一种管线连接组件、管线组件及连接方法、半导体设备技术

本发明专利技术公开了一种管线连接组件、管线组件及连接方法、半导体设备，属于半导体制造技术领域，用以解决现有技术中管线之间连接结构复杂、费时费力或多根管线整体长度较长的问题。上述管线连接组件包括与管线一端套合的定心件以及设于定心件与管线之间的连接件；连接件包括连接槽以及位于连接槽里端的连接凸起，连接槽相对于定心的轴线倾斜设置；上述定心件开设通孔，通孔的两端设有密封环，密封环的外径与对应的管线的内径相等。本发明专利技术的管线连接组件、管线组件及连接方法、半导体设备可用于半导体器件的制备。导体器件的制备。导体器件的制备。

【技术实现步骤摘要】
一种管线连接组件、管线组件及连接方法、半导体设备


[0001]本专利技术属于半导体制造
，尤其涉及一种管线连接组件、管线组件及连接方法和、半导体设备。

技术介绍

[0002]在使用管线(例如，真空管线)的半导体设备中，由于所需管线的长度较长，通常无法采用一体型的整根管线，需要采用多根长度较短、直径不同的管线连接而成。
[0003]两根直径不同的管线之间需要增设变径夹紧组件进行连接，参见图1，对于变径夹紧组件的结构，具体来说，其包括变径管10以及设于变径管10两端的连接件，变径管10一端的直径与其中一根管线的直径相同，变径管10另一端的直径与另一根管线的直径相同，连接件包括依次套合的定心11、O型环12和夹具13，夹具13用于变径管10与管线的紧固连接，定心11和O型环12用于变径管10与管线的密封连接。由于上述变径夹紧组件的结构较为复杂，一旦其中任意一个部件发生破损或者任意两个部件之间的连接不准确，就会造成管线整体的泄露；同时，变径管10的设置会导致多根管线整体长度变长。
[0004]此外，采用上述变径夹紧组件进行管线连接本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种管线连接组件，其特征在于，包括与管线一端套合的定心件以及设于定心件与管线之间的连接件；所述连接件包括连接槽以及位于连接槽里端的连接凸起，所述连接槽相对于定心的轴线倾斜设置；所述定心件开设通孔，所述通孔的两端设有密封环，所述密封环的外径与对应的管线的内径相等。2.根据权利要求1所述的管线连接组件，其特征在于，所述连接槽沿定心件周向的截面形状为流线形；所述连接凸起沿定心件周向的截面与连接槽沿定心件周向的截面共形。3.根据权利要求2所述的管线连接组件，其特征在于，所述连接凸起沿定心件周向的截面形状为圆缺形；所述连接槽沿定心件周向的截面形状为圆缺形，且连接槽的里端为圆弧面。4.根据权利要求1所述的管线连接组件，其特征在于，所述定心件包括定心本体以及位于定心本体两端且与定心本体转动连接的转环，所述转环与管线一端套合，所述连接件设于转环与管线之间，所述通孔、密封环设于定心本体上。5.根据权利要求1所述的管线连接组件，其特征在于，所述管线连接组件还包括限位件，所述限位件包括设于密封环外壁的限位凸起以及设于管线内壁的限位槽。6.根据权利要求1至5任一项所述的管线连接组件，其特征在于，所述连接凸起上设有用于指示连接凸起...

【专利技术属性】
技术研发人员：金大镇，周娜，王佳，李琳，李俊杰，
申请(专利权)人：真芯北京半导体有限责任公司，
类型：发明
国别省市：