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本实用新型提供一种MEMS陀螺仪，包括内部耦合梁、外部耦合梁、连接于内部耦合梁的外侧交替设置的驱动结构以及检测结构；驱动结构包括多个驱动质量块，检测结构包括多个检测质量块；驱动质量块和检测质量块的一端与内部耦合梁连接，驱动质量块和检测质量块...
该专利属于瑞声开泰科技(武汉)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过瑞声开泰科技(武汉)有限公司授权不得商用。

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