一种基于压电/电容驱动检测的陀螺结构制造技术

技术编号:31675428 阅读:20 留言:0更新日期:2022-01-01 10:19
本发明专利技术提供一种基于压电/电容驱动检测的陀螺结构,它包括绝缘层基座(2),在绝缘层基座(2)内设有谐振子(1),在绝缘层基座(2)上设有上套筒(3a),在上套筒(3a)上设有与绝缘层基座(2)对应配合的静电电极(5),在谐振子(1)上设有压电电极(4),在上套筒(3a)、下套筒(3b)还分别设有与压电电极(4)和静电电极(5)对应配合的信号输出孔(6)。本发明专利技术提出了一种具有压电、静电两类电极的陀螺结构,陀螺能够可以利用压电和静电两种驱动方式进行驱动,可以采用静电、压电两种检测方式进行信号采集,增加了陀螺驱动、检测的手段,能够将压电、静电两种驱动检测的方法进行优势互补,有利于陀螺可靠性和检测性能的提高。检测性能的提高。检测性能的提高。

【技术实现步骤摘要】
一种基于压电/电容驱动检测的陀螺结构


[0001]本专利技术涉及轴对称谐振陀螺领域,具体地说就是一种基于压电/电容驱动检测的轴对称陀螺结构。

技术介绍

[0002]陀螺仪是一种能够敏感载体角度或角速度的惯性器件,在姿态控制和导航定位等领域有着非常重要的应用。随着消费电子、工业机器人、车辆、船舶导航、无人机制造业等工业的发展,对陀螺仪的需求也逐渐向着低成本、小体积、高精度、高可靠性的方向发展。陀螺仪因其自身的抗冲击能力强,具有做成高精度陀螺仪的潜力,目前已经成为陀螺领域的研究热点。但现有的轴对称陀螺仪大多存在精度底、可靠性差,有效传感面积小,陀螺的电学驱动裕度较低等缺点。
[0003]专利CN104197921A公开了一种图形转移的压印式微型半球谐振陀螺及其制备方法, 所述陀螺八个通过离子掺杂形成的电极,其中八个电极环绕中央谐振子均匀分布配置,包含四个驱动电极和四个检测电极,并通过金属引线连接至引脚处;通过在对应引脚处施加正负电压,驱动电极和检测电极可以实现静电驱动与检测。该方法在一定程度提高了微机械陀螺系统的稳定性,但是其检测和驱动方式有限,比较单一。本专利技术提出了一种具有压电、静电两类电极结构的陀螺结构,能够将压电、静电两种驱动检测的方法进行优势互补,有利于陀螺可靠性和检测性能的提高。

技术实现思路

[0004]本专利技术专利所要解决的技术问题在于,提供一种基于压电/电容检测的陀螺,该陀螺仪有两类电极,同时采用静电和压电两种方式进行陀螺的驱动和信号检测,可同时输出两种检测信号,其中静电驱动又分两种检测方式,分别为压电检测、静电检测,压电驱动也分两种检测方式,分别为静电检测、压电检测,有利于提高陀螺的电学驱动检测,轴对称陀螺仪精度、可靠性等。
[0005]本专利技术提供以下技术方案。
[0006]一种基于压电/电容驱动检测的陀螺结构,它包括基座,在基座内设有谐振子,其特征在于:所述的谐振子为轴对称型结构,在谐振子底部设有压电电极,谐振子通过锚点与基座固定;所述基座为圆盖槽形 , 在基座上设有绝缘层,在绝缘层上均布有一组与谐振子对应配合的静电驱动检测电极,设置一个与基座对应配合的套筒,在套筒上还分别设有与压电电极和静电电极相对应的信号输出孔。
[0007]在上述的技术方案的基础上,还可以有以下进一步的技术方案。
[0008]在所述的套筒分为上、下套筒,其上套筒与下套筒以凹槽形式嵌入。
[0009]所述的上套筒在基座上部,通过锚点固定。
[0010]所述在绝缘层基座与谐振子的谐振环的振动形成静电电极,内外两组静电电极与谐振子组成差分电容,可形成差分检测可进行差分方式检测。
[0011]所述的谐振子可以是多晶金刚石、碳化硅、熔石英等材料制成。
[0012]专利技术的优点。
[0013]本专利技术陀螺仪有两类电极,同时采用静电和压电两种方式进行陀螺的驱动和信号检测,可同时输出两种检测信号,其中静电驱动又分两种检测方式,分别为压电检测、静电检测,压电驱动也分两种检测方式,分别为静电检测、压电检测,可形成电容差分技术进行测试,提高了陀螺的电学驱动裕度和灵敏度,具有精度高、可靠性高,基频差较小等优点。
附图说明
[0014]图1为半球谐振陀螺整体结构爆炸图。
[0015]图2为半球谐振陀螺谐振子剖面图。
[0016]图3为半球谐振陀螺谐振子“w”型剖面图。
[0017]图4为两种轴对称型谐振子立体结构示意图。
[0018]图5为谐振子压电电极分布结构示意图。
[0019]图6为半球谐振陀螺整体封装图。
具体实施方式
[0020]下面将结合本专利技术专利实施例中的附图,对实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本专利技术专利的一部分实施例,而不是全部的实施例。
[0021]实施例1。
[0022]如图1、2、6所示,一种基于压电/电容驱动检测的陀螺结构,它包括轴对称的谐振子1,所述的谐振子与变幅杆1a其连接为一体,谐振子1底部带有偶数个压电检测电极4。
[0023]绝缘层基座2底部为环形的凹槽 ,在绝缘层基座上均布有一组与谐振子1对应配合的静电电极5,内外两组静电电极5

