一种MEMS陀螺仪及电子设备制造技术

本实用新型专利技术提供一种MEMS陀螺仪，包括内部耦合梁、外部耦合梁、连接于内部耦合梁的外侧交替设置的驱动结构以及检测结构；驱动结构包括多个驱动质量块，检测结构包括多个检测质量块；驱动质量块和检测质量块的一端与内部耦合梁连接，驱动质量块和检测质量块的另一端通过外部耦合梁连接；其中，驱动结构还包括连接驱动质量块与外部锚点的第一解耦结构以及设置于第一解耦结构上的第一换能器，第一解耦结构配置于驱动质量块远离内部耦合梁的一侧，第一换能器激励驱动质量块振动。本实用新型专利技术的MEMS陀螺仪能够充分提高第一换能器的布置面积从而实现小驱动电压下的更大振动振幅，进而提高灵敏度。灵敏度。灵敏度。

【技术实现步骤摘要】
一种MEMS陀螺仪及电子设备


[0001]本技术属于电子元件
，具体涉及一种MEMS陀螺仪及电子设备。

技术介绍

[0002]MEMS陀螺仪是应用微机械加工技术与微电子工艺制作的一种微型角速度传感器。典型结构有音叉式、环式、嵌套环式、圆盘、半球陀螺仪等。MEMS质量分布式陀螺仪是一种新型的陀螺仪，此类陀螺仪和MEMS环形陀螺仪一样拥有退化模态，从而拥有高度对称性的驱动、检测模态，通过检测模态的能量计算角速度输入的大小。
[0003]传统的MEMS陀螺仪存在驱动/检测电容小、哥氏增益不高等缺点。
[0004]针对上述问题，有必要提出一种设计合理且可以有效改善上述问题的一种MEMS陀螺仪及电子设备。

技术实现思路

[0005]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提供一种MEMS陀螺仪及电子设备。
[0006]本技术的一方面提供一种MEMS陀螺仪，包括内部耦合梁、外部耦合梁、连接于所述内部耦合梁的外侧交替设置的驱动结构以及检测结构、与所述驱动结构机械耦合的外部锚点以及与所述检测结构机械耦合的内部锚本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种MEMS陀螺仪，其特征在于，包括内部耦合梁、外部耦合梁、连接于所述内部耦合梁的外侧交替设置的驱动结构以及检测结构、与所述驱动结构机械耦合的外部锚点以及与所述检测结构机械耦合的内部锚点；所述驱动结构包括多个驱动质量块，所述检测结构包括多个检测质量块；多个所述驱动质量块在驱动模态下沿第一振动轴或第二振动轴振动，多个所述检测质量块在检测模态下沿第三振动轴或第四振动轴振动；所述驱动质量块和所述检测质量块的一端与所述内部耦合梁连接，所述驱动质量块和所述检测质量块的另一端通过所述外部耦合梁连接；其中，所述驱动结构还包括连接所述驱动质量块与所述外部锚点的第一解耦结构以及设置于所述第一解耦结构上的第一换能器，所述第一解耦结构配置于所述驱动质量块远离所述内部耦合梁的一侧，所述第一换能器激励所述驱动质量块振动。2.根据权利要求1所述的MEMS陀螺仪，其特征在于，所述检测质量块的质量小于所述驱动质量块的质量。3.根据权利要求1所述的MEMS陀螺仪，其特征在于，所述驱动结构与所述检测结构通过固体波动方式耦合，所述内部耦合梁和所述外部耦合梁在驱动/检测模态下均发生弹性变形。4.根据权利要求1所述的MEMS陀螺仪，其特征在于，所述第一解耦结构包括连接所述驱动质量块与所述第一解耦结构的第一弹性件以及连接所述第一解耦结构与所述外部锚点的第二弹性件。5.根据权利要求4所述的MEMS陀螺仪，其特征在于，所述第一弹性件配置为沿所述驱动质量块在驱动模态下的振动方向具有最大的刚度，且在垂直于所述驱动质量块在驱动模态下的振动方向上具有最大的弹性；所述第二弹性件配置为沿所述驱动质量块在驱动模态下的振动方向具有最大...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨珊，占瞻，彭宏韬，马昭，阚枭，李杨，黎家健，洪燕，陈秋玉，
申请(专利权)人：瑞声开泰科技武汉有限公司，
类型：新型
国别省市：