，孙文彬，李庆伟，
申请(专利权)人：无锡邑文电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：