1、5

2与谐振子1组成差分电容,可形成差分检测,基座2与谐振子1通过锚点9固定。
[0024]所述绝缘层基座2上的静电电极5上端都带有引线孔6,与上套筒3a带有信号输出孔6a相一致,所述带有信号输出孔6a的上套筒与基座2通过锚点8固定,基座1的直径小于上套筒3a的直径,且基座的上端面与上套筒的下端面之间还设有一定间距。
[0025]图1最左侧为上套筒3a,与绝缘层基座2通过锚点固定,所述上套筒的盖体带有静电电极相对应信号输出孔6a,最右侧为下套筒3b,底端带有压电电极4相对应信号输出孔6b,其上套筒3a与下套筒3b以凹槽形式嵌入。
[0026]谐振子1位于装置3的中间部分,上端与绝缘层基座2连接,并通过锚点9固定,谐振子1下端为下套筒3b,所述的下套筒的底端带有压电电极4相对应信号输出孔6b,绝缘层基座2的直径小于下套筒3b的直径,且绝缘层基座2的下端面与下套筒的上端面之间还设有一定间距。
[0027]实施例2。
[0028]如图3所示,一种基于压电/电容驱动检测的陀螺结构,所述陀螺结构介绍了两种轴对称谐振子,分别为谐振子1和“w”型谐振子10,所述装置的绝缘层基座2为环形端面上设有一个环形的凹槽,所述环形的凹槽4a与“w”型谐振子10上开口端的环形端面同轴,且所述环形的凹槽的槽底与“w”型谐振子10上开口端的环形端面平行,“w”型谐振子10上有一个平
面11 ,上面设置压电电极4,所述的压电电极4与“w”型谐振子10平面11粘贴。
[0029]在“w”型谐振子10的中部设有竖直向上伸出的圆柱形的锚杆7,所述的锚杆7上部连接有基座2,在绝缘层基座2外圆端面上连接有静电电极5,所述的差分电极上部、绝缘层基座2的下端面在同一水平面上。
[0030]绝缘层基座2底部为环形的凹槽 ,在绝缘层基座上均布有一组与“w”型谐振子10对应配合的电容差动检测电极5,基座2与谐振子10通过锚点固定,在绝缘层基座2上设有与静电电极5相对应的信号输出孔6a,
ꢀ“
w”型谐振子10的直径小于差分电极5的直径,且差分电极的两侧与谐振子10之间还设有一定间距,差动电极的两侧与“w”型谐振子10在同一平面内,竖直平行,所述“w”型谐振子10上的谐振环1b与绝缘层基座2下端面在同一水平面上。
[0031]在上套筒3a上设有一组与差分电极5一一对应的信号输出孔3a,在所述的信号输出孔3a两侧的内壁上均设有绝缘套筒。
[0032]实施例3。
[0033]如图4、5所示,一种基于压电/电容驱动检测的陀螺结构,所述陀螺结构介绍了两种轴对称谐振子,分别为谐振子1和“w”型谐振子10,开口端为圆形形成谐振环1b,本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于压电/电容驱动检测的陀螺结构,它包括基座(2),在绝缘层基座(2)内设有谐振子(1),其特征在于:所述的谐振子(1)为轴对称型结构,谐振子底部设有压电电极(4),谐振子(1)通过锚点9与绝缘层基座(2)固定;所述绝缘层基座(2)为凹槽圆盖形 , 在绝缘层基座(2)上均布有一组与谐振子(1)对应配合的静电电极(5),所述的绝缘层基座(2)上设置一个与基座对应配合的套筒(3),在套筒上还分别设有与压电电极(4)和静电电极(5)相对应的信号输出孔(6)。2.根据权利要求1中所述的一种基于压电/电容驱动检测的陀螺结构,其特征在于:在绝缘层基座上均布有一组与谐振子(1)对应配合的静电电极(5),内外两组静电电极(5

1)、(5

2)与谐振子(1)组成差分电容,可形成差分检测。3.根据权利要求1中所述的一种基于压电/电容驱动检测的陀螺结构,其特征在于:在谐振子(1)底端均匀分布的偶数...

【专利技术属性】
技术研发人员:庄须叶张晓阳李平华张佳宁刘靖豪
申请(专利权)人:山东理工大学
类型:发明
国别省市:

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